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公开(公告)号：KR1020030021825A
公开(公告)日：2003-03-15
申请号：KR1020010055264
申请日：2001-09-08
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01F41/02
CPC classification number: H01F10/147
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a FeTaN softmagnetism thin film for magnetic devices is provided to increase the magnetic anisotropy by adding a Ti lower layer on the FeTaN softmagnetism thin film. CONSTITUTION: A substrate is provided at a position apart from a Ti target in order to form a thin film. The Ti target and the substrate are used as a cathode and an anode, respectively. A predetermined DC(Direct Current) power is applied between the Ti target and the substrate, to thereby form a Ti lower layer on the substrate through sputtering. After changing the Ti target into a Fe target, a plurality of Ta leaflets are placed on a surface of the Fe target. Then, a predetermined DC power is applied between the Fe target and the substrate under a predetermined gas pressure to form a FeTaN thin film on the Ti lower layer. The FeTaN thin film is post-heated to form a fine crystal within the FeTaN thin film.
Abstract translation: 目的：提供一种制造用于磁性器件的FeTaN软磁薄膜的方法，通过在FeTaN软磁薄膜上添加Ti下层来提高磁各向异性。 构成：为了形成薄膜，在与Ti靶分离的位置处设置基板。 Ti靶和基板分别用作阴极和阳极。 在Ti靶和衬底之间施加预定的DC（直流）功率，从而通过溅射在衬底上形成Ti下层。 将Ti靶变为Fe靶后，将多个Ta叶放置在Fe靶的表面上。 然后，在规定的气体压力下，在Fe靶和基板之间施加规定的直流电力，在Ti下层上形成FeTaN薄膜。 FeTaN薄膜被后加热以在FeTaN薄膜内形成细晶体。
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公开(公告)号：KR100348881B1
公开(公告)日：2002-08-17
申请号：KR1020000080616
申请日：2000-12-22
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G01R1/04
Abstract: 전자기재료의 전자기 특성 측정용 지그가 게시된다. 본 발명에 따른 전자기재료의 전자기 특성 측정용 지그는 박막 시편을 지지하기 위한 시편 지지대; 시편 지지대와 결합되어 시편 지지대를 지지하여주며, 회전 가능하게 설치되는 지지기둥; 지지기둥의 회전각도를 조정하기 위한 회전각도 조정수단; 시편 지지대에 놓인 박막 시편에 접촉되어 시편을 지지하는 한편, 시편의 전자기적 특성 측정을 위한 전극 단자 역할을 하는 복수의 탐침; 및 상기 탐침을 고정하기 위한 탐침 고정수단을 포함한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 회전 가능한 시편 지지대와 탐침이 일체형이므로, 박막 시편의 장착 시간이 단축되고, 특히 박막 시편의 전류 방향과 이루는 각도에 따른 자기저항과 평면홀 측정이 편리하다. 또한, 탐침의 회전, 이동 및 가압이 가능하므로, 다양한 형태의 시료에 모두 적용할 수 있는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR1020020051132A
公开(公告)日：2002-06-28
申请号：KR1020000080616
申请日：2000-12-22
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G01R1/04
Abstract: PURPOSE: A jig for measuring electromagnetic characteristics of an electromagnetic material is provided, which is applied even when a thin film sample and a subsidiary electrode of the electromagnetic material having a pattern with a complex shape is further required. CONSTITUTION: A sample supporting plane(101) supports a thin film sample(110), and a supporting pillar(102) supports the sample