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公开(公告)号：KR1020170141943A
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：KR1020160075008
申请日：2016-06-16
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01N21/8806 , G01J1/44 , G01J2001/448 , G01N2201/1042
Abstract: 본발명은, 반도체의고속광학검사방법에관한것으로, 보다구체적으로, 시편을여기시키는단계; 상기시편에서발광된빛을스캔하여측정광을획득하는단계; 상기측정광을분광기로전달하는단계; 상기전달된측정광을분광기를이용하여선측정하거나또는면측정하여광학정보를획득하는단계; 및상기광학정보를 CCD(전자결합소자)를이용하여 CCD 이미지를획득하여광학정보를처리하는단계; 를포함하는, 반도체의고속광학검사방법에관한것이다. 본발명은, 기존의반도체소자의광학검사방법에비하여, 검사시간을대폭줄일 수있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种半导体的高速光学检查方法，更具体地说， 扫描试样发出的光线以获得测量光; 将测量光传输至分光镜; 通过使用分光镜对透射的测量光进行线或平面测量来获取光学信息; 并且通过使用CCD（电子耦合装置）获取CCD图像来处理光学信息以处理光学信息; 用于半导体的高速光学检测方法。 产业上的可利用性本发明与现有的半导体装置用光学检查方法相比，能够大幅缩短检查时间。
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公开(公告)号：KR1020170088128A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：KR1020160008060
申请日：2016-01-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은, 엑시톤폴라리톤소자용구조체, 이의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로, 둥근모서리를갖는코어-쉘단면을포함하고, 상기코어는제1 화합물반도체의나노구조체를포함하며, 상기쉘은상기코어의측면에형성된양자구조층을포함하는, 엑시톤폴라리톤소자용구조체및 이의제조방법에관한것이다. 본발명은, 엑시톤과광자의상호작용을증가시키고, 상온에서엑시톤폴라리톤의구동이가능한엑시톤폴라리톤소자용구조체를제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种激子极性瑞通器件结构，其制造方法为，更具体地，具有圆形的芯角 - 和包括壳体部分，其中，所述芯包含半导体的第一化合物的纳米结构，所述壳 以及在卤化银核芯的侧面上形成的量子结构层及其制造方法。 本发明可以提供能够增加激子与光子之间的相互作用并能够在室温下驱动激子极化激元的激子极化激元器件的结构。
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公开(公告)号：KR101861919B1
公开(公告)日：2018-05-28
申请号：KR1020160075008
申请日：2016-06-16
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은, 반도체의고속광학검사방법에관한것으로, 보다구체적으로, 시편을여기시키는단계; 상기시편에서발광된빛을스캔하여측정광을획득하는단계; 상기측정광을분광기로전달하는단계; 상기전달된측정광을분광기를이용하여선측정하거나또는면측정하여광학정보를획득하는단계; 및상기광학정보를 CCD(전자결합소자)를이용하여 CCD 이미지를획득하여광학정보를처리하는단계; 를포함하는, 반도체의고속광학검사방법에관한것이다. 본발명은, 기존의반도체소자의광학검사방법에비하여, 검사시간을대폭줄일 수있다.
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公开(公告)号：KR101782716B1
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：KR1020160008060
申请日：2016-01-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은, 엑시톤폴라리톤소자용구조체, 이의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로, 둥근모서리를갖는코어-쉘단면을포함하고, 상기코어는제1 화합물반도체의나노구조체를포함하며, 상기쉘은상기코어의측면에형성된양자구조층을포함하는, 엑시톤폴라리톤소자용구조체및 이의제조방법에관한것이다. 본발명은, 엑시톤과광자의상호작용을증가시키고, 상온에서엑시톤폴라리톤의구동이가능한엑시톤폴라리톤소자용구조체를제공할수 있다.
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