Invention Publication
- Patent Title: 비대칭 채널과 게이트 절연막을 갖는 터널링 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법
- Patent Title (English): Tunnel field-effect transistor with asymmetric channel and gate dielectric layer and fabrication method thereof
- Patent Title (中): 具有不对称沟道和栅极绝缘膜的隧穿场效应晶体管及其制造方法
-
Application No.: KR1020160031860Application Date: 2016-03-17
-
Publication No.: KR1020170108258APublication Date: 2017-09-27
- Inventor: 박병국 , 권대웅 , 김장현 , 이준일
- Applicant: 서울대학교산학협력단
- Applicant Address: 서울특별시 관악구 관악로 * (신림동)
- Assignee: 서울대학교산학협력단
- Current Assignee: 서울대학교산학협력단
- Current Assignee Address: 서울특별시 관악구 관악로 * (신림동)
- Agent 권오준
- Main IPC: H01L29/73
- IPC: H01L29/73 ; H01L29/78 ; H01L29/66 ; H01L21/762 ; H01L21/306
Abstract:
본발명은터널링전계효과트랜지스터에관한것으로, 소스측채널영역을드레인측채널영역보다얇은두께로하여각 채널영역으로형성되는공핍층의차이및/또는각 채널영역상에형성되는게이트절연막의두께나물질차이, 나아가소스측채널영역을드레인측채널영역보다에너지밴드갭이작은반도체물질로비대칭구조로형성함으로써, 종래양방향전류특성및 낮은구동전류의문제를개선한비대칭채널과게이트절연막을갖는터널링전계효과트랜지스터및 그제조방법을제공한다.
Public/Granted literature
- KR101792615B1 비대칭 채널과 게이트 절연막을 갖는 터널링 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법 Public/Granted day:2017-11-02
Information query
IPC分类: