公开(公告)号：CN105470083A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510807638.0

申请日：2015-09-30

Applicant: FEI公司

Inventor： K·卡加赖斯 ,  C·奥蒂斯 ,  N·W·帕克

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  H01J2237/32 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3056

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的弯道切断器组件及使用其的方法。用于带电粒子束系统的弯道切断器组件包括入口和出口、至少一个中性粒子阻挡结构、多个弯道偏转器、束切断偏转器、以及束阻挡结构。入口被配置成接受沿着轴线传播的带电粒子的束。至少一个中性粒子阻挡结构与轴线相交。多个弯道偏转器包括顺序地串联设置在入口和出口之间并且被配置成沿着绕过中性粒子阻挡结构并通过出口离开弯道切断器组件的路径而偏转束的第一弯道偏转器、第二弯道偏转器、第三弯道偏转器以及第四弯道偏转器。在实施例中，弯道切断器组件包括两个中性粒子阻挡结构。在实施例中，束阻挡结构设置在第三弯道偏转器和第四弯道偏转器之间。