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公开(公告)号：KR101700273B1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150113404
申请日：2015-08-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/205 , H01L21/683 , H01L21/324
Abstract: 본발명에서는화학기상증착장치를제안한다. 본발명의일 실시예에따른화학기상증착장치는공정이진행되는챔버; 상기챔버에내부에위치하고, 상부면에기판이배치되는스테이지부; 상기챔버의내부에위치하여, 상기챔버내부의온도를제어하기위한히터블럭; 상기챔버내부의압력을조절하기위한압력조절라인; 상기스테이지부방향으로가스를공급하는가스분배부; 상기가스분배부에가스를공급하는적어도하나이상의가스공급라인; 및상기가스분배부의온도를제어하기위한가스분배부히터를포함하되, 상기가스분배부는상기스테이지부로부터멀어지는방향으로소정의간격을가지고나란하게배치되는복수의가스분배판을포함하되, 상기가스분배판에는상기스테이지부의폭방향으로서로일정거리이격되고, 서로직경이상이한복수의가스홀이천공된다
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150008745A
公开(公告)日：2015-01-23
申请号：KR1020130083088
申请日：2013-07-15
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G06Q50/06
CPC classification number: G06Q50/06
Abstract: 본 발명은, (a) 정보 입력부에 대상 건물의 건물 정보 및 에너지 사용량이 입력되는 단계; 및 (b) 건물 성능 진단부가, 상기 입력된 에너지 사용량을, 데이터베이스에 기 저장된 다수의 에너지 사용량으로서 상기 입력된 건물 정보에 해당하는 그룹의 건물들의 다수의 에너지 사용량과 비교함으로써, 건물 성능을 진단하는 단계; 및 (c) 상기 건물 성능 진단부가 상기 그룹의 다수의 건물의 에너지 사용량을 기준으로 정규 분포를 설정함으로써 상기 진단의 결과를 박스 플롯으로 출력하는 단계를 포함하는, 벤치마킹 기법에 따른 건물 에너지 성능 진단 방법과 이를 위한 시스템을 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种根据基准测试技术诊断建筑物能量性能的方法，包括：（a）输入信息输入部分的建筑物信息和目标建筑物的能量使用的步骤; （b）通过将输入的能量使用与输入的建筑物信息对应的组中的建筑物的能量使用进行比较，建筑物性能诊断部分诊断建筑性能的步骤; 以及（c）通过参照该组中的建筑物的能量使用设定正态分布，建筑物性能诊断部将诊断结果输出到盒子图的步骤。
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公开(公告)号：KR101766778B1
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020150113403
申请日：2015-08-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/205 , H01L21/683 , H01L21/324
Abstract: 화학기상증착장치는챔버, 상기챔버내부에위치하며, 상부면에기판이놓이는스테이지부, 일단이스테이지부의하부면에연결되어스테이지부를지지하는지지대, 및스테이지부의하부면과지지대의일단사이에위치하며, 스테이지부의기울기를조절하는틸팅부를포함하고, 틸팅부는기판에대한증착공정시 스테이지부를가스가주입되는방향을향해기울이되, 스테이지부를가스가주입되는부분으로부터먼 영역은상승시키고가까운영역은하강시킨다.
Abstract translation: 的化学气相沉积装置被定位在所述腔室内，该腔室被放置阶段基板顶端表面上，连接到支撑用于支撑台的下表面部分中的阶段的一个端部，以及位于所述台部底表面和所述支撑体之间的一端 其中，倾斜部分在基板的沉积过程中朝向气体注入方向倾斜台部分，使台部分远离注入气体的部分升高， 它降低。
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公开(公告)号：KR1020170019244A
公开(公告)日：2017-02-21
申请号：KR1020150113403
申请日：2015-08-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/205 , H01L21/683 , H01L21/324
Abstract: 화학기상증착장치는챔버, 상기챔버내부에위치하며, 상부면에기판이놓이는스테이지부, 일단이스테이지부의하부면에연결되어스테이지부를지지하는지지대, 및스테이지부의하부면과지지대의일단사이에위치하며, 스테이지부의기울기를조절하는틸팅부를포함하고, 틸팅부는기판에대한증착공정시 스테이지부를가스가주입되는방향을향해기울이되, 스테이지부를가스가주입되는부분으로부터먼 영역은상승시키고가까운영역은하강시킨다.
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公开(公告)号：KR101696012B1
公开(公告)日：2017-01-23
申请号：KR1020130083088
申请日：2013-07-15
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G06Q50/06
Abstract: 본발명은, (a) 정보입력부에대상건물의건물정보및 에너지사용량이입력되는단계; 및 (b) 건물성능진단부가, 상기입력된에너지사용량을, 데이터베이스에기 저장된다수의에너지사용량으로서상기입력된건물정보에해당하는그룹의건물들의다수의에너지사용량과비교함으로써, 건물성능을진단하는단계; 및 (c) 상기건물성능진단부가상기그룹의다수의건물의에너지사용량을기준으로정규분포를설정함으로써상기진단의결과를박스플롯으로출력하는단계를포함하는, 벤치마킹기법에따른건물에너지성능진단방법과이를위한시스템을제공한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种根据基准测试技术诊断建筑物能量性能的方法，包括：（a）输入信息输入部分的建筑物信息和目标建筑物的能量使用的步骤; （b）通过将输入的能量使用与输入的建筑物信息对应的组中的建筑物的能量使用进行比较，建筑物性能诊断部分诊断建筑性能的步骤; 以及（c）通过参照该组中的建筑物的能量使用设定正态分布，建筑物性能诊断部将诊断结果输出到盒子图的步骤。
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公开(公告)号：KR101691993B1
公开(公告)日：2017-01-02
申请号：KR1020150113405
申请日：2015-08-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/205 , H01L21/324 , H01L21/683 , H01L21/02
Abstract: 본발명은화학기상증착장치의반응챔버에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른화학기상증착장치의반응챔버는, 기재가로딩되는기재로딩부, 반응성가스를공급하기위한가스공급부, 반응성가스를배출하기위한가스배기부, 및반응챔버내의온도를조절하는온도조절장치를포함한다. 이때, 온도조절장치는반응챔버의일 측면에, 복수개의제 1 도선이소정의거리만큼이격되어서로나란하게배치되어형성된제 1 온도조절장치및 제 1 온도조절장치와대향하도록배치되고, 복수개의제 2 도선이제 1 도선과교차하도록소정의거리만큼이격되어서로나란하게배치되어형성된제 2 온도조절장치를포함한다.
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