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公开(公告)号:JP2011525985A
公开(公告)日:2011-09-29
申请号:JP2011515725
申请日:2009-06-09
Applicant: アプライド マテリアルズ サウス イースト アジア ピーティーイー. エルティーディー.
Inventor: ツァフリル アヴニ , シャイ シルバースタイン
IPC: G01N21/956 , G01N21/84
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/8825 , G01N2201/067 , G01N2201/0675 , G01N2201/0697 , G01N2201/1241
Abstract: 光学検査システム又はツールは、照明の1つ又はそれよりも多くの特性が、異なる区域の検査の必要性を満たすように調節される動的照明を用いて物体を検査するように構成することができる。 例えば、照明強度は、ツールがメモリの区域及びウェーハダイの周縁部特徴を検査する時に増加又は減少させることができる。 一部の実施形態では、調節は、様々な特性を有する照明に基づいて撮った画像が検査工程の残りの部分の適合性に対して評価される検査前設定シーケンス中に得られるデータに基づくことができる。
【選択図】図3-
92.
公开(公告)号:JP4583723B2
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:JP2003125650
申请日:2003-04-30
Applicant: オリンパス株式会社
Inventor: 靖晃 名取
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/39 , G01N21/6428 , G01N2021/6423 , G01N2021/6441 , G01N2201/067
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公开(公告)号:JP4104075B2
公开(公告)日:2008-06-18
申请号:JP2005067738
申请日:2005-03-10
Applicant: 株式会社ジョイ・ワールド・パシフィック , 青森県
IPC: G01N21/35 , G01N21/359
CPC classification number: G01N21/3581 , G01G19/4146 , G01N21/3563 , G01N21/4738 , G01N33/02 , G01N2021/151 , G01N2201/0618 , G01N2201/067 , G01N2201/0696 , G01N2201/1293
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公开(公告)号:JP2004333579A
公开(公告)日:2004-11-25
申请号:JP2003125650
申请日:2003-04-30
Applicant: Olympus Corp , オリンパス株式会社
Inventor: NATORI YASUAKI
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/39 , G01N21/6428 , G01N2021/6423 , G01N2021/6441 , G01N2201/067
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser scanning microscope capable of acquiring the absorbing wavelength spectral characteristics of samples.
SOLUTION: The laser scanning microscope is constituted so that the wavelength of spectral diffusion light Lp' in a wide band area outputted from a laser light source 40 is selected by an AOTF 44, the wavelengths of the spectral light Ls of which the wavelength is selected is continuously changed, a sample 7 dyed by respective fluorescent reagents Y, Z is scanned with the wavelength-variable spectral light Ls, bright fluorescent light quantity data are detected by a photoelectric conversion element 54 while synchronizing fluorescence from the sample 7 with the selection of the wavelength by the AOTF 44, and the absorbing wavelength spectral characteristics of respective fluorescent regents Y, Z used for dying the sample 7 is found out on the basis of the fluorescent light quantity data.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI-
公开(公告)号:JP2018029975A
公开(公告)日:2018-03-01
申请号:JP2017181579
申请日:2017-09-21
Applicant: セノ メディカル インストルメンツ,インク.
Inventor: ハーゾグ,ドナルド,ジー. , ミラー,トーマス,ジー.
IPC: A61B8/13
CPC classification number: A61B5/0095 , A61B5/0035 , A61B5/0091 , A61B5/14551 , A61B5/6844 , A61B5/7425 , A61B5/7445 , A61B5/7475 , A61B8/0825 , A61B8/4281 , A61B8/4444 , A61B8/4483 , F04C2270/041 , G01N21/1702 , G01N2201/067 , G01N2201/068 , G01N2201/0826 , G02B6/3624
Abstract: 【課題】医用撮像における光音響・超音波システムで使用のための光音響プローブを提供する。 【解決手段】ハンドヘルド光音響プローブが、超音波トランスデューサ配列ならびに、入力を提供するファイバー束に形成された第1の端部および出力を提供する第2の遠位端部をもつ光ファイバーを含む。光バーガイドが、光ファイバーの遠位端を同じ平面上に維持する。1つまたは複数の光学窓が、光バーガイドに関連付けられ、カップリング剤と光ファイバーの遠位端との間の接触を防ぐために、その光バーガイドから間隔を空けられ得、このようにして、ファイバーから放出される光に応答した、カップリング剤の潜在的な音響効果を弱める。TiO 2 でドープ処理されたシリコンゴム音響レンズが提供され得、その音響レンズの外表面を反射金属が取り囲んでいる。ハンドヘルドプローブシェルが、光バーガイド、超音波トランスデューサ配列、および音響レンズを収容する。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP2017516073A
公开(公告)日:2017-06-15
申请号:JP2016556971
申请日:2015-03-18
Applicant: ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニアThe Regents Of The University Of California , ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニアThe Regents Of The University Of California
