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公开(公告)号：DE112018000917T5
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：DE112018000917
申请日：2018-04-18
Applicant: IBM
Inventor： HORESH LIOR , HORESH RAYA , COHEN GUY , VAN KESSEL THEODORE , WISNIEFF ROBERT LUKE
IPC: G03B17/12
Abstract: Verfahren und Systeme zum Reinigen einer optischen Einheit beinhalten Messen eines Zustands der optischen Einheit. Dabei wird ermittelt, ob die optische Einheit auf Grundlage des gemessenen Zustands der optischen Einheit gereinigt werden muss. Die optische Einheit wird mit Ultraschallschwingungen gereinigt, wenn die optische Einheit gereinigt werden muss.
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