硬質炭素膜とその製造方法および摺動部材

    公开(公告)号:JP6413060B1

    公开(公告)日:2018-10-31

    申请号:JP2017094588

    申请日:2017-05-11

    CPC classification number: C23C14/06 C23C14/24 C23C16/26

    Abstract: 【課題】MoDTC含有オイル中での摺動に際して、優れた耐摩耗性に加えて、ラップ処理などによるコストアップや手間の発生を抑制しながら摺動面を平滑化して十分な低摩擦性を発揮することができる硬質炭素膜の製造技術を提供する。 【解決手段】摺動部材の摺動面を形成する硬質炭素膜であって、炭素原子と結合する終端用原子を含有し、表面から一部が突出している複数の隆起状形態部を有しており、複数の隆起状形態部の周囲が、それぞれ、終端用原子により終端されている硬質炭素膜。グラファイトを蒸発源とするアーク蒸着法を用いて摺動部材の摺動面に硬質炭素膜を成膜する硬質炭素膜の製造方法であって、炭素原子と結合する終端用原子を含有するガスを導入して、複数の隆起状形態部を、周囲を終端用原子により炭素原子と結合させて終端させながら硬質炭素膜の表面に成長させる硬質炭素膜の製造方法。 【選択図】図1

    被覆膜とその製造方法およびPVD装置

    公开(公告)号:JP2018123431A

    公开(公告)日:2018-08-09

    申请号:JP2018032182

    申请日:2018-02-26

    Abstract: 【課題】低摩擦性と耐摩耗性の両立を十分に改善させるだけでなく、耐チッピング性(耐欠損性)や耐剥離性の改善も図られた被覆膜とその製造方法およびPVD装置を提供する。 【解決手段】基材の表面に被覆される被覆膜であって、断面を明視野TEM像により観察したとき基材に対して垂直な方向に柱状に連なっている硬質炭素層が形成されており、硬質炭素層がPVD法を用いて形成されており、硬質炭素層をラマン分光法で測定したとき、ラマン分光スペクトルのDバンドとGバンドのピークの面積強度比であるID/IG比が1〜6である被覆膜。アーク式PVD法を用いて、基材温度が250〜400℃に維持されるように、バイアス電圧、アーク電流、ヒーター温度および/または炉内圧力を制御すると共に、基材を自転および/または公転させながら基材の表面に硬質炭素膜を被覆する被覆膜の製造方法と装置。 【選択図】図1

    アーク蒸発源
    95.
    发明专利
    アーク蒸発源 有权
    电弧蒸发源

    公开(公告)号:JPWO2014178100A1

    公开(公告)日:2017-02-23

    申请号:JP2015514703

    申请日:2013-04-30

    Abstract: 真空中で、アーク放電によってカソード材料を溶解、蒸発させて、基材表面に成膜させるアーク蒸発源であって、略円板形状に形成されたカソードと、カソードの背面側に配置された磁界発生手段とを備え、磁界発生手段が、カソードの背面にカソードの放電面に対して20°〜50°の方向に磁極が向けられて配置された少なくとも一つの永久磁石により、カソードの外周面においては基材方向に対して鋭角な磁力線、カソードの放電面の最外周部においては放電面に対してほぼ垂直な磁力線、カソードの放電面の外周面寄りの部分においてはカソードの中心方向に対して鋭角な磁力線が形成される磁界を発生させるように構成して、カソードを、外周部一杯まで利用可能とし、カソード材料の利用効率を飛躍的に高めることができるアーク蒸発源を提供する。

    Abstract translation: 在真空下,溶解通过电弧放电的阴极材料,并蒸发,电弧蒸发源,用于在基材表面,其被设置在形成为大致圆盘形状的阴极的磁场,后侧的阴极上沉积 以及生成单元,所述磁场产生装置,所述至少一个永磁体的阴极布置20°〜50°的方向被定向的磁极对放电面的阴极到后面,阴极的外周面 急性磁场线相对于基板方向,放电表面的阴极基本上垂直磁场线到放电表面处的最外周部,相对于在上述外周面的中心方向上的阴极附近的放电表面的阴极部 配置成产生磁场,形成有锋利的磁力线,阴极,和可用到周边部分充满电弧蒸发,从而可以提高阴极材料的利用效率显着地 为了提供。

