公开(公告)号：CN109073469B

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201780027988.2

申请日：2017-06-05

Applicant: 株式会社芝浦电子

Inventor： 滨田守富 ,  今野达也 ,  樋口祐子 ,  蒲田恭平

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/04 ,  G01J5/10

CPC classification number: G01J5/04 ,  G01J5/0022 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0818 ,  G01J5/10 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068

Abstract: 本发明提供一种红外线温度传感器，能够确保能够准确地测量检测对象物的表面温度的检测灵敏度，并且能够应对小型化。本发明的红外线温度传感器(10)具备传感器壳体(20)、吸收红外线而转换为热的热转换膜(40)、隔着热转换膜(40)与传感器壳体(20)对置配置的传感器罩(30)、配置于热转换膜(40)的红外线检测元件(43)以及温度补偿元件(45)。本发明的传感器壳体(20)具备：具有正面(211)及背面(212)的壳体基部(21)、贯通壳体基部(21)的正面(211)及背面(212)而形成的导光区域(28)、以及形成于从壳体基部(21)的正面(211)侧立起的遮光圆顶(22)的内部的遮光区域(25)。

公开(公告)号：CN107466362A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201680018060.3

申请日：2016-03-16

Applicant: 分子装置有限公司

Inventor： 迈克尔·卡茨林格 ,  伯恩哈德·申瓦尔德 ,  斯特凡·奥尔

IPC: G01J3/02 ,  G01N21/01

CPC classification number: H01J43/28 ,  G01J5/061 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068 ,  G01N21/15 ,  G01N21/645 ,  G01N21/6452 ,  G01N2021/158 ,  H05K7/20163

Abstract: 一种光检测器包括位于光电倍增管(PMT)装置与散热器之间的冷却装置。导热护罩包封PMT装置和冷却装置并且与散热器热接触，使得散热器将热量传递到护罩。光检测器可以被包括在构造为进行样品的光学测量的样品分析设备中。

公开(公告)号：CN104040725B

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201280051175.4

申请日：2012-08-17

Applicant: 公共服务解决方案公司

Inventor： 霍华德·E·卡彭特 ,  彼得·N·考夫曼

IPC: H01L31/00

CPC classification number: G01J5/40 ,  G01J1/44 ,  G01J5/0225 ,  G01J5/023 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/10 ,  G01J5/34 ,  G01J5/44 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/065

Abstract: 提供用于成像系统的无源检测器结构，实现了带有直接数字测量数据输出的无动力的无源前端检测器结构，用于检测电磁频谱中的各部分（例如，热（IR）、近IR、UV和可见光）中的入射光子辐射。

公开(公告)号：CN101871818B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201010210121.0

申请日：2010-06-25

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 胡春华 ,  刘长洪 ,  范守善

IPC: G01J5/28

CPC classification number: G01J5/16 ,  B82Y30/00 ,  G01J1/1626 ,  G01J5/02 ,  G01J5/023 ,  G01J5/04 ,  G01J5/048 ,  G01J5/12 ,  G01J5/14 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068 ,  G01N2201/022 ,  H01L35/32 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/441 ,  H01L51/448 ,  H01L2031/0344

Abstract: 一种红外探测器，包括：一第一电极；一第二电极；以及一设置于该第一电极与该第二电极之间的探测元件；其中，该探测元件包括一覆盖结构，该覆盖结构覆盖该探测元件一部分而使探测元件分成一光照区域及一非光照区域，所述第一电极与所述探测元件的光照区域电连接，所述第二电极与所述探测元件的非光照区域电连接。

公开(公告)号：CN109073469A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780027988.2

申请日：2017-06-05

Applicant: 株式会社芝浦电子

Inventor： 滨田守富 ,  今野达也 ,  樋口祐子 ,  蒲田恭平

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/04 ,  G01J5/10

CPC classification number: G01J5/04 ,  G01J5/0022 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0818 ,  G01J5/10 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068

Abstract: 本发明提供一种红外线温度传感器，能够确保能够准确地测量检测对象物的表面温度的检测灵敏度，并且能够应对小型化。本发明的红外线温度传感器(10)具备传感器壳体(20)、吸收红外线而转换为热的热转换膜(40)、隔着热转换膜(40)与传感器壳体(20)对置配置的传感器罩(30)、配置于热转换膜(40)的红外线检测元件(43)以及温度补偿元件(45)。本发明的传感器壳体(20)具备：具有正面(211)及背面(212)的壳体基部(21)、贯通壳体基部(21)的正面(211)及背面(212)而形成的导光区域(28)、以及形成于从壳体基部(21)的正面(211)侧立起的遮光圆顶(22)的内部的遮光区域(25)。

公开(公告)号：CN106525249A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610948498.3

