公开(公告)号：JP2004001186A

公开(公告)日：2004-01-08

申请号：JP2003063075

申请日：2003-03-10

Applicant: Samsung Electronics Co Ltd ,  三星電子株式会社

Inventor： LEE EUN-SUNG ,  KIM CHUNG-WOO ,  SO INSO ,  KIM JONG-SEOK ,  LEE MOON-CHUL

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01H11/04 ,  H01H59/00

CPC classification number: B81B3/0078 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/04 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/014 ,  H01H59/0009

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic driving type MEMS element on which a driving electrode has an imbedding structure and its manufacturing method.
SOLUTION: The driving electrode 320 is formed on a substrate 310 and an insulating layer 330 is further formed on the driving electrode 320 under the manufacturing method for the MEMS element. The insulating layer 330 is etched by patterning in a region where a fixing part and a contact part are formed, and a metal layer 340 is formed on it. The metal layer 340 is flattened by polishing until the insulating layer 330 is exposed. At this time, the driving electrode 320 remains as it is imbedded in the insulating layer 330. Thereafter a sacrifice layer 350 is formed on that and, a region of the sacrifice layer 350 where a fixing part is formed is made into a grouping type space by etching, and the MEMS structure layer 350 is laminated on the remaining sacrifice layer 350.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

公开(公告)号：WO2014165621A3

公开(公告)日：2015-01-15

申请号：PCT/US2014032719

申请日：2014-04-02

Applicant: CAVENDISH KINETICS INC

Inventor： VAN KAMPEN ROBERTUS PETRUS ,  KHIEU CONG QUOC ,  HUFFMAN JAMES DOUGLAS ,  KNIPE RICHARD L

IPC: B81B7/00

CPC classification number: H02M3/07 ,  B81B7/00 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/0109

Abstract: The present invention generally relates to a DVC having a charge-pump coupled to a MEMS device. The charge-pump is designed to control the output voltage delivered to the electrodes, such as the pull-in electrode or the pull-off electrode, that move the switching element within the MEMS device between locations spaced far from and disposed closely to the RF electrode.

Abstract translation: 本发明一般涉及具有耦合到MEMS器件的电荷泵的DVC。 电荷泵被设计成控制传递到电极的输出电压，例如拉入电极或拉出电极，其将MEMS器件内的开关元件移动到与RF紧密相邻的位置 电极。

公开(公告)号：WO2013145260A1

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：PCT/JP2012/058576

申请日：2012-03-30

Applicant: 富士通株式会社 ,  中谷 忠司 ,  奥田 久雄 ,  勝木 隆史

Inventor： 中谷　忠司 ,  奥田　久雄 ,  勝木　隆史

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01L23/02 ,  H01L23/06

CPC classification number: H01L23/3107 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/014 ,  B81C2203/0136 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 　基板１０上に形成された第１の電極２２ａと、第１の電極に対向するように形成された第２の電極２４ａと、第１の電極及び第２の電極を覆うように形成され、第１の電極のための可動空間３６を封止する封止層３２とを有し、可動空間は、基板に形成された貫通開口部１８と繋がっており、貫通開口部を封止する封止部材３８を更に有している。

Abstract translation: 电子设备具有：形成在基板（10）上的第一电极（22a）; 以与第一电极相对的方式形成的第二电极（24a）; 以及密封层（32），其以覆盖第一电极和第二电极的方式形成，并且密封用于第一电极的可移动空间（36）。 可移动空间与形成在基板中的通孔（18）连接，并且电子设备另外具有密封通孔的密封构件（38）。

公开(公告)号：WO2013005289A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：PCT/JP2011/065271

申请日：2011-07-04

Applicant: 富士通株式会社 ,  中谷 忠司 ,  奥田 久雄 ,  勝木 隆史 ,  上田 知史

Inventor： 中谷　忠司 ,  奥田　久雄 ,  勝木　隆史 ,  上田　知史

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B2201/014 ,  B81C1/00976 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2059/0072

Abstract: 【課題】電子デバイスとその製造方法及び電子デバイスの駆動方法において、電子デバイスの高寿命化を図ること。 【解決手段】基材３１と、一方の端部３１ｃと他方の端部３１ｄの各々が基材３１に固定されて上下に弾性変形可能であり、一方の端部３１ｃ寄りの第１の部分Ｐ１と他方の端部３１ｄ寄りの第２の部分Ｐ２とを備えた梁３４ｘと、梁３５ｘの第２の部分Ｐ２の上面に設けられた第１の接触電極３６と、第１の接触電極３６の上方に設けられ、第１の接触電極３６に当接可能な第２の接触電極４０ｂとを有し、第１の部分Ｐ１の剛性が第２の部分Ｐ２の剛性よりも大きい電子デバイスによる。

