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公开(公告)号：KR1020180104462A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：KR1020170031259
申请日：2017-03-13
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은플루오르화란탄(Lanthanum Fluoride, LaF) 나노입자가고정된탄소나노튜브를포함하는가스센서용감지물질및 그제조방법, 그리고상기감지물질을포함하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 상기감지물질을이용함으로써전해질없이도 F가스에대한감도및 선택성이우수한가스센서를제공할수 있다. 또한, 본발명에따른가스센서는 F가스의농도측정이가능하며, 히터사용없이상온에서동작이가능해소비전력이최소화되는효과가있고, 소형화가가능해휴대용으로사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR20180005036A
公开(公告)日：2018-01-15
申请号：KR20160084921
申请日：2016-07-05
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00
CPC classification number: G01N27/4071 , G01N33/0037
Abstract: 본발명은백금(Pt) 나노입자및 산화백금(PtO) 나노입자(이하, 'Pt/PtO 나노입자'라함)로기능화된탄소나노튜브네트워크를포함하는가스센서용감지물질, 이를포함하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 자외선조사를이용하여 Pt/PtO 나노입자를탄소나노튜브측벽에기능화하고, 이렇게 Pt/PtO 나노입자로기능화된탄소나노튜브를감지물질로이용함으로써 Cl가스에대한감도및 선택성이우수한가스센서를제공할수 있다. 또한, 본발명에따른가스센서는히터사용없이상온에서동작이가능하므로소비전력이최소화되는효과가있으며, 소형화가가능해휴대용으로사용될수 있다.
Abstract translation: 本发明是铂（Pt）纳米粒子和氧化铂（PTO），纳米颗粒（在下文中，“PT / PtO的纳米颗粒”亚伯拉罕），包括官能化的碳纳米管网络向所述材料的气体传感器检测到时，气体传感器，其包括相同 及其制造方法。 根据本发明，通过使用与官能化碳纳米管侧壁官能化的碳纳米管的使用UV照射到氯气的Pt / PtO的纳米粒子的灵敏度和选择性，并由此的Pt / PtO的纳米颗粒敏感材料 可以提供出色的气体传感器。 此外，由于根据本发明的气体传感器可以在不使用加热器的情况下在室温下操作，所以功耗被最小化，并且气体传感器可以小型化并用于便携式目的。
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公开(公告)号：KR101769921B1
公开(公告)日：2017-08-21
申请号：KR1020160079270
申请日：2016-06-24
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은가스센서측정기에관한것으로, 외부에서제공되는가스를수용가능하도록이루어지는챔버, 상기챔버하부에설치되는히터상부, 상기히터상부의하부에설치되어센서칩을가열시키는히터, 상기히터상부위에직접놓여지고가스를감지하는센서칩, 상기센서칩을고정시키고전극역할을하는프로브, 외부의가스유입및 유출이가능하도록상기챔버에설치되는가스유입부및 가스유출부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101759274B1
公开(公告)日：2017-07-17
申请号：KR1020160043583
申请日：2016-04-08
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/12 , G01N27/333 , G01N27/22
CPC classification number: G01N27/12 , G01N27/333 , G01N2027/222 , Y10S977/742
Abstract: 본발명은기판, 상기기판상에흡착된탄소나노튜브및 상기탄소나노튜브가흡착된기판상에형성된전극을포함하며, 상기탄소나노튜브의표면에검출대상가스분자가통과할수 있는크기의홀(hole)이적어도하나이상형성되어있는탄소나노튜브기반의고감도가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 열처리공정만으로시판중인탄소나노튜브의표면에홀을형성하고, 이를감지물질로이용함으로써가스센서의반응도및 회복율을향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR101709626B1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：KR1020150117449
申请日：2015-08-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , G01N27/12 , G01N33/497 , C07F7/02 , C07F7/10
Abstract: 본발명은기판상에적어도하나의가스감지영역을포함하는가스센서로서, 상기가스감지영역이아미노화합물및 탄소나노튜브를포함하는것을특징으로하는일산화질소를선택적으로감지하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 아미노화합물과탄소나노튜브를감지물질로이용함으로써상온에서동작이가능하고, 저농도 NO 가스를높은감도로감지할수 있는가스센서및 그제조방법을제공할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101701917B1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150133025
申请日：2015-09-21
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L51/0026 , B22F1/025 , B22F7/04 , B22F2007/042 , B22F2301/25 , B22F2302/403 , B22F2304/054 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C23C14/185 , C23C14/5806 , G01N27/12 , H01L51/0003 , H01L51/0048 , H01L51/0096 , B22F3/10 , B22F9/026 , B22F2003/248 , B22F1/0018 , C22C2026/002 , B22F2201/11
