公开(公告)号：JP2775436B2

公开(公告)日：1998-07-16

申请号：JP22838788

申请日：1988-09-14

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMODA ISAMU ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  UDA KOJI ,  KARYA TAKUO ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2750582B2

公开(公告)日：1998-05-13

申请号：JP22225188

申请日：1988-09-07

Applicant: KYANON KK

Inventor： AMAMYA MITSUAKI ,  OZAWA KUNITAKA ,  EBINUMA RYUICHI ,  UDA KOJI ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G01T1/29 ,  G03F7/20 ,  G21K5/02 ,  G21K5/04 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H05H13/04

公开(公告)号：JP2829660B2

公开(公告)日：1998-11-25

申请号：JP2507190

申请日：1990-02-06

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMODA ISAMU ,  KARYA TAKUO ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  OZAWA KUNITAKA ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: H01L21/30 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP2649556B2

公开(公告)日：1997-09-03

申请号：JP21852588

申请日：1988-09-02

Applicant: KYANON KK

Inventor： FUJIOKA HIDEHIKO ,  CHIBA JUJI ,  KUNO MITSUTOSHI ,  KARYA TAKUO ,  SHIMODA ISAMU

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2748127B2

公开(公告)日：1998-05-06

申请号：JP21852188

申请日：1988-09-02

Applicant: KYANON KK

Inventor： SAKAMOTO EIJI ,  HARA SHINICHI ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP2640247B2

公开(公告)日：1997-08-13

申请号：JP22348388

申请日：1988-09-08

Applicant: KYANON KK

Inventor： TERAJIMA SHIGERU ,  AMAMYA MITSUAKI ,  UDA KOJI ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2788234B2

公开(公告)日：1998-08-20

申请号：JP28083186

申请日：1986-11-27

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMODA ISAMU ,  TSUKAMOTO TAKEO ,  SHIMIZU AKIRA ,  SUZUKI AKIRA ,  SUGATA MASAO ,  OKUNUKI MASAHIKO

IPC: H01J1/316 ,  H01J1/30 ,  H01J1/308 ,  H01J1/312 ,  H01J3/02 ,  H01J29/04 ,  H01J37/06

公开(公告)号：JP2663384B2

公开(公告)日：1997-10-15

申请号：JP15270086

申请日：1986-07-01

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMIZU AKIRA ,  TSUKAMOTO TAKEO ,  SUZUKI AKIRA ,  SUGATA MASAO ,  SHIMODA ISAMU ,  OKUNUKI MASAHIKO

IPC: H01J19/24 ,  H01J19/38 ,  H01J21/10 ,  H01L29/66

公开(公告)号：JP2654013B2

公开(公告)日：1997-09-17

申请号：JP10884787

申请日：1987-05-06

Applicant: KYANON KK

Inventor： TSUKAMOTO TAKEO ,  MYAWAKI MAMORU ,  SHIMODA ISAMU ,  SUZUKI AKIRA ,  KANEKO TETSUYA ,  TAKEDA TOSHIHIKO ,  OKUNUKI MASAHIKO

IPC: H01J37/073 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J9/02

公开(公告)号：JP2631526B2

公开(公告)日：1997-07-16

申请号：JP22348288

申请日：1988-09-08

Applicant: KYANON KK

Inventor： MOCHIZUKI NORITAKA ,  EBINUMA RYUICHI ,  WATANABE YUTAKA ,  UNO SHINICHIRO ,  KARYA TAKUO ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30