公开(公告)号：DE102005045315B4

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：DE102005045315

申请日：2005-09-22

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： CHOI SANG KUK ,  KIM DAE JUN ,  JEONG JIN WOO ,  KIM DAE YONG

IPC: G12B5/00 ,  B23Q16/00

公开(公告)号：DE102005045315A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：DE102005045315

申请日：2005-09-22

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： CHOI SANG KUK ,  KIM DAE JUN ,  JEONG JIN WOO ,  KIM DAE YONG

IPC: G12B5/00 ,  B23Q16/00

Abstract: Provided is a micro stage comprising: a body having a vertically perforated through-hole passing through a central portion thereof; a bobbin including a tip portion with an electron emission tip embedded in the center thereof, and passing through the through-hole of the body to be moved in the through-hole along a first axis perpendicular to a vertical direction; a first piezoelectric element disposed on the body and lengthened when a voltage is applied thereto to push the bobbin in one direction along the first axis; a second piezoelectric element disposed on the body and lengthened when a voltage is applied thereto to push the bobbin in the other direction along the first axis; and an upper cover that is coupled to an upper portion of the body and has a through-hole, through which the bobbin passes and communicates with the through-hole of the body, wherein the bobbin can be positioned as desired along the first axis by adjusting the voltages applied to the first piezoelectric element and the second piezoelectric element. Accordingly, the emission tip can be exactly and stably positioned using only the movable piezoelectric elements.

公开(公告)号：DE112013004626T5

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：DE112013004626

申请日：2013-09-17

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： PARK KYUNG HYUN ,  KIM NAM-JE ,  KO HYUN-SUNG ,  LEE DONG-HUN ,  HAN SANG-PIL ,  RYU HAN-CHEOL ,  PARK JEONG-WOO ,  MOON KI WON ,  KIM DAE YONG

IPC: H01S4/00

Abstract: Hierin sind ein Photomischer und ein Verfahren zum Herstellen des Photomischers beschrieben, welche die bestehenden einschränkenden Faktoren einer PCA und eines Photomischers, welche Kernbestandteile eines herkömmlichen Breitband-Terahertz-Spektroskopie-Systems sind, grundsätzlich lösen können. Der dargestellte Photomischer enthält eine aktive Schicht, die auf einer oberen Fläche eines Substrats gebildet ist, wobei die aktive Schicht auf einem Bereich gebildet ist, auf welchen Licht einfällt, und eine thermisch leitende Schicht, die auf der oberen Fläche des Substrats gebildet ist, wobei die thermisch leitende Schicht auf einem Bereich gebildet ist, welcher sich vom dem Bereich unterscheidet, auf welchen Licht einfällt. Die aktive Schicht ist derart gebildet, dass sie einen Mesa-Querschnitt aufweist, und die thermisch leitende Schicht ist auf dem Bereich, welcher sich von dem Bereich unterscheidet, auf welchen Licht einfällt, mittels eines MOCVD-Verfahrens nachwachsen gelassen worden und weist eine abgeflachte Oberfläche auf.