自动分析装置以及使用光电倍增管的分析系统

    公开(公告)号:CN101539582B

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN200910008002.4

    申请日:2009-02-19

    CPC classification number: G01N21/76 G01N21/274 G01N2201/1241

    Abstract: 本发明提供一种自动分析装置以及使用光电增倍管的分析系统。光电增倍管在低浓度下受噪声的影响,在高浓度下饱和,为了进行再现性和直线性良好的测定,需要在适当的光量下进行测定。但是,为了在广范围的浓度中应用,无法仅通过调整试剂的浓度或成分来覆盖。因此,在本发明中,在通过施加高电压来调节光电增倍管的灵敏度时,对应对测定项目设定的浓度范围,预先设定适合于测定的施加高电压,根据项目选择、该项目的上次值、诊断信息等来进行调整,并在最佳的条件下进行测定。

    自动分析装置以及使用光电倍增管的分析系统

    公开(公告)号:CN101539582A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200910008002.4

    申请日:2009-02-19

    CPC classification number: G01N21/76 G01N21/274 G01N2201/1241

    Abstract: 本发明提供一种自动分析装置以及使用光电增倍管的分析系统。光电增倍管在低浓度下受噪声的影响,在高浓度下饱和,为了进行再现性和直线性良好的测定,需要在适当的光量下进行测定。但是,为了在广范围的浓度中应用,无法仅通过调整试剂的浓度或成分来覆盖。因此,在本发明中,在通过施加高电压来调节光电增倍管的灵敏度时,对应对测定项目设定的浓度范围,预先设定适合于测定的施加高电压,根据项目选择、该项目的上次值、诊断信息等来进行调整,并在最佳的条件下进行测定。

    DYNAMIC ILLUMINATION IN OPTICAL INSPECTION SYSTEMS
    6.
    发明申请
    DYNAMIC ILLUMINATION IN OPTICAL INSPECTION SYSTEMS 审中-公开
    光学检测系统的动态照明

    公开(公告)号:WO2009156981A1

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:PCT/IL2009/000572

    申请日:2009-06-09

    Abstract: An optical inspection system or tool can be configured to inspect objects using dynamic illumination where one or more characteristics of the illumination is/are adjusted to meet the inspection needs of different areas. For example, the illumination intensity may be increased or decreased as the tool inspects areas of memory and periphery features in a wafer die. In some embodiments, the adjustment can be based on data obtained during a pre-inspection setup sequence in which images taken based on illumination with varying characteristics are evaluated for suitability in the remainder of the inspection process.

    Abstract translation: 光学检查系统或工具可以被配置为使用动态照明来检查物体,其中调整照明的一个或多个特征以满足不同区域的检查需要。 例如,当工具检查晶片管芯中的存储器区域和外围特征时,可以增加或减小照明强度。 在一些实施例中,调整可以基于在预检查设置顺序期间获得的数据,其中基于具有变化特性的照明拍摄的图像被评估为在检查过程的其余部分中的适用性。

    INSPECTION SYSTEMS AND METHODS FOR EXTENDING THE DETECTION RANGE OF AN INSPECTION SYSTEM BY FORCING THE PHOTODETECTOR INTO THE NON-LINEAR RANGE
    7.
    发明申请
    INSPECTION SYSTEMS AND METHODS FOR EXTENDING THE DETECTION RANGE OF AN INSPECTION SYSTEM BY FORCING THE PHOTODETECTOR INTO THE NON-LINEAR RANGE 审中-公开
    检查系统和方法,用于通过将光电转换成非线性范围来扩展检测系统的检测范围

    公开(公告)号:WO2008144318A1

    公开(公告)日:2008-11-27

    申请号:PCT/US2008/063541

    申请日:2008-05-13

    Abstract: An inspection system and method is provided herein for increasing the detection range of the inspection system. According to one embodiment, the inspection system may include a photodetector having a plurality of stages, which are adapted to convert light scattered from a specimen into an output signal, and a voltage divider network coupled for extending the detection range of the photodetector (and thus, the detection range of the inspection system) by saturating at least one of the stages. This forces the photodetector to operate in a non-linear manner. However, measurement inaccuracies are avoided by calibrating the photodetector output to remove any non-linear effects that may be created by intentionally saturating the at least one of the stages. In one example, a table of values may be generated during a calibration phase to convert the photodetector output into an actual amount of scattered light.

