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公开(公告)号：KR101337568B1
公开(公告)日：2013-12-06
申请号：KR1020110092464
申请日：2011-09-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/306 , H01L21/3065
Abstract: 본 발명은, 실리콘 플레이트의 제1면에 복수 개의 그리드 홈을 형성하는 제1단계, 열적 산화 공정을 통해 상기 실리콘 플레이트의 제1면 및 상기 제1면과 대향하는 제2면에 제1실리콘 산화막을 형성하는 제2단계, 상기 실리콘 플레이트의 제1면과 대향하는 제2면에 그루브를 형성하여 그리드 홀을 형성하는 제3단계 및 열적 산화 공정을 통해 상기 제1면 및 제2면에 제2실리콘 산화막을 형성하는 제4단계를 포함하는 마이크로 그리드 구조체 제조방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020130005748A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：KR1020110067335
申请日：2011-07-07
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for inspecting voids of a multi-junction semiconductor are provided to detect voids in real time by using terahertz wave having a short pulse width. CONSTITUTION: A light source(10) generates terahertz light. The light source irradiates the light to a multijunction semiconductor. A collimated light irradiation part(20) is arranged between the light source and the multijunction semiconductor to irradiate uniformly the light to the multijunction semiconductor. A light connection part(30) is arranged in the lower part of the multijunction semiconductor. [Reference numerals] (70) Image signal generating part; (80) Image signal analyzing part
Abstract translation: 目的：提供一种用于检查多结半导体空隙的装置和方法，通过使用具有短脉冲宽度的太赫兹波来实时检测空隙。 构成：光源（10）产生太赫兹光。 光源将光照射到多结半导体。 在光源和多结半导体之间配置准直光照射部（20），将光均匀地照射到多结半导体。 在多结半导体的下部配置有光连接部（30）。 （附图标记）（70）图像信号生成部; （80）图像信号分析部
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公开(公告)号：KR101214380B1
公开(公告)日：2012-12-21
申请号：KR1020110123978
申请日：2011-11-25
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A vacuum microelectronic device is provided to form an electric field on the surface of lattices by focusing an electronic beam in an opposite side focusing part of a right angle waveguide. CONSTITUTION: An electronic beam(32) progresses on the upper side of lattices of 2-step slow wave circuits(36,37). An electric field is formed on the surface of the lattices. The electric field generates electromagnetic waves within a right angle waveguide through interaction with an electronic beam. The electromagnetic waves are radiated to outside through an output unit(35) consisting of a waveguide between the 2-step slow wave circuits. A coupler(34) is one or more lattices of opposite side end of a progressive direction of the electronic beam among the lattices above the2-step slow wave circuit.
Abstract translation: 目的：提供真空微电子器件，通过将电子束聚焦在直角波导的相对侧聚焦部分中，在晶格表面上形成电场。 构成：电子束（32）在两步慢波电路（36,37）的格子的上侧进行。 在晶格表面形成电场。 电场通过与电子束的相互作用在直角波导内产生电磁波。 电磁波通过由两级慢波电路之间的波导组成的输出单元（35）向外辐射。 耦合器（34）是在两步慢波电路上方的格子之间的电子束的逐行方向的相对侧端的一个或多个格子。
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公开(公告)号：KR101174363B1
公开(公告)日：2012-08-21
申请号：KR1020090092110
申请日：2009-09-29
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01J23/05
Abstract: 본발명에의한줄무늬구조를갖는이차전자방출음극을적용한냉음극마그네트론이개시된다. 본발명에따른냉음극마그네트론은지지부; 상기지지부의길이방향으로연장되고상기지지부의중심축을중심으로원주방향으로일정간격마다배치되며이차전자를방출하는다수의음극부; 상기다수의음극부와반경방향으로소정거리이격되고상기음극부를둘러싸는다수의양극부; 및상기다수의양극부와연결되어상기다수의양극부사이에공진공간을형성하는공진회로를포함한다. 이를통해, 본발명은동작초기부터원하는영역에서만전자빔을발생시키고, 음극주변의전자장세기를증가시킬뿐만아니라발진출력및 효율을증가시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR101141040B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020090067328
申请日：2009-07-23
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G01T1/115
Abstract: 본 발명에 의한 서브-테라헤르츠 액티브 실시간 이미징 시스템 및 그 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 시스템은 고출력의 서브-테라헤르츠 방사선을 발생하는 고출력 진공관 기반의 소스; 상기 서브-테라헤르츠 방사선을 확대하여 피사체에 조사하는 제1 광학계; 상기 피사체를 투과한 서브-테라헤르츠 방사선을 집속하여 제1 초점면에 조사하는 제2 광학계; 상기 피사체에 반사된 서브-테라헤르츠 방사선을 집속하여 제2 초점면에 조사하는 제3 광학계; 상기 제2 광학계로부터 조사된 상기 서브-테라헤르츠 방사선에 의해 상기 제1 초점면에 형성된 이미지를 검출하는 제1 초점면 어레이 검출기; 및 상기 제3 광학계로부터 조사된 상기 서브-테라헤르츠 방사선에 의해 상기 제2 초점면에 형성된 이미지를 검출하는 제2 초점면 어레이 검출기를 포함한다. 이처럼, 본 발명은 고출력 진공관을 소스로 이용하여 고출력의 서브-테라헤르츠 방사선을 제공함으로써, 초전어레이 카메라와 같은 초점면 어레이 검출기의 낮은 SNR을 극복하고, 실시간 검사를 수행할 수 있다.
