안티퓨즈 소자의 제조방법

    公开(公告)号:KR1019970052250A

    公开(公告)日:1997-07-29

    申请号:KR1019950050523

    申请日:1995-12-15

    Inventor: 송윤호 김종대

    Abstract: 본 발명은 평면형 안티퓨즈 소자의 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판 위에 산화막을 형성하는 제1단계와; 상기 제1단계의 산화막 위에 실리콘 -게르마늄 및 실리콘을 형성한 후, 이온주입 방법으로 도핑하는 제2 단계와; 상기 제2단계의 실리콘-게르마늄 및 실리콘을 광 리소그래피와 식각 공정으로 패터닝하여 안티퓨즈 소자의 활성영역을 형성하는 제3단계와; 상기 제3단계의 안티퓨즈 소자의 활성영역이 형성된 구조 위에 층간 절연막을 증착한 후, 광 리소그래피와 식각 공정으로 전극 접촉구멍을 형성하는 제4단계와; 상기 제4단계 수행 후 고압 산화공정을 이용하여 전극 접촉구멍의 노출된 실리콘을 연산화시켜 산화막을 형성하는 제5단계와; 상기 제5단계의 산화막이 형성된 구조 위에 금속 박막을 증착한 후, 광 리소그래피와 식각 공정을 이용하여 금속 전극을 형성하는 제6단계를 포함하여 이루어지어, 안티퓨즈 소자의 저 에너지 구동을 실현하고, 아울러 소자의 신뢰성 및 균일도를 개선시키고 전기적 특성을 항상 시킴으로써 안티퓨즈 소자의 프래그래밍 전압 특성을 크게 개선 할 수 있는 효과가 있다.

    액정 디스플레이용 박막 트랜지스터의 제조방법
    92.
    发明授权
    액정 디스플레이용 박막 트랜지스터의 제조방법 失效
    液晶显示器用薄膜晶体管的制造方法

    公开(公告)号:KR1019950013796B1

    公开(公告)日:1995-11-16

    申请号:KR1019920025019

    申请日:1992-12-22

    Abstract: forming a polycrystal silicon film(20) on a substrate(10); defining and forming an active region(20,20a) connected to both sides of the polycrystal silicon film(20), of which an interlayer part is separated to form a line pattern, and by which multichannels are formed; forming a gate oxide film(30) on the active region(20) and the exposed substrate; forming two gate eletrodes(40) to which one end is connected, being parallel with together; forming source/drain region(21) by implanting an impurity in the active region; and forming a metal or transparent electrode(60) by depositing a metal or a transparent conducting film after depositing an oxide film(50). The method forms double gate and multichannel structure TFT, reduces leakage current, and improves hydrogenation effect.

    Abstract translation: 在衬底(10)上形成多晶硅膜(20); 限定和形成连接到多晶硅膜(20)的两侧的有源区(20,20a),其中层间部分被分离以形成线图案,由此形成多通道; 在有源区(20)和暴露的衬底上形成栅氧化膜(30); 形成一端连接的两个栅电极(40),并联在一起; 通过在有源区中注入杂质形成源/漏区(21); 以及通过在沉积氧化膜(50)之后沉积金属或透明导电膜来形成金属或透明电极(60)。 该方法形成双栅和多通道结构TFT,减少漏电流,提高氢化效果。

    전계방출 에미터 전극의 제조 방법

    公开(公告)号:KR1020180102043A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:KR1020180107110

    申请日:2018-09-07

    CPC classification number: H01J1/30 C01B32/158 C01B2202/04

    Abstract: 본발명에따른전계방출에미터전극의제조방법은기판위에탄소나노튜브, 제1 무기충전제, 제2 무기충전제, 용매및 유기바인더를혼합하여페이스트를준비하는단계, 기판위에페이스트를도포하여페이스트층을형성하는단계, 페이스트층을 90℃내지 120℃의제1 온도로건조하는단계, 페이스트층을상기제1 온도보다높은 250℃내지 400℃의제2 온도로 1차열처리하여상기제1 무기충전제및 상기제2 무기충전제를용융하여소성시키는단계, 페이스트층을상기제2 온도보다높은 650℃내지 1,000℃의제3 온도로 2차열처리하여상기제2 무기충전제를상기제1 무기충전제와반응시키는단계, 페이스트층을표면처리하는단계를포함하고, 제1 무기충전제는카바이드계열이고, 상기제2 무기충전제는나노금속이다.

