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公开(公告)号:GB2518087A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:GB201422125
申请日:2013-05-17
Applicant: IBM
Inventor: BLACKSHEAR EDMUND D , LOMBARDI THOMAS , MERTE DONALD , OSTRANDER STEVEN P , WEISS THOMAS , ZHENG JIANTAO
IPC: H01L21/687
Abstract: A fixture (86) for shaping a laminate substrate (10) includes a trap ring (60), a base plate (40) and a center button (70). The base plate (40) includes a recess (42) adapted to receive the laminate substrate (10). The center button (70) is disposed in an opening (45) in the base plate (40). The center button (70) may be adjusted to shape the laminate substrate (10).
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公开(公告)号:DE112020003969T5
公开(公告)日:2022-05-05
申请号:DE112020003969
申请日:2020-09-16
Applicant: IBM
Inventor: DRUMMOND KEVIN , LOMBARDI THOMAS , OSTRANDER STEVE , ALLARD STEPHANIE , DUFORT CATHERINE
Abstract: Eine Struktur (101) mit einer gesteuerten kapillaren Bedeckung wird bereitgestellt und weist ein Substrat (110), das einen oder mehrere erste Kontakte (112) aufweist, eine Komponente (130) sowie ein Haftmittel (140) auf. Die Komponente (130) weist einen oder mehrere zweite Kontakte (132) sowie eine Rippe (133) auf, die in einem Abstand von jedem von dem einen oder den mehreren zweiten Kontakten (132) angeordnet ist. Die Komponente (130) ist derart angeordnet, dass der eine oder die mehreren zweiten Kontakte (132) mit dem einen oder den mehreren ersten Kontakten (112) in Verbindung steht/stehen und dass entsprechende Oberflächen des Substrats (110) und die Rippe (133) einander auf einer gesteuerten Zwischenraumhöhe gegenüberliegen, so dass ein Füllraum (150) definiert wird. Das Haftmittel (140) wird an einem einzelnen Punkt (141) verteilt, so dass das Haftmittel (140) durch die Kapillarwirkung so gezogen wird, dass der Füllraum (150) gefüllt wird.
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