supporting plane by being combined to the sample supporting plane and is rotated. A rotation angle control unit(103) controls a rotation angle of the supporting pillar. A plurality of probes(104) support the thin film sample by contacting with the thin film sample placed on the sample supporting plane and also act as an electrode port for measuring the electromagnetic characteristics of the sample. And a probe fixing unit(105) fixes the probes. The rotation angle control unit comprises an angle meter and a supporting member supporting and fixing the angle meter.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量电磁材料的电磁特性的夹具，即使当需要具有复杂形状的图案的电磁材料的薄膜样品和辅助电极时，该夹具也被应用。 构成：样品支撑平面（101）支撑薄膜样品（110），并且支撑柱（102）通过结合到样品支撑平面并旋转来支撑样品支撑平面。 旋转角度控制单元（103）控制支柱的旋转角度。 多个探针（104）通过与放置在样品支撑平面上的薄膜样品接触来支撑薄膜样品，并且还用作用于测量样品的电磁特性的电极端口。 并且探针固定单元（105）固定探针。 旋转角度控制单元包括角度计和支撑并固定角度计的支撑构件。
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公开(公告)号：KR100295805B1
公开(公告)日：2001-10-26
申请号：KR1019980049645
申请日：1998-11-16
Applicant: 한국전기연구원
IPC: C23F1/16
Abstract: 본 발명은 Co계 및 Cu계 다층 금속막 동시 식각(蝕刻)(etching) 용액과 그 제조방법 및 이를 이용한 식각방법에 관한 것으로서, 요구된 조성비로 칭량하여 제조한 염화철(Ⅲ) 육수화물 40g을 약 30 ∼50 ℃순수한 물 40cc에 혼합한 후, 교반기를 이용하여 균일하게 용해하여 염화철(Ⅲ) 육수화물 수용액을 제조하고, 제조된 염화철(Ⅲ) 육수화물 수용액과 불산 2cc를 역시 교반기를 이용하여 균일하게 혼합하여 최종 식각 용액을 제조하되, 상기 염화철(Ⅲ) 육수화물 수용액의 농도는 1∼20 mol%, 상기 불산의 농도는 1∼40 mol%이 되도록 하는 한편, 이를 이용한 습식 식각시의 온도는 약 30 ∼50 ℃로 유지함으로써, 보다 경제적인 습식 식각법을 사용하면서도 Co계 및 Cu계 다층 금속막을 동시에 식각할 수 있고, 식각시 단면이 이방성이어서 미세 패턴을 형성하는데 용이한 매우 유용한 발명인 것이다.
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公开(公告)号：KR1020000050489A
公开(公告)日：2000-08-05
申请号：KR1019990000413
申请日：1999-01-11
Applicant: 한국전기연구원
IPC: C23C14/00
CPC classification number: C23C14/3492 , C23C14/165
Abstract: PURPOSE: A process for preparing a multilayer copper film by controlling only a vapor deposition condition during sputtering is provided which satisfies both low electric resistivity characteristics and high adhesive characteristics. CONSTITUTION: A process comprises the steps of (1) forming a copper layer by the first deposition of a copper film under the deposition condition of 200W and 20 mTorr for providing excellent adhesion and (2) preparing a two-layered copper film by the second deposition of a copper film under the deposition condition of 100W and 10 mTorr for providing low electric resistivity, wherein the thickness ratio of the lower copper film to the total thickness of the two-layered copper film is about 25%. The process produces a film having excellent physical properties without additional complex processes such as an intermediate layer thin film comprising Cr, TiN and AlN and a heat treatment in a simple manner and economically.
