公开(公告)号：CN110857922A

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201910321917.4

申请日：2019-04-22

Applicant: 塞米西斯科株式会社

Inventor： 李淳钟 ,  李东锡 ,  尹硕敏 ,  朴真奭 ,  申原燮 ,  柳林水 ,  朴健祐

IPC: G01N21/95 ,  G02B27/10 ,  H01L21/67

Abstract: 公开能够利用切换模块及一个分光器分析多个位置的腔体内部的光的工程系统、用于其的切换模块及控制所述工程系统的方法。所述切换模块包括多个连接部、切换部及驱动部。在此，所述多个连接部分别与第一光线路相连接，所述切换部与第二光线路相连接，所述切换部排列成光路径与所述多个连接部中的一个的光路径一致，所述切换部随着所述驱动部的驱动进行移动而成为光路径与另一连接部的光路径一致，通过连接于光路径与所述切换部的光路径一致的连接部的第一光线路输入的光传递到与所述切换部连接的第二光线路。本发明能够对工程进行准确的分析且显著降低所述工程系统的费用。

公开(公告)号：CN102067482A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200880129902.8

申请日：2008-09-08

Applicant: 塞米西斯科株式会社

Inventor： 李淳钟 ,  禹奉周 ,  李东锡 ,  金学权 ,  尹硕敏

IPC: H04B10/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0264

Abstract: 一种远距光谱仪的连接结构，该远距光谱仪的连接结构可通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室中的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制，并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器，藉此提高制程反应室发射的等离子发射的监测效率。