公开(公告)号：CN101097924A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200610166797.8

申请日：2006-11-30

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 李宝铉 ,  许宰硕 ,  田雄基

IPC: H01L27/12 ,  H01L23/532 ,  H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L27/1248 ,  G02F1/136227

Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法，其中在不使用任何光刻胶的情况下对钝化层直接进行曝光和构图工艺，从而简化了制造工艺并确保减少了制备成本。具体地说，该方法包括：在基板上形成选通线和栅极；形成半导体层，该半导体层与所述栅极绝缘并与所述栅极的一部分交叠；分别在所述半导体层的两侧上形成源极和漏极，同时形成与所述选通线交叉的数据线；使用具有感光基团X的金属醇盐和具有感光基团Y的硅醇盐的溶胶化合物，在包括所述源极和所述漏极的所述基板的整个上表面上形成钝化层；对所述钝化层进行曝光和显影，以形成暴露出所述漏极的接触孔；以及形成要通过所述接触孔与所述漏极接触的像素电极。

公开(公告)号：CN101197293A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200710199049.4

申请日：2007-12-07

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 李宝铉 ,  文泰亨

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/84 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L29/0665 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/66742

Abstract: 本发明提供薄膜晶体管的制造方法和用相同技术制造液晶显示器件的方法。根据薄膜晶体管的制造方法，栅绝缘层在含有栅极的基板上形成，光刻胶图案在栅绝缘层上形成。然后，在基板上形成带有第一极性电荷的SAM层，并剥离光刻胶图案。因此，将纳米材料滴入基板在SAM层上形成纳米导线，所述纳米材料带有第二极性电荷和纳米导线。然后，在与纳米导线形成的区域邻近的栅绝缘层上形成源极和漏极。施加预定电压到源极和漏极上，根据源极和漏极间电场的方向在一个方向上排列纳米导线。

公开(公告)号：CN1991579A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200610087804.5

申请日：2006-06-09

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金珍郁 ,  李宝铉

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L27/124 ,  H01L27/1292

Abstract: 公开了平板显示器的制造方法和装置，其适于不利用光刻工序而执行构图工序。在用于制造平板显示器的装置中，一装置在基板上顺序形成薄膜层和抗蚀剂。硬模在抗蚀剂的相对表面中模压抗蚀剂。在该硬模中，由具有高硬度的材料和玻璃中的任何一种形成了背板。模制图案形成在背板上以压制抗蚀剂。

公开(公告)号：CN1967384A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200610087175.6

申请日：2006-06-15

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 李宝铉 ,  蔡基成

IPC: G03F7/14 ,  G03F7/20 ,  H01L21/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y20/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G02F2001/136295 ,  G02F2202/36 ,  G03G13/26 ,  G03G13/28 ,  G03G13/283 ,  G03G13/286 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1292

Abstract: 本发明提供了一种制造印模、薄膜晶体管和采用该薄膜晶体管的液晶显示器件的方法。该印模具有相对于基板改进的接触性能。使用该印模在基板上形成带电区域，并且涂布或者电镀充有与该带电区域的电荷相反的电荷的纳米材料以形成自组装单层(SAM)。因此，该薄膜晶体管和该液晶显示器件能够具有精确的纳米图案，由此提高该器件的性能。