Abstract translation: [问题]为了实现电子设备的电子设备的更长的电池寿命，其制造方法和电子设备驱动方法。 电解装置包括：基板（31）; 能够垂直弹性变形的梁（34x），一个端部（31c）和另一个端部（31d）中的每一个被锚定到基板（31），并且还包括第一部件（P1） 朝向另一端部（31d）的一端部（31c）和第二部件（P2） 设置在梁（35x）的第二部件（P2）的上表面上的第一接触电极（36）; 以及设置在所述第一接触电极（36）上方并且能够与所述第一接触电极（36）接触的第二接触电极（40b）。 第一部件（P1）的刚性大于第二部件（P2）的刚性。

公开(公告)号：WO2011162949A2

公开(公告)日：2011-12-29

申请号：PCT/US2011039560

申请日：2011-06-08

Applicant: IBM ,  DANG DINH ,  DOAN THAI ,  DUNBAR GEORGE A ,  HE ZHONG-XIANG ,  HERRIN RUSSELL T ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  MALING JEFFREY C ,  MURPHY WILLIAM J ,  STAMPER ANTHONY K ,  TWOMBLY JOHN G ,  WHITE ERIC J

Inventor： DANG DINH ,  DOAN THAI ,  DUNBAR GEORGE A ,  HE ZHONG-XIANG ,  HERRIN RUSSELL T ,  JAHNES CHRISTOPHER V ,  MALING JEFFREY C ,  MURPHY WILLIAM J ,  STAMPER ANTHONY K ,  TWOMBLY JOHN G ,  WHITE ERIC J

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: B81C1/00365 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/01 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00476 ,  B81C1/00619 ,  B81C1/00626 ,  B81C1/00666 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/013 ,  B81C2201/0167 ,  B81C2201/017 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0172 ,  G06F17/5068 ,  G06F17/5072 ,  H01H1/0036 ,  H01H57/00 ,  H01H59/0009 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/1136 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S438/937 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/435 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/49121 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/5313 ,  H01L2924/00

Abstract: Planar cavity Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) structures, methods of manufacture and design structure are provided. The method includes forming at least one Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) cavity (60a, 60b) having a planar surface using a reverse damascene process.

Abstract translation: 提供了平面腔微机电系统（MEMS）结构，制造方法和设计结构。 该方法包括使用反向镶嵌工艺形成具有平面表面的至少一个微机电系统（MEMS）腔（60a，60b）。

公开(公告)号：WO2009067222A1

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：PCT/US2008/012946

申请日：2008-11-19

Applicant: XCOM WIRELESS, INC. ,  ZHANG, Huantong ,  HYMAN, Daniel

Inventor： ZHANG, Huantong ,  HYMAN, Daniel

IPC: B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  H02K41/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B3/0013 ,  B81B2201/014 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0072

Abstract: Mechanical springs and sliders as used in microfabricated actuators to provide an asymmetric spring constant are described. The asymmetric spring constant provides a propensity for deflection towards one direction, and a propensity for separation (i.e. restoration) towards the other direction. The asymmetry and slider system provides a passive mechanical means to achieve faster switching times and higher switch restoring forces.

Abstract translation: 描述了用于微加工致动器中的机械弹簧和滑块以提供非对称弹簧常数。 不对称弹簧常数提供向一个方向偏转的倾向，以及朝着另一个方向分离（即恢复）的倾向。 不对称和滑块系统提供了一种无源机械装置，以实现更快的切换时间和更高的开关恢复力。

公开(公告)号：WO2009005683A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：PCT/US2008/007944

申请日：2008-06-26

Applicant: LUCENT TECHNOLOGIES INC. ,  GASPARYAN, Arman ,  GATES, Ohn, VanAtta ,  SIMON, Maria, Elina

Inventor： GASPARYAN, Arman ,  GATES, Ohn, VanAtta ,  SIMON, Maria, Elina

IPC: H01H37/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/031 ,  H01H37/00 ,  H01H2001/0047 ,  H01H2037/008 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: The present invention provides a bi-directional microelectromechanical element, a microelectromechanical switch including the bi-directional element, and a method to reduce mechanical creep in the bi-directional element. In one embodiment, the bi-directional microelectromechanical element includes a cold beam having a free end and a first end connected to a cold beam anchor. The cold beam anchor is attached to a substrate. A first beam pair is coupled to the cold beam by a free end tether and is configured to elongate when heated thereby to a greater temperature than a temperature of the cold beam. A second beam pair is located on an opposing side of the cold beam from the first beam pair and is coupled to the first beam pair and the cold beam by the free end tether. The second beam pair is configured to elongate when heated thereby to the greater temperature.

