公开(公告)号：DE3852370D1

公开(公告)日：1995-01-19

申请号：DE3852370

申请日：1988-09-22

Applicant: IBM

Inventor： COTE WILLIAM J ,  KERBAUGH MICHAEL L ,  KENNEY DONALD M ,  LEACH MICHAEL A ,  ROBINSON JEFFREY A ,  SWEETSER ROBERT W

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/31 ,  H01L21/312

公开(公告)号：DE3852370T2

公开(公告)日：1995-05-24

申请号：DE3852370

申请日：1988-09-22

Applicant: IBM

Inventor： COTE WILLIAM J ,  KERBAUGH MICHAEL L ,  KENNEY DONALD M ,  LEACH MICHAEL A ,  ROBINSON JEFFREY A ,  SWEETSER ROBERT W

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/31 ,  H01L21/312