Abstract: 본발명은기판, 상기기판상에흡착된탄소나노튜브, 상기탄소나노튜브표면에부착된백금나노입자및 상기백금나노입자가부착된탄소나노튜브가흡착된기판상에형성된전극을포함하는가스센서의제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 백금나노입자및 탄소나노튜브를감지물질로이용함으로써최소 2 ppm까지의저농도가스도높은감도로감지할수 있으며, NO뿐만아니라 CH, CH, CHO, CO, NO, NH등과같은유해가스도안정적으로감지할수 있고, 특히 NO가스에대한선택성및 감응특성이우수한가스센서의제조방법을제공할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种气体传感器及其制造方法。 气体传感器包括基板，吸附在基板上的碳纳米管（CNT），装饰到CNT的表面的铂纳米粒子（NP）以及在其上吸附有装有铂NP的CNT的基板上形成的电极。 当铂NP和CNT用作感测材料时，气体传感器可用于感测高灵敏度的气体，即使以至少2ppm的低浓度存在并且稳定地感测有害气体如C6H6，C7H8，C3H6O， CO，NO和NH 3以及NO 2，并且对于NO 2气体可以具有特别优异的选择性和响应特性。
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公开(公告)号：KR101922187B1
公开(公告)日：2018-11-26
申请号：KR1020170031259
申请日：2017-03-13
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은플루오르화란탄(Lanthanum Fluoride, LaF) 나노입자가고정된탄소나노튜브를포함하는가스센서용감지물질및 그제조방법, 그리고상기감지물질을포함하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 상기감지물질을이용함으로써전해질없이도 F가스에대한감도및 선택성이우수한가스센서를제공할수 있다. 또한, 본발명에따른가스센서는 F가스의농도측정이가능하며, 히터사용없이상온에서동작이가능해소비전력이최소화되는효과가있고, 소형화가가능해휴대용으로사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101847507B1
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：KR1020160148162
申请日：2016-11-08
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01N27/127 , B01J21/185 , B82B3/009 , B82Y30/00 , G01N27/128 , G01N27/4146 , G01N33/0036
Abstract: 본발명은기판; 상기기판상에형성되며, 카르복실기로표면개질된탄소나노튜브와포르피린(porphyrin)을포함하는가스감지부; 및상기가스감지부상에형성된전극을포함하는과산화수소검출용센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 카르복실기로표면개질된탄소나노튜브와포르피린(porphyrin)을가스감지물질로포함함으로써과산화수소증기에대한우수한감응특성및 선택성을갖는반도체형센서를제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR101886776B1
公开(公告)日：2018-08-08
申请号：KR1020160084921
申请日：2016-07-05
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00
Abstract: 본발명은백금(Pt) 나노입자및 산화백금(PtO) 나노입자(이하, 'Pt/PtO 나노입자'라함)로기능화된탄소나노튜브네트워크를포함하는가스센서용감지물질, 이를포함하는가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 자외선조사를이용하여 Pt/PtO 나노입자를탄소나노튜브측벽에기능화하고, 이렇게 Pt/PtO 나노입자로기능화된탄소나노튜브를감지물질로이용함으로써 Cl가스에대한감도및 선택성이우수한가스센서를제공할수 있다. 또한, 본발명에따른가스센서는히터사용없이상온에서동작이가능하므로소비전력이최소화되는효과가있으며, 소형화가가능해휴대용으로사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101750010B1
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：KR1020150128330
申请日：2015-09-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , C23C14/34 , C23C14/14 , B82Y15/00
Abstract: 본발명은, 기판, 상기기판상에흡착된탄소나노튜브, 상기탄소나노튜브가흡착된기판상에진공증착된금 나노입자및 상기금 나노입자가진공증착된상기기판상에형성된전극을포함하는가스센서;와 (a) 기판상에탄소나노튜브를흡착시키는단계 (b) 상기탄소나노튜브가흡착된기판상에금(Au) 박막을진공증착시키는단계및 (c) 상기금(Au) 박막이진공증착된기판을열처리하여상기탄소나노튜브가흡착된기판상에금(Au) 나노입자를형성하는단계를포함하는가스센서의제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 금나노입자및 탄소나노튜브를감지물질로이용함으로써최소 1ppm까지의저농도가스도높은감도로감지할수 있으며, NO, NH뿐만아니라 CO, VOCs 등과같은가스도안정적으로감지할수 있는선택성이우수한가스센서의제조방법을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明中，所述基板，所述基板到所述碳纳米管，所述碳纳米管是沉积在形成于基板的真空沉积在吸附基板的金颗粒和吸附在含电极上的金颗粒的真空 （B）在其上吸附有碳纳米管的基板上真空沉积金（Au）薄膜;以及（c） （Au）纳米颗粒沉积在其上通过热处理沉积有二元共沉积的基底而吸附碳纳米管的基底上。 根据本发明，该气体也选择性可以通过使用纳米颗粒和碳纳米管可靠地检测，如金，感测材料可为kkajiui至少1ppm的低浓度气体以高灵敏度检测到，NO，NH，以及CO，VOC的 可以提供制造出色的气体传感器的方法。
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