    Abstract translation: 本文提供了一种用于增加检查系统的检测范围的检查系统和方法。 根据一个实施例,检查系统可以包括具有多个级的光电检测器,其适于将从样本散射的光转换成输出信号,以及耦合的用于扩展光电检测器的检测范围的分压器网络 ,检查系统的检测范围)通过饱和至少一个级。 这迫使光电探测器以非线性方式工作。 然而,通过校准光电检测器输出以消除可能通过故意饱和至少一个级而产生的任何非线性效应来避免测量不准确。 在一个示例中,可以在校准阶段期间生成值表,以将光电检测器输出转换成实际的散射光量。

    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN
    10.
    发明申请
    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN 审中-公开
    测量装置及测量方法

    公开(公告)号:WO2014170017A1

    公开(公告)日:2014-10-23

    申请号:PCT/EP2014/001010

    申请日:2014-04-15

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) und ein entsprechendes Messverfahren zur Messung einer Konzentration von gas- und/oder aerosolförmigen Komponenten eines Gasgemisches für einen Reaktionsträger (14) mit einem Strömungskanal (42), der eine Reaktionskammer (46) mit einem Reaktionsstoff (48) bildet, welcher ausgebildet ist, um mit zumindest einer zu messenden Komponente des Gasgemisches oder einem Reaktionsprodukt der zu messenden Komponente eine optisch detektierbare Reaktion einzugehen. Messvorrichtung (12) umfasst eine Detektionsbaugruppe (3) und eine Gasförderbaugruppe (2), wobei die Detektionsbaugruppe (3) eine Beleuchtungseinrichtung (37) zur Beleuchtung der Reaktionskammer (46) des Reaktionsträgers (14), einen optischen Sensor (38) zur Erfassung der optisch detektierbaren Reaktion, und eine Auswertungseinheit (4) zu Auswertung der vom optischen Sensor (38) erfassten Daten der optisch detektierbaren Reaktion und Bestimmung einer Konzentration der Komponente des Gasgemisches aufweist, und die Gasförderbaugruppe (2) eine Gasfördereinrichtung (28) zur Förderung des Gasgemisches durch den Gasabflusskanal (18) und eine Steuerungs-/Reglungseinheit (31) aufweist, welche ausgebildet ist, um einen Durchfluss des Gasgemischs durch den Strömungskanal (42) in Abhängigkeit zumindest eines Reaktionsgeschwindigkeitsparameters zu steuern oder zu regeln.

    Abstract translation: 本发明涉及一种测量装置(10)以及用于测量气体混合物的气体和/或气溶胶状成分的浓度为反应载体(14),其具有流路(42)(反应室(46)与反应物48中的相应的测量方法 )的形式,其被设计成向至少一个部件响应该气体混合物的被测量或所述组分的反应产物将被测量到的光学可检测的反应。 用于检测照明反应载体的反应室(46)(14),光学传感器(38),测量装置(12)包括一个检测组件(3)和一个气体输送组件(2),其中所述检测组件(3)的照明装置(37) 光学可检测的反应,以及评估单元(4),用于(38)的光传感器的评价检测出的光学上可检测的反应的数据,和确定具有用于输送气体混合物中的气体混合物的组分和气体输送器组件(2)的气体输送装置(28)的浓度 通过气体流出通道(18),并且适于响应于控制通过所述流动通道(42)的气体混合物的流,以至少一个反应速率参数或控制的控制/调节单元(31)。

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