公开(公告)号：CN108369887A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201780004430.2

申请日：2017-01-19

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·科尔文 ,  哲-简·谢 ,  保罗·西尔弗斯坦

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/063 ,  H01J37/09 ,  H01J37/08 ,  H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/083

Abstract: 一种用于离子注入系统的光学面板，该光学面板包括一对孔径组件。每对孔径组件各自包括第一孔径构件、第二孔径构件以及孔径固件，其中该孔径固件将第一孔径构件固定至第二孔径构件。孔径尖端可以同样固定至第二孔径构件。第一孔径构件、第二孔径构件、孔径尖端和孔径固件中的一个或多个由耐熔金属、钨、钨镧合金、钨钇合金和/或石墨和碳化硅中的一种或多种制成。孔径组件可以限定离子注入系统中的引出电极组件、接地电极组件或其他电极组件。

公开(公告)号：CN104952681B

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201510104494.2

申请日：2015-03-10

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 八木田贵典

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/05 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057

Abstract: 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的最终能量过滤器(400)具备入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)。最终能量过滤器(400)具备FEF电源部(414)，该FEF电源部构成为分别单独向入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)施加电压。FEF电源部(414)分别向上游辅助电极部(402)、偏转电极部(306)及下游辅助电极部(404)施加电压，以使上游辅助电极部(402)与偏转电极部(306)之间的第1区域中的离子束的能量范围和偏转电极部(306)与下游辅助电极部(404)之间的第2区域中的离子束的能量范围成为相同程度。

公开(公告)号：CN105405734B

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：CN201510554068.9

申请日：2015-09-02

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： E.F.德荣格 ,  S.拉扎 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  R.格尔恩克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：‑样本夹持器，用于夹持样本；‑源，用于产生带电粒子的射束；‑照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；‑成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：‑使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；‑在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；‑使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；‑使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。

公开(公告)号：CN106804114A

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201580034881.1

申请日：2015-06-25

Applicant: 加坦公司

Inventor： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 ,  科林·特雷弗 ,  雷伊·达德利·特韦斯顿 ,  梅勒妮·巴费尔斯

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。

公开(公告)号：CN103180030B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201180051189.1

申请日：2011-08-23

Applicant: 艾克索乔纳斯公司

Inventor： 肖恩·R·柯克帕特里克 ,  艾伦·R·柯克帕特里克

IPC: B01D59/00

CPC classification number: G03F1/80 ,  B24B37/04 ,  G03F1/82 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/0812 ,  H01J2237/15 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/26566 ,  H01L21/31105 ,  H01L21/31111 ,  H01L29/36 ,  H05H3/02 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/30

Abstract: 提供用于处理材料的来自加速气体团簇离子束的加速中性射束的设备、方法和产品。

公开(公告)号：CN106548913A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201710049531.3

申请日：2013-04-02

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 姜辛容 ,  韩立群

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明涉及用于高分辨率电子束成像的设备及方法。一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN105470086A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510912897.X

申请日：2015-12-11

Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所

Inventor： 孙雪平 ,  袁卫华 ,  张赛 ,  彭立波 ,  易文杰

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/317 ,  H01J37/023 ,  H01J37/05

Abstract: 本发明公开了一种高能多元素离子注入机，包括离子源、质量分析器、射频加速系统和靶室，质量分析器将离子源产生的离子束筛选后传输给射频加速系统进行加速，经射频加速系统加速到高能量状态的离子束传输至靶室内完成离子束注入，靶室内设有靶台运动机构，靶台运动机构兼具水平方向和竖直方向的两个运动维度，在靶室内以二维扫描方式完成离子束注入。本发明具有结构简单紧凑、离子注入均匀性好、离子注入能量污染小的优点。

公开(公告)号：CN103377865B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210118487.4

申请日：2012-04-20

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 彭立波 ,  龙会跃 ,  谢均宇

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1472 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1475 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152

Abstract: 本发明公开了一种宽带离子束传输方法，其采用两个独立的磁场：分析磁场和校正磁场，以及分析光栏对宽带离子束进行传输；若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿逆时针方向偏转，则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方向沿顺时针方向偏转；若所述分析磁场使从其入射面射入的宽带离子束在水平方向沿顺时针方向偏转，则所述校正磁场使通过所述分析光栏后再次扩散的离子束在水平方向沿逆时针方向偏转；本发明还公开了一种离子注入机。由于分析磁场和校正磁场使离子束在水平方向沿不同方向偏转，使得宽带离子束中所需的离子从校正磁场的出射面射出时具有与入射时相同的分布。

公开(公告)号：CN104425200A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410369393.3

申请日：2014-07-30

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 狩谷宏行

IPC: H01J37/317 ,  G01R33/02

CPC classification number: H01J37/243 ,  G01R33/07 ,  G01R33/072 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/3045

Abstract: 本发明提供一种与磁场测定有关且有助于提高生产性的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(100)具备配设于离子源与处理室之间的能量分析电磁铁(24)。能量分析电磁铁(24)具备：霍尔元件(110)，根据偏转磁场生成测定输出；及NMR元件(112)，生成NMR输出。离子注入装置(100)的控制部(102)具备：磁场测定部(114)，根据偏转磁场与测定输出之间已知的对应关系测定偏转磁场；磁场决定部(118)，根据NMR输出决定偏转磁场；及霍尔元件校正部(120)，利用根据NMR输出决定的偏转磁场和与该偏转磁场对应的霍尔元件(110)的新的测定输出来更新已知的对应关系。

公开(公告)号：CN104217918A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410365969.9

申请日：2014-05-15

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： A·格拉斯马彻斯 ,  M·阿里曼

IPC: H01J49/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J49/022 ,  H01J49/027 ,  H01J49/424 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/057

Abstract: 本发明涉及一种用于质量筛选地确定至少一个离子或多个离子的装置。把根据本发明的装置应用在例如具有离子阱(1404)的测量装置中。离子阱(1404)包括具有第一开口的环形电极(1401)。第一电极(1402)安置在第一开口上。此外设置用于为离子阱(1404)提供高频储存信号的放大器(1408)和第一变压器(1411)，第一变压器(1411)与放大器(1408)和第一电极(1402)如此地连接，使得高频储存信号通过第一变压器(1411)被耦合进第一电极(1402)。