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公开(公告)号：CN106783466A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611228618.9
申请日：2016-12-27
Applicant: 四川智研科技有限公司
Inventor： 罗德坤
IPC: H01J3/14
CPC classification number: H01J3/14
Abstract: 本发明公开了一种加速电子束流光学结构，包括：至少一个束流光学结构，每个所述束流光学结构均包括两个呈相对设置的法兰，两个所述法兰之间设置有通过绝缘机构以使彼此呈间隔排列的电极组；其中，每个所述束流光学结构通过设置在其内的电极组，进而在束流光学结构内部电子束的传输方向上构成多个相互配合的聚焦区和散焦区，以实现对待传输电子束的聚集和加速。本发明公布一种加速电子束流光学结构，其将加速结构的电极片分成几组，每组外侧的两个电极片制作成锥形结构，形成聚焦和散焦透镜组，综合得到聚焦及加速功能，与普通均匀分布结构的电极片加速结构相比，加速传输电子束的能力提升了20％左右，加速梯度的调节范围增加了20％左右。
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公开(公告)号：CN102668009A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080059356.2
申请日：2010-10-26
Applicant: 伊利诺斯工具制品有限公司
Inventor： 彼得·格夫特 , 阿列克谢·克洛奇科夫 , 约翰·E·米尼尔
IPC: H01J3/14
CPC classification number: H01J27/024 , B03C3/361 , B03C3/38
Abstract: 本发明披露一种具有气体传输通道的离子传递歧管，其用于接收离子化的气体流，及多个出口，其将气体流划分成多个中和气体流而引导向分别的多个目标区域。通过使用通过多个出口的不同离子的流速达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。将多个中和流传递至分别的多个目标区域的方法包括以下步骤：接收离子化的气体流，将离子化的气体流划分成多个中和流，及将中和流引导向分别的目标区域。通过中和流的离子流速的差异达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。
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公开(公告)号：CN101657875A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200880011889.6
申请日：2008-04-23
Applicant: 株式会社克莱斯泰克
IPC: H01J1/312 , H01J3/14 , H01J37/305 , H01L21/027 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/073 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/312 , H01J37/06 , H01J37/3174 , H01J2201/312 , H01J2237/0635
Abstract: 本发明的面辐射型电子源具有：平面状的第一电极；与第一电极相对设置的平面状的第二电极；设置在第一电极和第二电极之间的电子通过层；以及对第二电极和第一电极施加电压的电源部。电子通过层中，隔开规定的间隔而设置多个量子细线，并从第二电极的表面辐射电子，量子细线在从第一电极朝向第二电极的第一方向上延伸。量子细线由硅构成，同时在第一方向上以规定间隔形成多个粗细度细的部分。
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公开(公告)号：CN100397550C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN02828993.5
申请日：2002-03-21
Applicant: 汉民微测科技股份有限公司
Inventor： Z·-W·陈
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/141 , H01J2237/04756 , H01J2237/1035
Abstract: 一种回转减速浸没式物简系统及方法，它提供具有大束电流的低电压电子束，相当高的空间分辨率，相当大的扫描范围，和高的信号收集效率。该物镜包括用于在样品附近产生磁场的磁透镜，以把粒子束的粒子聚焦到样品上；具有用于在靠近样品处提供减速场到粒子束的电位的电极，当该束与样品碰撞时来减少粒子束的能量；包括沿该束轴设置的多个偏转单元的偏转系统，用于偏转该粒子束以使在具有大区域的样品上扫描成为可能，偏转单元中的至少一个放在该束的减速场中，其余的偏转单元放在磁透镜的中央腔内；以及具有相当小的孔径的环形探测单元，放在限定主束的孔径下面，以俘获二次电子(SE)和背散衬电子(BSE)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1918685A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200480041207.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 克洛诺斯先进技术股份有限公司
Inventor： I·A·科里奇塔弗维奇 , J·欧哈拉 , J·汤普森
CPC classification number: H01T19/00
Abstract: 一种电晕放电装置的操作方法包括下列步骤：在至少一个电晕电极最为接近的位置产生高强度电场；以及对该电晕电极以连续性或周期性的方式，加热至一足以使该电晕电极上的杂质(诸如氧化层)其不良作用减轻的温度。
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公开(公告)号：CN116564771A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310540610.X
申请日：2023-05-12
Applicant: 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
Abstract: 本申请提供一种电子束调节方法和电子发射装置，涉及电子发射技术领域，通过改变导电聚集极的第一通孔形状来改变电场在导电聚焦极内部的分布情况，即以第一通孔形状为非任意角度旋转对称(以第一通孔的中轴线为旋转中心，当第一通孔的径向截面形状旋转任意角度均与原径向截面重合时，即为任意角度旋转对称)的设计与电场的不对称分布做抵消，优化电场的分布，单独的从某一方向对电子束的运行轨迹进行约束，而其他方向基本不变，从而实现分轴独立调节，使得电子发射装置的抗环境干扰能力强。
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公开(公告)号：CN106783466B
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201611228618.9
申请日：2016-12-27
Applicant: 四川智研科技有限公司
Inventor： 罗德坤
IPC: H01J3/14
Abstract: 本发明公开了一种加速电子束流光学结构，包括：至少一个束流光学结构，每个所述束流光学结构均包括两个呈相对设置的法兰，两个所述法兰之间设置有通过绝缘机构以使彼此呈间隔排列的电极组；其中，每个所述束流光学结构通过设置在其内的电极组，进而在束流光学结构内部电子束的传输方向上构成多个相互配合的聚焦区和散焦区，以实现对待传输电子束的聚集和加速。本发明公布一种加速电子束流光学结构，其将加速结构的电极片分成几组，每组外侧的两个电极片制作成锥形结构，形成聚焦和散焦透镜组，综合得到聚焦及加速功能，与普通均匀分布结构的电极片加速结构相比，加速传输电子束的能力提升了20％左右，加速梯度的调节范围增加了20％左右。
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公开(公告)号：CN102668009B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201080059356.2
申请日：2010-10-26
Applicant: 伊利诺斯工具制品有限公司
Inventor： 彼得·格夫特 , 阿列克谢·克洛奇科夫 , 约翰·E·米尼尔
IPC: H01J3/14
CPC classification number: H01J27/024 , B03C3/361 , B03C3/38
Abstract: 本申请披露一种具有气体传输通道的离子传递歧管，其用于接收离子化的气体流，及多个出口，其将气体流划分成分别朝向多个目标区域引导的多个中和气体流。通过使用通过多个出口的不同离子的流速达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。将多个中和流传递至分别的多个目标区域的方法包括以下步骤：接收离子化的气体流，将离子化的气体流划分成多个中和流，及将中和流引导向分别的目标区域。通过中和流的离子流速的差异达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。
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公开(公告)号：CN100477067C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN03816140.0
申请日：2003-07-07
Applicant: 马尔蒂普罗布公司
Inventor： 凯西·帕特里克·黑尔 , 安德鲁·诺曼·埃里克森
CPC classification number: G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q70/06 , Y10S977/85 , Y10S977/874
Abstract: 本发明涉及一种近距离扫描多探针扫描显微镜的方法及装置，其可同时对多个重叠扫描区域进行扫描并避免碰撞，其使用一控制系统(130)向一第一原子力显微镜(AFM)(148a)提供驱动信号，并依据第一驱动信号及其他AFM距该第一AFM的相对位置向其他AFM(148b及148c)提供计算出的驱动信号，以使其在移动中保持恒定间隔。使用多个AFM对多个目标形貌进行扫描及故障分析(FA)探测可减少勘定FA形貌及建立测量值所需时间。
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