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公开(公告)号：TWI434146B
公开(公告)日：2014-04-11
申请号：TW100108175
申请日：2011-03-10
Applicant: ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 勾森 傑若恩 杰若德 , GOSEN, JEROEN GERARD , 凡得烈 安東尼奧 喬漢那 , VAN DER NET, ANTONIUS JOHANNUS , 帕休斯 巴特 迪南 , PAARHUIS, BART DINAND , 凡 波克特 法蘭克 喬漢斯 賈柏斯 , VAN BOXTEL, FRANK JOHANNES JACOBUS , 李景高 , LI, JINGGAO
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70916
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公开(公告)号：TWI434132B
公开(公告)日：2014-04-11
申请号：TW098127002
申请日：2009-08-11
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 維克洛 羅那德A , WILKLOW, RONALD A , 尼爾森 邁可L , NELSON, MICHAEL L. , 裴瑞 麥可 , PERRY, MICHAEL
CPC classification number: G03F1/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70891
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公开(公告)号：TWI420256B
公开(公告)日：2013-12-21
申请号：TW099121111
申请日：2010-06-28
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 漢森 馬修E , HANSEN, MATTHEW E.
IPC: G03F7/20 , H01L21/683
CPC classification number: G03F7/70783 , G03F7/703 , G03F7/707 , G03F7/70708 , H01L21/6833
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公开(公告)号：TWI419442B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：TW098139392
申请日：2009-11-19
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 曼卡拉 凱元 庫馬 , MANKALA, KALYAN KUMAR , 魏納 羅伯托B , WIENER, ROBERTO B. , 古佛 普羅迪帕K , GOVIL, PRADEEP K. , 尼爾森 安德魯 , NELSON, ANDREW
CPC classification number: H02K41/03 , G03F7/70758 , G03F7/70941 , H02K11/01 , H02K2201/18
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公开(公告)号：TWI416274B
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW099117232
申请日：2010-05-28
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V. , ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
Inventor： 席摩曼 理查德 卡爾 , ZIMMERMAN, RICHARD CARL , 凡 葛瑞柏克 亨得瑞克 羅伯特 馬連 , VAN GREEVENBROEK, HENDRIKUS ROBERTUS MARIE , 考齊斯博革 彼德C , KOCHERSPERGER, PETER C. , 唐尼 泰德R , DOWNEY, TODD R. , 史東 伊莉莎白 , STONE, ELIZABETH , 西斯薩 席拉德 伊斯特凡 , CSISZAR, SZILARD ISTVAN , 卡比克 費德瑞克 , KUBICK, FREDERICK , 弗萊德米斯基 歐賈 , VLADIMIRSKY, OLGA
CPC classification number: G03F7/70191 , G03F7/70058 , G03F7/70133
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：TWI407267B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW098139028
申请日：2009-11-17
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V. , ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
Inventor： 裘布 艾達 , JOOBEUR, ADEL , 諾德曼 奧斯卡 法蘭西斯科 喬瑟夫 , NOORDMAN, OSCAR FRANCISCUS JOZEPHUS , 凡 德 范恩 保羅 , VAN DER VEEN, PAUL , 凡卡塔羅曼 亞倫 麥哈德凡 , VENKATARAMAN, ARUN MAHADEVAN
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70583 , G02B27/144 , G02B27/145 , H01S3/0057
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公开(公告)号：TW201331721A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW101142283
申请日：2012-11-13
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 瑪可雅 黛安 , MARKOYA, DIANE , 考齊斯博革 彼德C , KOCHERSPERGER, PETER C. , 里昂 喬瑟夫H , LYONS, JOSEPH H. , 洛克斯 史帝芬 , ROUX, STEPHEN
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70925
Abstract: 本發明描述清潔用於固持一微影裝置中之一圖案化器件之一支撐件(諸如，一夾盤之一夾持件)的方法及系統。該方法包括將一圖案化器件裝載至一微影裝置中。該圖案化器件包括黏附至該圖案化器件之一背側之一材料層。該方法進一步包括使用一外加電壓將該圖案化器件夾持至該微影裝置內之一支撐件。接著，將存在於該支撐件上之任何粒子轉移至黏附至該圖案化器件之該背側之該材料層。此後，自該支撐件移除該圖案化器件連同該材料層上之任何粒子。
Abstract in simplified Chinese: 本发明描述清洁用于固持一微影设备中之一图案化器件之一支撑件(诸如，一夹盘之一夹持件)的方法及系统。该方法包括将一图案化器件装载至一微影设备中。该图案化器件包括黏附至该图案化器件之一背侧之一材料层。该方法进一步包括使用一外加电压将该图案化器件夹持至该微影设备内之一支撑件。接着，将存在于该支撑件上之任何粒子转移至黏附至该图案化器件之该背侧之该材料层。此后，自该支撑件移除该图案化器件连同该材料层上之任何粒子。
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公开(公告)号：TWI385367B
公开(公告)日：2013-02-11
申请号：TW097122457
申请日：2008-06-16
Applicant: ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 赫曼 沃格 , VOGEL, HERMAN
IPC: G01L7/00
CPC classification number: G01B13/12
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公开(公告)号：TW201303360A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101136400
申请日：2007-10-09
Applicant: ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 奧斯卡 法蘭西斯科 喬瑟夫 諾德曼 , OSCAR FRANCISCUS JOZEPHUS, NOORDMAN , 賈斯汀L 克魯瑟 , JUSTIN L., KREUZER , 亨利 瓊斯 派崔斯 文克 , HENRI JOHANNES PETRUS, VINK , 度尼斯 康納利斯 凡 丹 朵爾 , TEUNIS CORNELIS, VAN DEN DOOL , 丹尼爾 派瑞斯 卡勒羅 , DANIEL PEREZ, CALERO
CPC classification number: G03F7/70558 , G02B26/001 , G03F7/70041
Abstract: 一種系統及方法提供高速可變衰減器。該等衰減器可用於一微影裝置內以控制用以在一初始輻射脈衝之後校正輻射之劑量之一或多個校正脈衝中的輻射強度。
Abstract in simplified Chinese: 一种系统及方法提供高速可变衰减器。该等衰减器可用于一微影设备内以控制用以在一初始辐射脉冲之后校正辐射之剂量之一或多个校正脉冲中的辐射强度。
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公开(公告)号：TWI381251B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW095145035
申请日：2006-12-04
Applicant: ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
Inventor： 修伯特 維瑟 , VISSER, HUIBERT , 大衛 威廉 柯林 , CALLAN, DAVID WILLIAM , 羅伯特 翰 慕霖 胥密特 , MUNNIG SCHMIDT, ROBERT-HAN , 羅伯特B 溫那 , WIENER ROBERTO B. , 喬和納斯 山德斯 古林默 馬利亞 凡 丹 文 , VAN DE VEN, JOHANNES THEODORUS GUILLIELMUS MARIA , 喬治 霍華 羅賓斯 , ROBBINS, GEORGE HOWARD
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70041 , G03F7/70358 , G03F7/70425
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