Abstract translation: 本发明提供一种双向微电子机械元件，包括双向元件的微机电开关，以及减少双向元件中机械蠕变的方法。 在一个实施例中，双向微机电元件包括​​具有自由端的冷梁和连接到冷束锚的第一端。 冷梁锚附接到基板。 第一束对通过自由端系绳连接到冷束，并且被构造成在被加热时延伸到比冷束的温度更大的温度。 第二光束对位于与第一光束对的冷光束的相对侧上，并且通过自由端系绳耦合到第一光束对和冷光束。 第二束对被配置成在被加热时延长到更高的温度。

公开(公告)号：WO2008042478A2

公开(公告)日：2008-04-10

申请号：PCT/US2007070870

申请日：2007-06-11

Applicant: MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY ,  BOZLER CARL O ,  MULDAVIN JEREMY ,  WYATT PETER W ,  KEAST CRAIG L ,  RABE STEVEN

Inventor： BOZLER CARL O ,  MULDAVIN JEREMY ,  WYATT PETER W ,  KEAST CRAIG L ,  RABE STEVEN

CPC classification number: H01P3/08 ,  B81B7/0064 ,  B81B2201/014 ,  B81B2207/07 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/036 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A device includes a device wafer having a circuit component formed thereon and having vias formed therein and a cap wafer bonded to the device wafer. The cap wafer has a cavity therein. The cavity has a post formed therein, and the post is positioned to mechanically support the vias formed in the device wafer. The cavity has a volume, the volume substantially enclosing the circuit component formed on the device wafer. The cavity has a width and height such that an impedance of a transmission line is dependent upon the width and height of the cavity, or the impedance of a transmission line is dependent upon the width of a center conductor within the cavity.

Abstract translation: 一种器件包括具有形成在其上的电路部件并且具有形成在其中的通孔的器件晶片和结合到器件晶片的帽晶片。 盖晶片在其中具有空腔。 空腔具有形成在其中的柱，并且柱被定位成机械地支撑形成在器件晶片中的通孔。 空腔具有体积，该体积基本上包围形成在器件晶片上的电路部件。 空腔具有宽度和高度，使得传输线的阻抗取决于空腔的宽度和高度，或者传输线的阻抗取决于腔内的中心导体的宽度。

公开(公告)号：WO2004028953B1

公开(公告)日：2005-08-11

申请号：PCT/US0331239

申请日：2003-09-30

Applicant: TERAVICTA TECHNOLOGIES INC

Inventor： NELSON RICHARD D

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  H01H1/00

CPC classification number: B81B3/0054 ,  B81B2201/014 ,  H01H59/0009

Abstract: A microelectromechanical device is provided which includes a beam configured to apply an opening force on a closed switch. The opening force may be substantially independent of a force stored in the closed switch. A combination of the force applied by the beam and the force stored in the closed switch may be sufficient to open the switch after removal of a force associated with actuation of the switch. Another micro-electromechanical device includes a switch beam spaced above a closing gate and a contact structure. The device may also include an additional beam configured to apply a force on the switch beam in a direction away from the contact structure. A method for opening a switch includes reducing an attractive force between a switch beam and a closing gate. The method also includes externally applying a mechanical force on the switch beam in a direction away from the closing gate.

Abstract translation: 提供了一种微机电装置，其包括被构造成在闭合的开关上施加开启力的梁。 打开力可以基本上独立于存储在闭合开关中的力。 由梁施加的力与存储在闭合开关中的力的组合可能足以在移除与开关的致动相关联的力之后打开开关。 另一微机电装置包括在关闭门上方间隔开的开关梁和接触结构。 该装置还可以包括被配置成沿远离接触结构的方向在开关梁上施加力的附加梁。 用于打开开关的方法包括减小开关束和关闭门之间的吸引力。 该方法还包括在离开关闭门的方向上向开关梁外部施加机械力。

公开(公告)号：WO00038209A1

公开(公告)日：2000-06-29

申请号：PCT/JP1999/007137

申请日：1999-12-20

IPC: H01H11/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  H01H1/20 ,  H01H11/06 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/016 ,  B81C1/0015 ,  B81C2201/0133 ,  H01H1/20

Abstract: A micromachine switch comprises a support member having a predetermined height from the surface of a base, a flexible cantilevered arm projecting from the support member parallel to the surface of the base and facing the gap between two signal lines, a contact electrode provided to the cantilevered arm and facing the gap, a lower electrode provided on the base and facing a part of the cantilevered arm, and an intermediate electrode provided to the cantilevered arm and facing the lower electrode. The micromachine switch operates with a driving voltage lower than that of prior art. The breakdown voltage characteristic of the insulating film is improved.

Abstract translation: 微机械开关包括从基座的表面具有预定高度的支撑构件，从支撑构件平行于基座的表面突出并面向两条信号线之间的间隙的柔性悬臂，提供给悬臂的接触电极 并且面向所述间隙，设置在所述基座上并且面向所述悬臂的一部分的下电极，以及设置到所述悬臂并面向所述下电极的中间电极。 微机械开关的驱动电压低于现有技术。 绝缘膜的击穿电压特性提高。