    방사선 촬영 장치
    95.
    发明公开
    방사선 촬영 장치 审中-实审
    射线照相设备

    公开(公告)号:KR1020170055403A

    公开(公告)日:2017-05-19

    申请号:KR1020160081868

    申请日:2016-06-29

    Inventor: 정진우 송윤호

    Abstract: 본발명의방사선촬영장치는, 피사체에방사선을조사하는엑스선소스와, 상기피사체를통과한상기방사선을감지하는감지모듈을포함하고, 상기엑스선소스는, 전자를방출하는전계방출원을포함하는캐소드전극과, 상기캐소드전극에대향하게배치되고, 방출된전자를이용하여상기방사선을생성하는아노드전극과, 상기캐소드전극에연결되어방출되는전자의양을제어하는전류제어부를포함한다.

    Abstract translation: 本发明中,阴极电极以及用于在受试者照射放射线的X射线源的射线成像装置,并包括用于感测通道hansanggi辐射到对象,所述X射线源,包括场致发射体发射电子的感测模块 并且,相对设置的阴极电极,用于产生由发射的电子辐射在阳极电极和连接到所述阴极电极包括用于控制发射的电子的量的电流控制单元。

    전계방출 장치
    96.
    发明公开
    전계방출 장치 审中-实审
    场发射装置

    公开(公告)号:KR1020160061247A

    公开(公告)日:2016-05-31

    申请号:KR1020150129016

    申请日:2015-09-11

    Abstract: 전계방출장치는캐소드전극; 상기캐소드전극상에형성된적어도하나의에미터; 상기캐소드전극의상부에위치된아노드전극; 및상기캐소드전극과상기아노드전극사이에위치되고, 적어도하나의개구부를포함하는게이트전극및 상기게이트전극상에형성된원자층시트를포함하는게이트구조체를포함한다.

    Abstract translation: 场致发射器件包括:阴极电极; 至少一个发射体形成在阴极上; 阳极,设置在阴极的上部; 以及设置在所述阴极电极和所述阳极电极之间的栅极结构,其中所述栅极结构包括其中形成有至少一个孔的栅电极和形成在所述栅电极上的原子层片。 根据本发明的实施例,场发射器件可以有效地控制发射的电子束的尺寸和会聚,同时提供高电子透射率和高栅极场效应。

    엑스선원 및 이를 이용한 엑스선 초점 조절 방법
    97.
    发明公开
    엑스선원 및 이를 이용한 엑스선 초점 조절 방법 审中-实审
    X射线管及其使用X射线焦点的方法

    公开(公告)号:KR1020130141789A

    公开(公告)日:2013-12-27

    申请号:KR1020120064758

    申请日:2012-06-18

    CPC classification number: H01J35/14

    Abstract: According to the present invention, a photovoltaic power generation system includes a solar cell; a convertor connected to the output terminal of a solar cell; a capacitor connected to the output terminal of the convertor; an inverter changing DC voltage into AC voltage and connected to the capacitor; and a control part for controlling the inverter by controlling voltage in a determined rage and detecting the voltage (Vd) of the capacitor.

    Abstract translation: 根据本发明,光伏发电系统包括太阳能电池; 连接到太阳能电池的输出端子的转换器; 连接到转换器的输出端子的电容器; 逆变器将直流电压变为交流电压并连接到电容器; 以及控制部,其通过控制确定的电压中的电压并检测电容器的电压(Vd)来控制逆变器。

