公开(公告)号：DE68925375T2

公开(公告)日：1996-07-11

申请号：DE68925375

申请日：1989-02-28

Applicant: IBM

Inventor： AGARWALA BIRENDRA NATH ,  BECKHAM KEITH FOWLER ,  COOPER-JOSELOW ALICE HAVEN ,  NARAYAN CHANDRASEKHAR ,  PURUSHOTHAMAN SAMPATH ,  RAY SUDIPTA KUMAR

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/498 ,  H01L23/532 ,  H05K3/24 ,  H01L23/48 ,  H01L23/52

公开(公告)号：DE68925375D1

公开(公告)日：1996-02-22

申请号：DE68925375

申请日：1989-02-28

Applicant: IBM

Inventor： AGARWALA BIRENDRA NATH ,  BECKHAM KEITH FOWLER ,  COOPER-JOSELOW ALICE HAVEN ,  NARAYAN CHANDRASEKHAR ,  PURUSHOTHAMAN SAMPATH ,  RAY SUDIPTA KUMAR

IPC: H01L21/60 ,  H01L23/498 ,  H01L23/532 ,  H05K3/24 ,  H01L23/48 ,  H01L23/52