公开(公告)号：KR1020110113450A

公开(公告)日：2011-10-17

申请号：KR1020100032843

申请日：2010-04-09

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김진남 ,  박소미 ,  홍원혁 ,  김신영 ,  이정중 ,  정수진

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/14

Abstract: 본 발명은 유도결합 플라즈마 스퍼터링 장치(Inductively coupled plasma sputtering device)를 이용한 Mo-N/Cu 박막의 제조방법 및 그 방법으로 제조된 Mo-N/Cu 박막에 관한 것으로서, 본 발명의 박막 제조방법에 의해 밀도, 경도 및 표면조도가 향상된 Mo-N/Cu 박막을 제조할 수 있다. 또한 상기 박막은 접착력이 우수하며, 마찰계수가 작으며, 마모 테스트 결과 마모량이 극히 적음을 알 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100128361A

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：KR1020090046714

申请日：2009-05-28

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김신영 ,  이정중 ,  한동훈

IPC: H01M2/16 ,  H01M8/02

CPC classification number: Y02P70/56 ,  H01M8/0228 ,  C23C14/0676 ,  C23C14/34 ,  H01M8/021 ,  H01M8/0215 ,  Y02E60/50

Abstract: PURPOSE: A bipolar plate for a fuel cell is provided to improve corrosion resistance and performance of a fuel battery by comprising a titanium oxide film. CONSTITUTION: A bipolar plate(35,40) for a fuel cell comprises stainless steel and a titanium oxide layer containing titanium 43-44%, nitrogen 44-45%, and oxygen 12-14% applied on the surface of the stainless steel. A method for manufacturing the bipolar plate for a fuel cell comprises the steps of: loading a chamber containing mixed gas including oxygen, nitrogen and argon on a substrate; and coating the surface of the substrate with a titanium oxynitride film while injecting oxygen 0.2 sccm.

Abstract translation: 目的：提供一种用于燃料电池的双极板，以通过包括氧化钛膜来改善燃料电池的耐腐蚀性和性能。 构成：用于燃料电池的双极板（35,40）包括不锈钢和含有43-44％，氮44-45％的钛和氧12-14％的氧化钛层施加在不锈钢的表面上。 制造燃料电池用双极板的方法包括以下步骤：在基板上装载包含氧，氮和氩的混合气体的室; 并用氮氧化钛膜涂覆基板的表面，同时注入0.2sccm的氧气。