公开(公告)号：KR101851171B1

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：KR1020160094336

申请日：2016-07-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김명종 ,  서태훈 ,  이슬아 ,  김수민 ,  안석훈 ,  배수강 ,  손동익

IPC: B32B37/24 ,  C23C16/26 ,  C23C16/02 ,  C23C16/56 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C16/52 ,  B32B9/00 ,  B32B9/04

Abstract: 그래핀계배리어필름의제조방법으로서, 금속촉매층상에제1 화학기상증착공정을수행하여예비그래핀층을형성하는단계; 해당예비그래핀층에제2 화학기상증착공정을수행하여해당예비그래핀층을그래핀층으로변환시키는단계; 해당그래핀층상에고분자보호막을형성하는단계; 해당그래핀층의일면으로부터금속촉매층을제거하는단계; 및해당금속촉매층이제거된그래핀층을대상기판에전사시켜그래핀계배리어필름을형성하는단계; 를포함하는그래핀계배리어필름의제조방법이제공된다.

公开(公告)号：KR1020180011662A

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：KR1020160094336

申请日：2016-07-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김명종 ,  서태훈 ,  이슬아 ,  김수민 ,  안석훈 ,  배수강 ,  손동익

IPC: B32B37/24 ,  C23C16/26 ,  C23C16/02 ,  C23C16/56 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C16/52 ,  B32B9/00 ,  B32B9/04

CPC classification number: B32B37/24 ,  B32B9/007 ,  B32B9/045 ,  B32B2037/246 ,  B32B2307/7242 ,  C23C14/0652 ,  C23C14/08 ,  C23C16/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/52 ,  C23C16/56

Abstract: 그래핀계배리어필름의제조방법으로서, 금속촉매층상에제1 화학기상증착공정을수행하여예비그래핀층을형성하는단계; 해당예비그래핀층에제2 화학기상증착공정을수행하여해당예비그래핀층을그래핀층으로변환시키는단계; 해당그래핀층상에고분자보호막을형성하는단계; 해당그래핀층의일면으로부터금속촉매층을제거하는단계; 및해당금속촉매층이제거된그래핀층을대상기판에전사시켜그래핀계배리어필름을형성하는단계; 를포함하는그래핀계배리어필름의제조방법이제공된다.

Abstract translation: 1。一种石墨烯阻挡膜的制造方法，其特征在于，包括：在金属催化剂层上进行第一化学气相沉积工艺以形成预截平层; 在所述前体石蜡层上执行第二化学气相沉积工艺以将所述前体石墨层转变为石墨烯层; 在石墨烯层上形成聚合物保护膜; 从石墨烯层的一侧除去金属催化剂层; 然后将去除了金属催化剂层的石墨烯层转移到目标衬底上以形成石墨烯阻挡膜; 提供基于阻隔膜。