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公开(公告)号:CN1998059A
公开(公告)日:2007-07-11
申请号:CN200580022931.0
申请日:2005-06-06
Applicant: 马萨诸塞州技术研究院
Abstract: 带电粒子束系统包括形成具有椭圆横截面的非轴对称束的非轴对称二极管。聚焦元件将磁场用于聚焦和传输该非轴对称束,其中该非轴对称束与聚焦元件的通道大致匹配。
公开(公告)号:CN1998059A
公开(公告)日:2007-07-11
申请号:CN200580022931.0
申请日:2005-06-06
Applicant: 马萨诸塞州技术研究院
Abstract: 带电粒子束系统包括形成具有椭圆横截面的非轴对称束的非轴对称二极管。聚焦元件将磁场用于聚焦和传输该非轴对称束,其中该非轴对称束与聚焦元件的通道大致匹配。