公开(公告)号：AU2008252203A1

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：AU2008252203

申请日：2008-05-08

Applicant: ULVAC INC

Inventor： SATOU MASAYUKI ,  MORIKAWA YASUHIRO ,  HAYASHI TOSHIO ,  SUU KOUKOU

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/332 ,  H03H3/02

Abstract: A dry etching method by which a substrate can be dry-etched on both sides without a crack is provided. The dry etching method includes: introducing an etching gas having a fluorocarbon gas and a rare gas into a vacuum chamber; generating plasma in the vacuum chamber having a predetermined pressure; and etching a substrate to be processed adhered on an adhesive surface of a heat-conductive sheet disposed on a substrate table.

公开(公告)号：DE112005001539T5

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：DE112005001539

申请日：2005-06-28

Applicant: ULVAC INC

Inventor： TAKAHASHI SEIICHI ,  MIYAYA TAKEHISA ,  LIM SOO BOO ,  SATOU MASAYUKI ,  TSUTSUMI KENGO ,  ONO YOHEI

IPC: H01L21/3065

公开(公告)号：DE112005001539B4

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：DE112005001539

申请日：2005-06-28

Applicant: ULVAC INC

Inventor： TAKAHASHI SEIICHI ,  MIYAYA TAKEHISA ,  LIM SOO BOO ,  SATOU MASAYUKI ,  TSUTSUMI KENGO ,  ONO YOHEI

IPC: H01L21/67 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54

Abstract: Vakuumbearbeitungsvorrichtung, umfassend: eine Bearbeitungskammer (20) zur Bearbeitung eines Substrats in einer Vakuumatmosphäre; eine Ein- und Ausbringkammer (10), die mit der Bearbeitungskammer (20) in einer über der Bearbeitungskammer (20) befindlichen Position verbindbar ist, wobei das Substrat zwischen der Ein- und Ausbringkammer (10) und der Bearbeitungskammer (20) transportabel ist, ohne der äußeren Atmosphäre ausgesetzt zu sein, wobei die Ein- und Ausbringkammer (10) das Substrat aus einer äußeren Atmosphäre transportieren kann, wobei die Ein- und Ausbringkammer (10) in der Position über der Bearbeitungskammer (20) befestigt ist, wobei die Bearbeitungskammer (20) von der Ein- und Ausbringkammer (10) entfernbar ist, indem die Bearbeitungskammer (20) vertikal absenkbar ist, während das vertikale Anordnungsverhältnis zwischen der Bearbeitungskammer (20) und der Ein- und Ausbringkammer (10) beibehalten wird, und ein Beförderungsmittel (30), das mit der Bearbeitungskammer (20) verbunden ist und das die Bearbeitungskammer (20) horizontal befördert, nachdem die Bearbeitungskammer (20) von der Ein-...