申请日：2016-10-26

Applicant: 中国科学院云南天文台

Inventor： 黄善杰 ,  许方宇 ,  李正刚 ,  袁沭 ,  张涛 ,  柳光乾 ,  付玉 ,  张卫锋 ,  胡志斌

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/06

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/06 ,  G01J2005/065

Abstract: 本发明公开了一种镜面红外测温装置及测温方法，旨在提供一种可以准确测量镜面温度的镜面红外测温装置及测温方法。其中红外测温装置包括探测模块、球面凹面镜罩和用于连接探测模块及球面凹面镜罩的连接体；所述球面凹面镜罩的内表面为球面反射面，其顶点区域背面设置与连接体固定连接的圆形座；所述连接体的中心具有与探测模块的探头形状相应的通孔，探测模块的探头伸入连接体的通孔内；所述圆形座中心设置与探头形状相应的贯通孔，且该贯通孔延伸至球面凹面镜罩内表面，于球面凹面镜罩形成开口。本发明可有效提高镜面温度测量的精度。

公开(公告)号：CN106441592A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610845929.3

申请日：2016-09-23

Applicant: 厦门矿通科技有限公司

Inventor： 陈平物 ,  李雪平 ,  李千扬 ,  张丽娟 ,  冯迭腾 ,  林剑斌

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/06 ,  G01J5/10

CPC classification number: G01J5/0205 ,  G01J5/06 ,  G01J5/10 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/067

Abstract: 一种具有零点温度补偿的热释电传感器，涉及一种热释电传感器。包括基座、封帽、引脚、滤光片、第一热释电探测元及前置放大器，所述滤光片设于封帽的开口处，所述前置放大器设于基座上，第一热释电探测元与前置放大器电连接并设于前置放大器上方，所述封帽罩在第一热释电探测元外围，基座下方引脚将电信号引出，还包括用于温度补偿的第二热释电探测元，所述第二热释电探测元与第一热释电探测元极性相反且特性一致，所述第二热释电探测元与第一热释电探测元电连接。能够将温度影响降低到最小，使热释电传感器的测量结果更为精确。

公开(公告)号：CN103674276A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310396912.0

申请日：2013-09-04

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T.巴布基纳 ,  M.弗兰克 ,  M.乌利希 ,  P.迈耶

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/08

CPC classification number: G01J5/00 ,  G01J5/0205 ,  G01J5/0265 ,  G01J5/028 ,  G01J5/043 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0806 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068 ,  G02B7/028

Abstract: 本发明涉及一种用于对物体非接触地进行温度测量的测量仪，具有仪器壳体（12）和布置在所述仪器壳体（12）中的用于非接触地进行温度测量的红外传感器（32），以及具有用于将由所述物体发出的红外射束集束到所述红外传感器（32）上的光学元件（52）。根据本发明提出，所述光学元件（52）浮动地支承。

公开(公告)号：CN101871818A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN201010210121.0

申请日：2010-06-25

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 胡春华 ,  刘长洪 ,  范守善

IPC: G01J5/28

CPC classification number: G01J5/16 ,  B82Y30/00 ,  G01J1/1626 ,  G01J5/02 ,  G01J5/023 ,  G01J5/04 ,  G01J5/048 ,  G01J5/12 ,  G01J5/14 ,  G01J2005/065 ,  G01J2005/068 ,  G01N2201/022 ,  H01L35/32 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/441 ,  H01L51/448 ,  H01L2031/0344

Abstract: 一种红外探测器，包括：一第一电极；一第二电极；以及一设置于该第一电极与该第二电极之间的探测元件；其中，该探测元件包括一覆盖结构，该覆盖结构覆盖该探测元件一部分而使探测元件分成一光照区域及一非光照区域，所述第一电极与所述探测元件的光照区域电连接，所述第二电极与所述探测元件的非光照区域电连接。

公开(公告)号：CN108020323A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201610973541.1

申请日：2016-11-04

Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司

Inventor： 文莉辉 ,  张军 ,  武学伟 ,  徐宝岗

IPC: G01J5/06

CPC classification number: G01J5/061 ,  G01J5/06 ,  G01J2005/065

Abstract: 本发明提供了一种测温装置，测温装置包括红外测温传感器和遮光筒，遮光筒包括筒状本体，还包括降温部件和/或隔离部件；降温部件设置在筒状本体上，用于将筒状本体降至设定的温度范围，并保持在所述温度范围；隔离部件设置在筒状本体和热源之间，用于将筒状本体与热源隔离。本发明还提供了一种工艺腔室，包括本发明提供的测温装置。本发明提供的测温装置提高了红外测温传感器测量的精确性；根据本发明的工艺腔室，在采用热电偶对托盘进行PID温度控制，红外测温传感器进行监控的情况下，可以使红外测温传感器测量的温度与热电偶测量的温度相差不大，甚至相同。