Abstract:
본 발명은 산, 염기성용액, 혈액 등에서 나노와이어가 용해되지 않는 등 안정성이 확보된 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 나노와이어 표면에 플라즈마 중합법을 이용하여 탄화수소 또는 불화탄소로 보호층을 형성하는 단계와, 상기 보호층에 항체를 고정화시키는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본발명은반도체식염화수소가스센서에관한것으로, 반도체박막이형성된기판; 상기기판상에형성되는나노선패턴; 상기반도체박막및 나노선패턴상에형성되는보호층으로이루어지되, 상기보호층이형성된나노선패턴상에가스반응성물질이도포되는것을특징으로한다. 또한, 본발명에따른반도체식염화수소가스센서의제조방법은 a) 반도체박막및 상기반도체박막상에형성된나노선패턴의표면에염화수소가스에의한부식을방지하기위한보호층을형성하는단계; b) 염화수소가스에반응하는가스반응성물질을상기보호층위에도포하는기능화단계;를포함하는것을특징으로한다.
Abstract:
PURPOSE: A biosensor with stability and a method for manufacturing the same are provided to prevent dissolution of a nanowire in acid and basic solutions and blood. CONSTITUTION: A method for manufacturing a biosensor comprises: a step of forming a protection layer on the surface of a nanowire by plasma polymerization; and a step of immobilizing an antibody to the protection layer. The nanowire is ZnO, SnO_2, Si, or GaN. The biosensor comprises: the nanowire; the protection layer formed by plasma polymerization; and an antibody immobilized on the protection layer.
Abstract:
본 발명은 산 및 염기성 용액 내에서 용해되지 않는 등 안정한 나노와이어를 제조할 수 있는 나노와이어의 제조방법에 관한 것으로서, 기판 상에 나노와이어를 성장시키는 단계와, 상기 나노와이어 표면에 플라즈마를 이용하여 탄화수소 또는 불화탄소로 보호층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
PURPOSE: A manufacturing method of nano-wires which are stable under an acid anaerobic condition is provided to prevent the nano-wires from being dissolved in acid and basic solution, and blood. CONSTITUTION: A manufacturing method of nano-wires which are stable under an acid anaerobic condition comprises the following steps: growing the nano-wire on top of a substrate; and forming a protective layer with hydrocarbon or carbon fluoride on the nano-wire surface by using plasma. The nano-wire in the first step is composed of the one selected from ZnO, SnO2, and Si and GaN. The second step comprises the following steps: and forming a protective layer with hydrocarbon or carbon fluoride on top of the nano-wire surface by using the plasma. In the second step, the plasma vapor deposition condition is electricity of 100-1000W, the pressure of 10-100mTorr, and the flow rate of 10-100sccm of providing gas.