公开(公告)号：KR1020160123725A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：KR1020150054239

申请日：2015-04-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  이재현 ,  임재영 ,  장현식

IPC: C30B25/00

Abstract: 제 1 금속기재에서성장된단결정 2 차원물질을박리하여씨드를수득하는단계; 제 2 기재에상기씨드를전사하는단계; 및상기전사된씨드를성장시켜대면적단결정 2 차원물질을수득하는단계를포함하는, 대면적단결정 2 차원물질의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR102010420B1

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：KR1020170159962

申请日：2017-11-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  최재영 ,  장현식 ,  김범준

IPC: C22F3/00 ,  C21D10/00 ,  C30B33/02

公开(公告)号：KR101851578B1

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：KR1020150054239

申请日：2015-04-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  이재현 ,  임재영 ,  장현식

IPC: C30B25/00

Abstract: 제 1 금속기재에서성장된단결정 2 차원물질을박리하여씨드를수득하는단계; 제 2 기재에상기씨드를전사하는단계; 및상기전사된씨드를성장시켜대면적단결정 2 차원물질을수득하는단계를포함하는, 대면적단결정 2 차원물질의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR102106781B1

公开(公告)日：2020-05-06

申请号：KR1020170163251

申请日：2017-11-30

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 최재영 ,  황동목 ,  장현식 ,  김범준

IPC: C22F1/02 ,  C21D9/46 ,  B21B1/40 ,  C21D10/00 ,  C30B33/02 ,  C01B32/184

公开(公告)号：KR102013299B1

公开(公告)日：2019-08-22

申请号：KR1020170159961

申请日：2017-11-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  최재영 ,  장현식 ,  김범준

IPC: C22F1/02 ,  C30B33/02 ,  C21D9/46 ,  C01B32/184

公开(公告)号：KR101691993B1

公开(公告)日：2017-01-02

申请号：KR1020150113405

申请日：2015-08-11

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  김범준 ,  장현식 ,  최재영 ,  김기철

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은화학기상증착장치의반응챔버에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른화학기상증착장치의반응챔버는, 기재가로딩되는기재로딩부, 반응성가스를공급하기위한가스공급부, 반응성가스를배출하기위한가스배기부, 및반응챔버내의온도를조절하는온도조절장치를포함한다. 이때, 온도조절장치는반응챔버의일 측면에, 복수개의제 1 도선이소정의거리만큼이격되어서로나란하게배치되어형성된제 1 온도조절장치및 제 1 온도조절장치와대향하도록배치되고, 복수개의제 2 도선이제 1 도선과교차하도록소정의거리만큼이격되어서로나란하게배치되어형성된제 2 온도조절장치를포함한다.