压力及加速度监测芯片及其制备方法、车辆
Abstract:
本公开提供一种压力及加速度监测芯片及其制备方法、车辆,属于微机电系统领域。本公开的压力及加速度监测芯片包括:压力传感器,包括:第一固定极板和第一可动极板;第一固定极板和第一可动极板至少部分相对设置;加速度传感器,包括:第二固定极板和第二可动极板;第二固定极板和第二可动极板至少部分相对设置;压力参考腔和应力释放腔;压力参考腔嵌入应力释放腔内,且二者之间设置有缓冲空间;第一固定极板和第一可动极板均固定于压力参考腔;第二固定极板固定于应力释放腔;第二可动极板固定于压力参考腔;柔性支撑梁连接于压力参考腔和应力释放腔之间,且柔性支撑梁为弯折结构。
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