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公开(公告)号:KR101792564B1
公开(公告)日:2017-11-02
申请号:KR1020160042117
申请日:2016-04-06
Applicant: 한국과학기술연구원 , (주)새론테크놀로지
Abstract: 본발명은영상처리방법및 이를이용항영상처리장치에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른영상처리방법은, 전자현미경으로영상을촬영하는영상촬영단계, 전자현미경의측정스테이지를이동스캔하면서대상체의타깃부분을추적하는영상추적모드또는타깃부분에초점이맞춰진상태에서촬영되는정지영상들의노이즈를제거하고영상을정밀화하는영상정밀화모드중 하나의모드에서영상을처리하는단계및 처리된영상을디스플레이하는영상출력단계를포함한다.
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公开(公告)号:KR1020170114700A
公开(公告)日:2017-10-16
申请号:KR1020160042117
申请日:2016-04-06
Applicant: 한국과학기술연구원 , (주)새론테크놀로지
CPC classification number: G02B21/367 , G06T5/003 , G06T5/007 , G06T7/13
Abstract: 본발명은영상처리방법및 이를이용항영상처리장치에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른영상처리방법은, 전자현미경으로영상을촬영하는영상촬영단계, 전자현미경의측정스테이지를이동스캔하면서대상체의타깃부분을추적하는영상추적모드또는타깃부분에초점이맞춰진상태에서촬영되는정지영상들의노이즈를제거하고영상을정밀화하는영상정밀화모드중 하나의모드에서영상을처리하는단계및 처리된영상을디스플레이하는영상출력단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种图像处理方法,以及此用途,其中所述图像处理装置中,根据本发明的一个实施例的图像处理方法中,当移动视频图像的测量载台拍摄用电子显微镜,电子显微镜扫描拍摄图像的步骤 从对准拍摄的静止图像的去除噪声,在图像跟踪模式或目标部分的聚焦状态以跟踪对象的目标部分和处理所述图像精度模式的一种模式的图像来细化所述图像和所述处理后的图像 以及用于显示图像的图像输出步骤。
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公开(公告)号:KR1020170071652A
公开(公告)日:2017-06-26
申请号:KR1020150179085
申请日:2015-12-15
Applicant: (주)새론테크놀로지
Inventor: 구정회
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/026 , H01J2237/141 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은진공상태에서시료를관찰하도록하는진공챔버없이대기중에서시료표면으로부터산란되어방출되는후방산란전자를검출하여시료를관찰할수 있도록구현되는주사전자현미경에관한것이다. 본발명에따른주사전자현미경은진공상태를형성하는경통, 경통의상부에위치하고, 진공하에서전자빔을하부로주사하는전자총, 경통의하부면의일부를형성하여경통내부를진공상태로형성하고전자빔을통과시키는차폐막, 차폐막의하부에위치하여전자총으로부터차폐막을통과한전자빔이시료에조사되도록시료가배치되는시료대, 전자총과차폐막사이에위치하여전자빔을통과시키는홀이형성되고, 상부면에자기장을형성하는제1 평면코일을구비하여전자빔을집속하여차폐막으로전달하고, 시료로부터후방산란되는후방산란전자를검출하는제1 후방산란검출기를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及到可以观察到样本的执行,以检测从样品表面发出的背散射电子被散射在空气中而不真空室,以便观察在真空中的样品的扫描电子显微镜。 根据本发明的柱,以形成真空状态,位于该塔的顶部扫描电子显微镜,电子枪使电子束扫描到的底部,从而形成筒体的下表面的一部分以形成真空状态内的桶,并且在真空中的电子束 穿过屏蔽膜的孔,用于定位于屏蔽膜的通过从该样本被布置成照射到样品上的电子枪的屏蔽膜的下部的电子束一个样品中,被定位在电子枪,并通过电子束屏蔽膜之间形成的磁场的顶部表面 并具有第一平面线圈通过集中发送到屏蔽的电子束形成,并且从样品中包括用于检测反向散射和背散射电子,背散射的第一检测器。
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公开(公告)号:KR3008695730000S
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:KR3020150066550
申请日:2015-12-28
Applicant: (주)새론테크놀로지
Designer: 구정회
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公开(公告)号:KR101756171B1
公开(公告)日:2017-07-12
申请号:KR1020150179085
申请日:2015-12-15
Applicant: (주)새론테크놀로지
Inventor: 구정회
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/026 , H01J2237/141 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은진공상태에서시료를관찰하도록하는진공챔버없이대기중에서시료표면으로부터산란되어방출되는후방산란전자를검출하여시료를관찰할수 있도록구현되는주사전자현미경에관한것이다. 본발명에따른주사전자현미경은진공상태를형성하는경통, 경통의상부에위치하고, 진공하에서전자빔을하부로주사하는전자총, 경통의하부면의일부를형성하여경통내부를진공상태로형성하고전자빔을통과시키는차폐막, 차폐막의하부에위치하여전자총으로부터차폐막을통과한전자빔이시료에조사되도록시료가배치되는시료대, 전자총과차폐막사이에위치하여전자빔을통과시키는홀이형성되고, 상부면에자기장을형성하는제1 평면코일을구비하여전자빔을집속하여차폐막으로전달하고, 시료로부터후방산란되는후방산란전자를검출하는제1 후방산란검출기를포함한다.
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公开(公告)号:KR3008671110000S
公开(公告)日:2016-08-09
申请号:KR3020150064349
申请日:2015-12-16
Applicant: (주)새론테크놀로지
Designer: 구정회
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