Abstract translation: 目的：提供一种通过仅控制溅射时的气相沉积条件来制备多层铜膜的方法，其既满足低电阻率特性又具有高粘合特性。 构成：一种方法包括以下步骤：（1）通过在200W和20mTorr的沉积条件下首次沉积铜膜形成铜层，以提供优异的粘附性，和（2）通过第二层制备双层铜膜 在100W和10mTorr的沉积条件下沉积铜膜以提供低电阻率，其中下层铜膜与双层铜膜的总厚度的厚度比为约25％。 该方法产生具有优异物理性质的膜，而不需要额外的复杂工艺，例如包含Cr，TiN和AlN的中间层薄膜，并且以简单的方式和经济地进行热处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150068702A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：KR1020130154667
申请日：2013-12-12
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: H02N2/106 , B25J17/00 , H01L41/083 , Y10S310/80
Abstract: 본발명은로봇관절용원통형압전초음파모터에관한것으로, 더욱상세하게는복수개의초음파압전변위체의압전효과를로봇의고정측암과운동측암 사이에적용시킴으로써동작성능이우수하면서소형경량의콤팩트한관절모듈을제공하여로봇의회전관절부에최적화할수 있는관절용원통형압전초음파모터에관한것이다. 이러한본 발명은, 로봇의고정측암과운동측암의연결하는회전관절부를구성하여상기운동측암이상기고정측암을중심으로회전운동가능하게하는것으로, 상기고정측암의단부에고정설치되는고정판; 상기고정판의일면에고정설치되는회전유도링; 상기회전유도링의내측면에일정간격으로고정설치되어외부로부터인가되는전원에따라변위가발생되는복수개의초음파압전변위체; 상기운동측암의단부에고정설치된회전판; 및상기회전판에고정설치된상태에서상기회전유도링의내측에분리방지수단에의해분리되지않게삽입되어상기변위에따른상기초음파압전변위체와의마찰력에의해상기회전판과일체로회전하면서상기운동측암을회전운동시키는회전자;를포함하여구성되는것을특징으로하는로봇관절용원통형압전초음파모터를기술적요지로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于机器人的枢转接头的圆柱型压电超声波马达，更具体地涉及一种用于机器人的枢转接头的圆柱型压电超声波马达，其能够优化机器人的旋转接头区域 通过在机器人的固定侧臂和运动侧臂之间施加多个超声波压电位移体的压电效果，通过提供操作性能优异的微型紧凑型接头模块来实现机器人。 在本发明中，技术要点是一种用于机器人的枢转接头的圆柱型压电超声波马达，其包括用于连接机器人的固定侧臂和运动侧臂的旋转接合区域，以能够可旋转地移动 在固定侧臂的基础上的运动侧臂，包括：固定并固定在固定侧臂的端部上的固定板; 旋转诱导环固定并安装在固定板的一个表面上; 多个超声波压电位移体，其固定并规则地安装在所述旋转诱导环的内表面中，以根据从外部接收的功率产生位移; 固定并安装在运动侧臂的端部上的旋转板; 以及旋转体，其不被分离防止装置分离，并且在旋转体的固定安装状态下插入到旋转诱导环中，以使旋转体与旋转板一体地旋转而使运动侧臂旋转， 超声波压电位移体根据位移。
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公开(公告)号：KR1020150051648A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：KR1020130133390
申请日：2013-11-05
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은이차전지용전극제조를위한 3D 프린터시스템에관한것이다. 보다상세하게는나트륨(Na) 양극또는규소(Si) 음극과같은이차전지용전극제조에있어서, 충방전특성을개선한형태의전극을용이하게제조할수 있는이차전지용전극제조를위한 3D 프린터시스템에관한것이다. 본발명은이차전지용전극제조를위한 3D 프린터시스템에있어서, 상기전극의제조를위한활물질, 도전제, 및바인더가혼합된형태의혼합부재를이송받은후 상부로배출하는부재공급부; 상기부재공급부일측에결합되며상부에상기전극의제조를위한집전체가미리배치되는집전체배치부; 상기부재공급부상부로배출된상기혼합부재를상기집전체상부로이송하는이송롤러; 및상기집전체배치부상부에대하여상방으로이격되어위치하며상기집전체상부로이송된혼합부재측으로레이저를조사하여미리결정된상기전극의형상에따라결정되는상기혼합부재의일부영역을경화시키는레이저경화부를포함하고, 상기혼합부재는슬러리형태또는파우더형태인것을특징으로한다. 본발명에의하면 SLS(Selective Laser Sintering) 방식으로 3차원형태의전극을제조할수 있으며, 이에따라전극의부피팽창을최소화할수 있도록내부에다수의포어(pore)를포함하는형태의전극을용이하게제조할수 있는효과를갖는다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造二次电池用电极的3D打印机系统。 更具体地说，本发明涉及一种用于制造二次电池用电极的3D打印机系统，其可以容易地制造具有改善的充放电特性的电极，当制造用于二次电池的电极如钠（Na）正 电极或硅（Si）负极。 用于制造本发明的二次电池用电极的3D打印机系统包括：部件供给部，其接收将活性物质，导电材料和粘合剂混合的混合部件，其中，混合部件用于制造电极， 混合构件到上部; 集电器配置部分，其连接到所述部件供应部件的一侧，并且其中用于制造所述电极的集电器预先设置在上部; 将排出到所述构件供给部的上部的混合构件转移到集电体的上部的转印辊; 以及激光固化单元，其从集电器配置部的上部向上方放置，并将激光照射到转移到集电体的上部的混合部件，以固化混合部件的某一区域，这是 根据电极的预定形状确定，其中混合构件是浆料型或粉末型。 根据本发明，可以通过选择性激光烧结（SLS）方案制造3D电极，使得可以容易地制造包括其中的多个孔以使电极的体积膨胀最小化的电极。