    Diamond-like carbon film coated article

    公开(公告)号:JP4750896B1

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:JP2010137352

    申请日:2010-06-16

    CPC classification number: C23C16/26 C23C16/0272

    Abstract: 【課題】ダイアモンド状炭素膜被覆物品であって、ダイアモンド状炭素膜の物品本体への密着性に優れているダイアモンド状炭素膜被覆物品を提供する。
    【解決手段】少なくとも一部が、アモルファス炭化珪素膜からなる中間層を介して形成されたダイアモンド状炭素(DLC)膜で被覆されているダイアモンド状炭素膜被覆物品W。 アモルファス炭化珪素膜は、波長532nmのレーザーを用いるレーザーラマン分光分析においてラマンシフト1400cm
    -1 〜1600cm
    -1 の範囲にスペクトル強度のピークを示す膜である。
    【選択図】図3

    Manufacturing device and manufacturing method of fuel injection valve
    99.
    发明专利
    Manufacturing device and manufacturing method of fuel injection valve 有权
    燃油喷射阀的制造装置和制造方法

    公开(公告)号:JP2008069647A

    公开(公告)日:2008-03-27

    申请号:JP2006246592

    申请日:2006-09-12

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing device of a fuel injection valve capable of efficiently performing a coating film only in a required place.
    SOLUTION: A nozzle plate 6 and a valve housing 5 of a valve device 3 can be stored inside. A holding device 16 is arranged for aligning and providing a plurality of holding holes 35 and 37 oppositely opening in an anode electrode 23 of a coating film processing device. A surface 6C of the nozzle plate 6 exposed to a combustion chamber of the valve device 3 is respectively exposed to the plurality of holding holes 35 and 37 of the holding device 16 from an opening of the plurality of holding holes 35 and 37. A large number of valve devices 3 are positioned by the holding device 16. The large number of positioned valve devices 3 and its holding device 16 are arranged on a cathode electrode 25 of the coating film processing device, and a deposit-sticking preventive coating film is formed on the surface 6C of the nozzle plate 6 and an inner surface of an injection hole 6A opposed to the anode electrode 23.
    COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够仅在所需的地方有效地进行涂膜的燃料喷射阀的制造装置。 解决方案:可以将阀装置3的喷嘴板6和阀壳体5储存在内部。 保持装置16布置成用于对准并提供在涂膜处理装置的阳极电极23中相对地打开的多个保持孔35和37。 暴露于阀装置3的燃烧室的喷嘴板6的表面6C分别从多个保持孔35和37的开口暴露于保持装置16的多个保持孔35和37。 阀装置3的数量由保持装置16定位。在涂膜处理装置的阴极25上布置有大量定位的阀装置3及其保持装置16,并且形成防止沉积的涂膜 喷嘴板6的表面6C和与阳极电极23相对的喷射孔6A的内表面。(C)2008,JPO&INPIT

    Gas barrier structure and forming method
    100.
    发明专利
    Gas barrier structure and forming method 有权
    气体阻隔结构和形成方法

    公开(公告)号:JP2008051210A

    公开(公告)日:2008-03-06

    申请号:JP2006227941

    申请日:2006-08-24

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas barrier structure capable of improving a heat radiating property of a diaphragm rubber film of a sealed hydraulic damper, and a forming method thereof.
    SOLUTION: The gas barrier structure for a rubber film 10 constituting a diaphragm for a sealed hydraulic damper comprises an aluminum thin film 14 formed on the surface of the rubber film 10 and a flexible DLC film 18 formed on the aluminum thin film 14. The aluminum thin film 14 and the flexible DLC film 18 are bonded to each other by an aluminum-silicon eutectic layer 14 interposed between the films.
    COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

    Abstract translation: 解决问题的方案:提供一种能够提高密封液压阻尼器的隔膜橡胶膜的散热性能的阻气结构及其形成方法。 解决方案:构成用于密封液压阻尼器的隔膜的橡胶膜10的阻气结构包括形成在橡胶膜10的表面上的铝薄膜14和形成在铝薄膜14上的柔性DLC膜18 铝薄膜14和柔性DLC膜18通过介于薄膜之间的铝硅共晶层14彼此接合。 版权所有(C)2008,JPO&INPIT

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