Invention Publication
KR1020170108258A 비대칭 채널과 게이트 절연막을 갖는 터널링 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법 有权
具有不对称沟道和栅极绝缘膜的隧穿场效应晶体管及其制造方法

비대칭 채널과 게이트 절연막을 갖는 터널링 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법
Abstract:
본발명은터널링전계효과트랜지스터에관한것으로, 소스측채널영역을드레인측채널영역보다얇은두께로하여각 채널영역으로형성되는공핍층의차이및/또는각 채널영역상에형성되는게이트절연막의두께나물질차이, 나아가소스측채널영역을드레인측채널영역보다에너지밴드갭이작은반도체물질로비대칭구조로형성함으로써, 종래양방향전류특성및 낮은구동전류의문제를개선한비대칭채널과게이트절연막을갖는터널링전계효과트랜지스터및 그제조방법을제공한다.
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IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/73 .....双极结型晶体管
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