Abstract:
Passive detector structures for imaging systems are provided which implement unpowered, passive front-end detector structures with direct-to-digital measurement data output for detecting incident photonic radiation in various portions (e.g., thermal (IR), near IR, UV and visible light) of the electromagnetic spectrum.
Abstract:
An infrared (IR) imaging system (200) is presented. The system comprises a cooling chamber (114) associated with a cooler generating a certain temperature condition inside the chamber. The cooling chamber has an optical window (116), and comprises thereinside an IR detector (112) and a cold shield (118) both thermally coupled to said cooler, and an imaging optical assembly (130) comprising one or more imaging lenses defining a certain fixed focus of the imaging assembly and being enclosed by the cold shield in between the detector and the optical window. The imaging optical assembly and the detector are therefore under the same cooling temperature thereby reducing thermal noise in the detected image.
Abstract:
The integrated detector dewar cryoengine (10) includes a detector (12) for detecting received electromagnetic radiation. The integrated detector dewar cryoengine (10) further comprises expander end cap (18) for removing thermal energy from said detector (12) which is in mechanical communication with said detector (12).
Abstract:
La présente invention concerne une barrette de détecteurs infra-rouge (1) comportant un écran froid (2), du type assurant dans une direction perpendiculaire à l'axe de la barrette (XX') un angle de vue constant pour tous les détecteurs. Deux miroirs cylindriques (3, 4) sont disposés aux extrémités de la barrette et placés dans la partie chaude du cryostat contenant la barrette et l'écran froid. La forme, la dimension des miroirs, ainsi que, leurs positions sont choisies pour que le détecteur placé au centre de la barrette ne voit par réfléxion dans les deux miroirs que des surfaces froides, alors que les autres détecteurs voient par réflexion dans les deux miroirs des surfaces chaudes, selon une proportion qui augmente au fur, et à mesure qu'on s'éloigne du détecteur central de la barrette, de façon à ce que, selon l'axe XX' de la barrette, chaque détecteur ait un angle de vue sensiblement constant. Application aux barrettes de grande dimensions, pour les applications spatiales par exemple.
Abstract:
열처리 챔버에서 고온계와 같은 온도 측정 장치(10)를 캘리브레이팅하기 위한 방법 및 시스템이 개시된다. 본 발명에 따르면, 시스템은 열처리 챔버(14)에 포함된 기판에 광 에너지(23)를 방출하는 캘리브레이팅 광원을 포함한다. 그리고나서, 광 검출기는 기판을 통해 투과되고 있는 광량을 검출한다(42). 그리고나서, 검출된 광 에너지의 양은 시스템에 이용되는 온도 측정 장치(27)를 캘리브레이팅하는데 이용된다.
Abstract:
열처리 챔버에서 고온계와 같은 온도 측정 장치(10)를 캘리브레이팅하기 위한 방법 및 시스템이 개시된다. 본 발명에 따르면, 시스템은 열처리 챔버(14)에 포함된 기판에 광 에너지(23)를 방출하는 캘리브레이팅 광원을 포함한다. 그리고나서, 광 검출기는 기판을 통해 투과되고 있는 광량을 검출한다(42). 그리고나서, 검출된 광 에너지의 양은 시스템에 이용되는 온도 측정 장치(27)를 캘리브레이팅하는데 이용된다. 반도체 장치, 캘리브레이션 웨이퍼, 열처리 챔버, 온도 측정 장치
Abstract:
본 발명은 온도 센서와 기준 바디를 포함하는 온도 측정 시스템에 관한 것으로, 상기 시스템에서 기준 바디의 온도 변화를 검출하기 위한 및/또는 기준 바디의 온도를 조절하기 위한 수단이 제공되고, 이 경우 기준 바디는, 온도 측정 시스템이 진공에서 사용되는 경우에 온도 센서에 대해 실질적으로 재료 열교를 형성하지 않고, 기준 바디는, 기준 바디의 표면으로부터 방사하고 온도가 검출되어야 하는 표면으로부터 방사하는 복사만이 온도 센서의 표면에 도달하도록 온도 센서를 주변에 대해 차폐한다.