公开(公告)号：CN1312319C

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN02152989.2

申请日：2002-11-29

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 辻稔夫 ,  伊藤博人 ,  清村贵利

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/30

Abstract: 本发明提供一种安全性高、生产性好、具有良好的光学及电特性、在塑料薄膜基材上的良好的临界曲率半径的透明导电膜的形成方法，采用该方法形成的透明导电膜与具有该透明导电膜的物品。所述形成方法包括如下步骤：将反应性气体导入放电空间，通过在大气压或大气压附近的压力下放电，激发反应性气体成为等离子体状态，将基材暴露于前述等离子体状态的反应性气体中，在前述基材上形成透明导电膜，其中，前述反应性气体含有还原性气体。

公开(公告)号：CN1422979A

公开(公告)日：2003-06-11

申请号：CN02152989.2

申请日：2002-11-29

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 辻稔夫 ,  伊藤博人 ,  清村贵利

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C16/45595 ,  C23C16/407 ,  C23C16/50 ,  Y10T428/24917

Abstract: 本发明提供一种安全性高、生产性好、具有良好的光学及电特性、在塑料薄膜基材上的良好的临界曲率半径的透明导电膜的形成方法,采用该方法形成的透明导电膜与具有该透明导电膜的物品。所述形成方法包括如下步骤:将反应性气体导入放电空间,通过在大气压或大气压附近的压力下放电,激发反应性气体成为等离子体状态,将基材暴露于前述等离子体状态的反应性气体中,在前述基材上形成透明导电膜,其中,前述反应性气体含有还原性气体。

公开(公告)号：CN1398305A

公开(公告)日：2003-02-19

申请号：CN01804728.9

申请日：2001-12-06

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 福田和浩 ,  近藤庆和 ,  村上隆 ,  岩丸俊一 ,  村松由海 ,  辻稔夫

IPC: C23C16/505 ,  G02B1/10

CPC classification number: G02B1/11 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18 ,  C23C16/402 ,  C23C16/405 ,  C23C16/509 ,  C23C16/5093 ,  C23C16/545 ,  G02B1/10 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14 ,  G02B1/16 ,  G02B1/18 ,  H01J37/32532

Abstract: 一种薄膜形成方法，其特征在于：通过在大气压或大气压附近的压力下，在对置的两种电极之间，以超过10kHz的高频电压供给1W/cm2以上的电力而放电，使反应性气体成为等离子态，通过在上述等离子态的反应性气体中暴露衬底，在上述衬底上形成薄膜。