Inventor: ジャラリ,バーラム , ディボールド,エリック , バックリー,ブランドン
CPC classification number: G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N15/1484 , G01N21/64 , G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N33/537 , G01N2015/1006 , G01N2015/1477 , G01N2021/6421 , G01N2201/067
Abstract: 分析スループットを向上させる並行光学検出機構に結合された無線周波数標識放射(FIRE)を用いて、細胞にわたる複数の位置及び/又は複数のフローチャネルを並行して記録することを可能にする、イメージングフローサイトメトリー装置及び方法。光源は、空間的に分散しているビート周波数を有する光学問い合わせビームを生成するように、複数のRF周波数により変調される。このビームは、集束された細胞ストリームの1つ以上に向けられ、該細胞の異なる周波数における応答蛍光は、光学検出器によって並行して記録される。【選択図】図1A
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公开(公告)号:JP6003902B2
公开(公告)日:2016-10-05
申请号:JP2013548146
申请日:2012-10-29
Applicant: ソニー株式会社
Inventor: 玉田 作哉
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/65 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/1256 , G01J3/44 , G01N2021/653 , G01N2021/655 , G01N2201/067
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公开(公告)号:JPWO2014046169A1
公开(公告)日:2016-08-18
申请号:JP2014536897
申请日:2013-09-19
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01J1/02 , G01N21/3586 , G02F1/03
CPC classification number: G01J1/0407 , B32B37/24 , B32B38/0004 , B32B2037/243 , B32B2038/0064 , B32B2457/00 , B32B2551/00 , G01J1/38 , G01J3/42 , G01N21/3581 , G01N21/3586 , G01N2201/06113 , G01N2201/067 , G02F1/0126
Abstract: 空間分解能が高く、反りやクラックの発生が好適に抑制されたテラヘルツ波検出素子を提供する。入射したテラヘルツ波が有する空間的強度分布を検出可能なテラヘルツ波検出素子が、テラヘルツ波の入射位置における屈折率が入射強度に応じて変化する電気光学結晶からなる電気光学結晶層と、電気光学結晶層を支持する支持基板と、を備え、テラヘルツ波と重畳的に照射されたプローブ光に生じる、電気光学結晶層に生じている屈折率の空間的分布に応じた空間的特性分布を検出することで、入射したテラヘルツ波の空間的強度分布を検出するようになっており、電気光学結晶層と支持基板との接合部が、電気光学結晶層の構成元素と支持基板の構成元素とを含む酸化物からなり、かつ、厚みが1nm以上50nm以下であるアモルファス層であり、電気光学結晶層の厚みが1μm以上30μm以下である、ようにした。
Abstract translation: 高空间分辨率,提供一种太赫兹波检测元件翘曲或开裂适当地抑制。 事件检测的太赫兹波检测元件的空间强度分布太赫兹波已经是由电光晶体的电光晶体层根据入射强度,其中在太赫兹波的入射位置的折射率变化时,电光晶体 包括用于支撑所述层的支撑衬底,在探测光的结果叠加照射太赫兹波;检测对应于所述折射率的空间分布的空间分布特性的电光晶体层中引起的 在,从而检测包含电光晶体层支撑基板的构成要素的构成要素的太赫兹波入射的空间强度分布中,电光晶体层的结和支撑衬底,氧化物 从物体制成,并且厚度的非晶层在1nm以上50nm的或更小,所述电光晶体层的厚度为1μm或更多为30μm或更少,等等。
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公开(公告)号:JP5690359B2
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:JP2013011736
申请日:2013-01-25
Applicant: 株式会社Screenホールディングス
IPC: G01N21/27
CPC classification number: H04N7/18 , G01N21/253 , G01N21/255 , G01N2201/0631 , G01N2201/0634 , G01N2201/067
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公开(公告)号:JP2015049243A
公开(公告)日:2015-03-16
申请号:JP2014172135
申请日:2014-08-27
Applicant: ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ , General Electric Co
Inventor: NAGAPRIYA KAVOORI SETHUMADHAVAN , SANDIP MAITY , NILOY CHOUDHURY
IPC: G01N21/00
CPC classification number: G01N21/1702 , G01J3/433 , G01N21/3577 , G01N21/39 , G01N21/85 , G01N29/222 , G01N29/2425 , G01N29/30 , G01N33/2841 , G01N33/2847 , G01N2021/1704 , G01N2201/06113 , G01N2201/067 , G01N2291/02809
Abstract: 【課題】光音響分光法を用いて流体内の成分の存在を検出するシステムおよび方法を提供する。【解決手段】サンプル流体を有する第1のチャンバ218と、第1のチャンバに結合された第2のチャンバ216とを備え、第2のチャンバは、基準流体を有する。本システムは、変調光源202を備え、変調光線をサンプル流体と基準流体とに照射し、第1のチャンバ内で第1の音響信号238を生成し、第2のチャンバ内で第2の音響信号240を生成する。さらに、第1のチャンバと第2のチャンバとの間に配置された圧力センサ236を備え、第1の音響信号と第2の音響信号との差を検出する。本システムは、圧力センサに通信可能に結合され、差を表す信号を受信し、サンプル流体内の成分およびその成分の濃度の少なくとも一方を判断するよう構成されるプロセッサ式モジュール228を備える。【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于通过使用光声波光谱检测流体中组分的存在的系统和方法。解决方案:系统包括具有样品流体的第一室218和耦合到第二室216的第二室216。 第一室,其中第二室具有参考流体。 该系统包括用于将调制的光束发射到样品流体和参考流体的调制光源202,以在第一室中产生第一声信号238,并在第二室中产生第二声信号240。 该系统还包括设置在第一室和第二室之间的用于检测第一声信号和第二声信号之间的差的压力传感器236。 该系统包括基于处理器的模块228,其通信地耦合到压力传感器并且被配置为接收代表该差异的信号,并且确定样品流体中的组分和组分的浓度中的至少一个。
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