弹性波器件及其制造方法和模组
Abstract:
本发明实施例提供了一种弹性波器件及其制造方法和模组。该弹性波器件具有良好的温度特性,并且进一步抑制了寄生成分。一种弹性波器件包括:支承基板;介质层,形成在所述支承基板上;压电基板,形成在所述介质层上;以及谐振器,形成在所述压电基板上;所述介质层在俯视图中具有第一声阻抗区域和具有与所述第一声阻抗区域不同的声阻抗的第二声阻抗区域,所述第二声阻抗区域的数量为多个,且在形成有所述谐振器的区域内形成的所述第二声阻抗区域的数量为三个以上。
Patent Agency Ranking
0/0