公开(公告)号：KR20200135878A

公开(公告)日：2020-12-03

申请号：KR20207031525

申请日：2019-04-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEMPENIUS PETER PAUL ,  HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  KREMERS MAARTEN FRANS JANUS ,  VAN DE GROES HENRICUS MARTINUS JOHANNES ,  BOSCH NIELS JOHANNES MARIA ,  BAGGEN MARCEL KOENRAAD MARIE

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/09 ,  H01J37/317

Abstract: e-빔장치가개시되고, 상기장치는대상물상으로 e-빔을투영하도록구성되는전자광학기시스템(500), 대상물을유지하는대상물테이블, 및전자광학기시스템에대해대상물테이블(520)을이동시키도록구성되는위치설정디바이스(510)를포함한다. 위치설정디바이스는전자광학기시스템에대해대상물테이블을이동시키도록구성되는단행정스테이지(512) 및전자광학기시스템에대해단행정스테이지를이동시키도록구성되는장행정스테이지(511)를포함한다. e-빔장치는위치설정디바이스에의해발생되는자기교란으로부터전자광학기시스템을차폐하기위한자기차폐부(540)를더 포함한다. 자기차폐부는위치설정디바이스와전자광학기시스템사이에배치될수 있다.