고출력 진공관, 서브-테라헤르츠, 테라헤르츠, 초점면 어레이 검출기, 어레이 검출기-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101065788B1
公开(公告)日：2011-09-20
申请号：KR1020090111650
申请日：2009-11-18
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H03B9/04
Abstract: 본 발명은 두 금속 기판 사이에 복수의 유전체 막대(dielectric rod)를 배치한 광결정 다이오드 공진기 구조에서, 광결정의 점 결함(point defect) 위치의 한쪽 금속 기판(캐소드)에 전계 방출원을 형성하고, 두 금속 기판 사이에 직류 전압(DC 전압)을 인가하여 천이 시간 효과(transit time effect)를 극복하면서, 광결정의 선 결함(line defect)으로 만들어진 도파로를 따라 인가된 외부 전자기파(RF 신호)에 의해 전계 방출원 으로부터 공진기의 특성 주파수로 변조된 전자빔을 효율적으로 발생시킬 수 있는 광결정 다이오드 공진기에 관한 것이다.
광결정, 다이오드 공진기, 냉음극, 변조된 전계방출-
公开(公告)号：KR1020110056597A
公开(公告)日：2011-05-31
申请号：KR1020090112989
申请日：2009-11-23
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: PURPOSE: A photonic crystal bias-tee is provided to generate an ultrahigh frequency signal deflected to a DC voltage and remove DC voltage deflection from a ultrahigh frequency signal. CONSTITUTION: In a photonic crystal bias-tee, a two-dimensional photonic crystal is comprised of a plurality of dielectric rods including line combination. An upper metal plate and a lower metal plate cover a two-dimensional photonic crystal The upper metal plate is comprised of a first upper metal plate(210) and a second upper metal plate(220) which are formed while having an insulation area between them.
Abstract translation: 目的：提供光子晶体偏置三通以产生偏转到直流电压的超高频信号，并从超高频信号中消除直流电压偏转。 构成：在光子晶体偏置三通中，二维光子晶体由多个介质棒组成，包括线组合。 上金属板和下金属板覆盖二维光子晶体上金属板由在其间具有绝缘区域而形成的第一上金属板（210）和第二上金属板（220）组成， 。
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公开(公告)号：KR1020110054858A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：KR1020090111650
申请日：2009-11-18
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H03B9/04
Abstract: PURPOSE: A photonic crystal diode resonator for modulated field emission from a cold cathode is provided to overcome transit time effect by overcoming a line defect through a waveguide path of an external electromagnetic wave. CONSTITUTION: A photonic crystal diode resonator(200) includes a first metallic substrate(210), a second metallic substrate(220) and plural dielectric bars(230). A 2D photonic crystal structure of the plural dielectric bars includes a point defect and a line defect. A cold cathode(211) is placed on the point defect of the first metallic substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种用于来自冷阴极的调制场发射的光子晶体二极管谐振器，以通过克服通过外部电磁波的波导路径的线路缺陷来克服通过时间效应。 构成：光子晶体二极管谐振器（200）包括第一金属衬底（210），第二金属衬底（220）和多个电介质棒（230）。 多个介质条的2D光子晶体结构包括点缺陷和线缺陷。 将冷阴极（211）放置在第一金属基板的缺陷点上。
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公开(公告)号：KR101011679B1
公开(公告)日：2011-01-31
申请号：KR1020080117266
申请日：2008-11-25
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명에 따른 전자증폭기는 진공 상태의 공동 공진기를 사용한다. 공진기는 최소한 한쪽 면이 평평한 형태이어야 한다. 평평한 한쪽 면과 마주보는 다른 면 사이에 일정한 DC 전압을 인가한다. DC 전압을 인가하기 위해서는 두 면사이의 벽이 유전체로 되어 있거나 진공 갭을 넣어 전기적으로 절연되도록 구성한다. DC전압인가에 의한 전기장의 방향과 평행하게 전기장이
형성되도록 AC전압을 인가해야 하는데 전자기파를 공진기에 인가함으로써 강력한 AC 전압이 두 면 사이에 인가되도록 할 수 있다. 전자증폭이 일어나는 면에 대해서 전자가 수직으로만 운동하도록 DC전압과 AC전압을 인가하는 것이 바람직하다. DC전압과 AC전압을 평행한 방향이 되도록 동시에 인가되면 공동 공진기의 한쪽 면에서만 이차전자 발생 또는 소멸에 의한 전자증폭이 이루어지도록 할 수 있다. 또한, 한 면에서만 전자증폭이 이루어지는 상황에서 DC와 AC의 전압 비율을 적절히 맞추면 위상 잠김(phase locking) 현상이 일어나 전자증폭현상이 강하게 일어남으로써 높은 전류밀도 조건에서도 안정적으로 전자증폭현상이 나타나도록 할 수가 있다.
이차전자, 합성 전압, 절연체, 진공갭, 돌출부, 전자빔 증폭-
公开(公告)号：KR1020100058704A
公开(公告)日：2010-06-04
申请号：KR1020080117188
申请日：2008-11-25
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A photonic crystal diode oscillator using cold cathode electron beam is provided to obtain a superior modulated electron beam by applying a DC bias voltage and a RF(AC) voltage between two metal boards. CONSTITUTION: A cold cathode(111) is formed in the center of a first metal board(110) as electron emission source. A second metal substrate(120) opposes to the first metal board. A plurality of dielectric rods(130) is formed between the first metal board and the second metal board. The dielectric rods are formed around the cold cathode.
Abstract translation: 目的：提供使用冷阴极电子束的光子晶体二极管振荡器，通过在两个金属板之间施加直流偏置电压和RF（AC）电压来获得优良的调制电子束。 构成：作为电子发射源，在第一金属板（110）的中心形成冷阴极（111）。 第二金属基板（120）与第一金属板相对。 多个介电棒（130）形成在第一金属板和第二金属板之间。 电介质棒围绕冷阴极形成。
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