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公开(公告)号：KR101417994B1
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：KR1020120113098
申请日：2012-10-11
Applicant: 한국전기연구원
IPC: C04B35/468 , C04B35/624 , C04B35/74 , H01B3/12
Abstract: 본 발명은 용액석출 공정을 이용한 금속과 세라믹 복합유전체 조성물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 용액석출 공정을 위한 바륨 전구체(Barium precursor)와 티타늄 전구체(Titanium precursor)를 출발 원료로 사용하는 제1단계와; 상기 제1단계 후에 용액석출 공정 중 졸-겔법을 이용하여 섭씨 80℃ 내지 95℃의 온도에서 6시간 내지 24시간의 시간 동안 교반형 유리 반응조에서 반응시키는 제2단계와; 상기 제2단계 후에 금속 니켈(Nickel)을 첨가하여 반응시키는 제3단계;를 포함하여 구성되는 용액석출 공정을 이용한 금속과 세라믹 복합유전체 조성물 제조방법을 기술적 요지로 한다. 그리고 본 발명은, 바륨 전구체와 티타늄 전구체를 이용한 졸-겔 용액석출 공정으로 1차 입자인 티탄산 바륨(Barium titanate)을 제조하고, 여기에 금속 니켈을 첨가하여 형성되는 용액석출 공정을 이용한 금속과 세라믹 복합유전체 조성물 또한 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 금속과 세라믹 복합 유전체 조성물은 순수 티탄산 바륨보다 유전율이 높고, 손실계수도 작고 금속의 코어 아일랜드가 첨가됨에도 불구하고 크게 전압에 의한 손실이 나타나지 않은바, 정전용량을 키우면서 유전율도 상승하는 전력 저장용 커패시터의 유전체로 활용할 수 있는 이점이 있다.
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公开(公告)号：KR101352778B1
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：KR1020120111516
申请日：2012-10-08
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: H01L41/1878 , H01L41/1873 , H01L41/39
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing crystal-oriented NKN-based piezoelectric ceramics. According to the embodiment of the present invention, the method for manufacturing crystal-oriented NKN-based piezoelectric ceramics includes a step of forming Bi2.5Na3.5Nb5O18 (BNN) precursor powder, a step of forming an NaNbO3 (NN) template, and a step of forming an NKLNT mixture power.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造晶体取向的NKN基压电陶瓷的方法。 根据本发明的实施方案，晶体取向的NKN基压电陶瓷的制造方法包括形成Bi2.5Na3.5Nb5O18（BNN）前体粉末的步骤，形成NaNbO 3（NN）模板的步骤，和 形成NKLNT混合物的步骤。
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公开(公告)号：KR101349335B1
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：KR1020110131310
申请日：2011-12-08
Applicant: 한국전기연구원
IPC: C04B35/468 , C04B35/01 , H01L41/187
Abstract: 본 발명은 비납계 압전 세라믹에 관한 것으로서, 센서 및 액추에이터용 비납계 압전 세라믹 조성물에 있어서, 5 내지 100㎛ 크기를 가지고 단결정으로 이루어지는 강유전체상 물질 주변둘레에 0.1 내지 5㎛ 크기를 가지고 다결정구조를 가지는 상유전체상물질이 둘러싼 형태로 존재 하는 압전 세라믹을 제공함으로써, 상기 압전세라믹에 전계 인가시 주변에 둘러싼 부위의 상유전체상 물질이 상유전체상에서 강유전체상으로의 상변이와 중앙 부위의 강유전체상 물질의 도메인 재배열이 발생되어 고변형율을 나타내는 것을 특징으로 하는 센서 및 액추에이터용 비납계 압전 세라믹 조성물을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 최종 압전 성형물이 최소 두 가지 이상을 상을 가지면서, 전계 인가시 상변이와 도메인 재배열이 발생되어 고변형율에 의한 유전율의 증가와 압전상수(d33)가 우수하여, 충격 센서, 가속도센서, 초음파 센서, 적층형 압전액추에이터, 압전변압기 및 초음파 진동자, 착화소자와 같은 고신뢰성 압전부품을 제조할 수 있으며, 납에 의한 환경 오염을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
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