公开(公告)号：DE3264864D1

公开(公告)日：1985-08-29

申请号：DE3264864

申请日：1982-04-07

Applicant: IBM

Inventor： DENNARD ROBERT HEATH ,  WORDEMAN MATTHEW ROBERT

IPC: H01L27/10 ,  H01L21/265 ,  H01L21/74 ,  H01L21/8242 ,  H01L23/556 ,  H01L27/108 ,  H01L29/78 ,  H01L29/06

公开(公告)号：DE69030074D1

公开(公告)日：1997-04-10

申请号：DE69030074

申请日：1990-12-13

Applicant: IBM

Inventor： CHAUDHARI PRAVEEN ,  GAMBINO RICHARD JOSEPH ,  KOCH ROGER HILSEN ,  LAIBOWITZ ROBERT BENJAMIN ,  GANIN ETI ,  SAI-HALASZ GEORGE ANTHONY ,  KRUSIN-ELBAUM LIA ,  SUN YUAN-CHEN ,  WORDEMAN MATTHEW ROBERT

IPC: H01L27/092 ,  H01L21/8238 ,  H01L29/43 ,  H01L29/49 ,  H01L29/78 ,  H01L39/02 ,  H01L39/22 ,  H01L39/24

公开(公告)号：DE69030074T2

公开(公告)日：1997-09-18

申请号：DE69030074

申请日：1990-12-13

Applicant: IBM

Inventor： CHAUDHARI PRAVEEN ,  GAMBINO RICHARD JOSEPH ,  KOCH ROGER HILSEN ,  LAIBOWITZ ROBERT BENJAMIN ,  GANIN ETI ,  SAI-HALASZ GEORGE ANTHONY ,  KRUSIN-ELBAUM LIA ,  SUN YUAN-CHEN ,  WORDEMAN MATTHEW ROBERT

IPC: H01L27/092 ,  H01L21/8238 ,  H01L29/43 ,  H01L29/49 ,  H01L29/78 ,  H01L39/02 ,  H01L39/22 ,  H01L39/24