    전계 방출 장치
    98.
    发明授权
    전계 방출 장치 有权
    场发射装置

    公开(公告)号:KR101343567B1

    公开(公告)日:2013-12-20

    申请号:KR1020100043527

    申请日:2010-05-10

    Abstract: 본발명은전계방출장치에관한것으로서, 제1 기판의상부면에형성된복수의캐소드전극; 제2 기판의하부면에형성되어상기캐소드전극에대향되어배치된아노드전극; 상기아노드전극상에교대로형성된적색, 녹색및 청색의패턴으로이루어지며, 상기적색, 녹색및 청색패턴이사선방향으로배열된형광막; 및상기적색, 녹색및 청색패턴에대응되도록상기복수의캐소드전극상에형성된복수의에미터를포함한다. 본발명에따르면, 응답속도가빠른전계발광장치를백라이트유닛으로이용함으로써, 색순차구동방식에서색이분리(color breaking)되는현상을방지할수 있다. 또한, 복수의캐소드전극, 복수의에미터및 형광막으로이루어진단위블록을복수개포함하는전계방출장치를백라이트유닛으로이용함으로써, 순차적으로각 단위색을발광시킬수 있으며, 각블록별로휘도를조절할수 있다. 따라서, 액정표시장치에로컬디밍기술을적용시켜명암비를향상시키고동영상잔상현상을개선할수 있다.

    색가변 전계 방출 램프 및 그 제조 방법
    99.
    发明公开
    색가변 전계 방출 램프 및 그 제조 방법 无效
    颜色可控场致发射灯及其制作方法

    公开(公告)号:KR1020120064784A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:KR1020100125974

    申请日:2010-12-10

    CPC classification number: H01J1/304 H01J1/62 H01J9/022 H01J29/04 H01J29/467

    Abstract: PURPOSE: A color variable field emission lamp and a manufacturing method thereof are provided to control amount of an electron by including three or more cathode electrodes of a band shape in the field emission lamp. CONSTITUTION: Cathode electrodes(20) are located on one side of a first substrate. Electroluminescence emitter patterns(30) are composed of a plurality of electroluminescence emitters. A gate electrode(40) comprises gate holes which are respectively corresponded to the plurality of electroluminescence emitters. An insulating layer(42) comprises holes which are respectively corresponded to the gate holes. A phosphor film pattern is located on one side of a second substrate within an anode electrode. The anode electrode surrounds the edge of the one side of the second substrate.

    Abstract translation: 目的:提供一种彩色可变场发射灯及其制造方法,用于通过在场致发射灯中包括三个或更多个带状阴极来控制电子量。 构成:阴极电极(20)位于第一衬底的一侧。 电致发光发射体图案(30)由多个电致发光体构成。 栅电极(40)包括分别对应于多个电致发光体的栅极孔。 绝缘层(42)包括分别对应于栅极孔的孔。 荧光膜图案位于阳极电极内的第二基板的一侧。 阳极电极围绕第二基板的一侧的边缘。

    전계 방출 장치 및 그 구동 방법
    100.
    发明公开
    전계 방출 장치 및 그 구동 방법 有权
    场发射装置及其操作方法

    公开(公告)号:KR1020110033762A

    公开(公告)日:2011-03-31

    申请号:KR1020100041309

    申请日:2010-05-03

    CPC classification number: G09G3/22 G09G2320/0257 H05B33/0896

    Abstract: PURPOSE: A field emission device and a method for operating the same are provided to rapidly increase the electric potential of a cathode electrode by applying a pull-up voltage to the cathode electrode in the inactive operation of a current controller. CONSTITUTION: In a field emission device and a method for operating the same, a cathode electrode(210) comprises an electric field emission source(220). An anode electrode(250) accelerates electronics which are emitted from the electric field emission source. A current controller(280) controls a electric field emission current flowing in the cathode electrode. An electric field emission controller(290) applies the pull-up voltage to the cathode electrode.

    Abstract translation: 目的:提供一种场致发射器件及其操作方法,用于通过在电流控制器的无效操作中向阴极施加上拉电压来快速增加阴极电位。 构成:在场致发射器件及其操作方法中,阴极电极(210)包括电场发射源(220)。 阳极电极(250)加速从电场发射源发射的电子器件。 电流控制器(280)控制在阴极电极中流动的电场发射电流。 电场发射控制器(290)将上拉电压施加到阴极电极。

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