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公开(公告)号：DE112013000700T5
公开(公告)日：2014-10-09
申请号：DE112013000700
申请日：2013-02-12
Applicant: IBM
Inventor： SUNDBERG LINDA KARIN , WALLRAFF GREGORY MICHAEL , SONG QING , BASS JOHN DAVID , KIM HO-CHEOL , MILLER ROBERT DENNIS
Abstract: Es werden Zusammensetzungen nach der Formel (3) offenbart: [C']k[Ta(O2)x(L')y](3),wobei x eine Ganzzahl von 1 bis 4 ist, y eine Ganzzahl von 1 bis 4 ist, Ta(O2)x(L')y eine Ladung von 0 bis –3 aufweist, C ein Gegenion mit einer Ladung von +1 bis +3 ist, k eine Ganzzahl von 0 bis 3 ist, L' ein oxidativ stabiler organischer Ligand mit einer Ladung von 0 bis –4 ist, und L' eine elektronenabgebende Funktionsgruppe aufweist, die aus der Gruppe gewählt ist, die aus Carboxylaten, Alkoxiden, Aminen, Aminoxiden, Phosphinen, Phosphinoxiden, Arsinoxiden und Kombinationen daraus besteht. Die Zusammensetzungen finden als hoch auflösende Fotolacke Anwendung.
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公开(公告)号：GB2512794B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：GB201413639
申请日：2013-02-12
Applicant: IBM
Inventor： BASS JOHN DAVID , SUNDBERG LINDA KARIN , WALLRAFF GREGORY MICHAEL , MILLER ROBERT DENNIS , KIM HO-CHEOL , SONG QING
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公开(公告)号：GB2512794A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：GB201413639
申请日：2013-02-12
Applicant: IBM
Inventor： BASS JOHN DAVID , SUNDBERG LINDA KARIN , WALLRAFF GREGORY MICHAEL , MILLER ROBERT DENNIS , KIM HO-CHEOL , SONG QING
Abstract: Compositions are disclosed having the formula (3): [C']k[Ta(O2)x(L')y] (3), wherein x is an integer of 1 to 4, y is an integer of 1 to 4, Ta(O2)x(L')y has a charge of 0 to -3, C' is a counterion having a charge of + 1 to +3, k is an integer of 0 to 3, L' is an oxidatively stable organic ligand having a charge of 0 to -4, and L' comprises an electron donating functional group selected from the group consisting of carboxylates, alkoxides, amines, amine oxides, phosphines, phosphme oxides, arsine oxides, and combinations thereof. The compositions have utility as high resolution photoresists.
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公开(公告)号：SG11201402450UA
公开(公告)日：2014-06-27
申请号：SG11201402450U
申请日：2013-02-12
Applicant: IBM
Inventor： BASS JOHN DAVID , SUNDBERG LINDA KARIN , WALLRAFF GREGORY MICHAEL , MILLER ROBERT DENNIS , KIM HO-CHEOL , SONG QING
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