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公开(公告)号：KR100327495B1
公开(公告)日：2002-03-15
申请号：KR1020000026472
申请日：2000-05-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H03H9/54
Abstract: 본 발명은 자기장의 세기를 조절하여 중심 주파수를 정밀하게 조정할 수 있도록 하는 주파수 트리밍 코일을 갖는 벌크 음파 공진기 및 필터(Bulk acoustic wave resonators and filters having a frequency trimming coil)를 기재한다. 본 발명에 따른 주파수 트리밍 코일을 갖는 벌크 음파 공진기 및 필터는, 반도체 기판; 반도체 기판 상에 형성된 하부 전극판; 하부 전극판 상에 형성된 압전체 박막; 압전체 박막 상에 형성된 상부 전극판; 및 두 전극판 중 적어도 어느 한 전극판의 가장자리에 압전체 박막에 자기장을 인가하기 위한 자기장 유도 코일;을 구비함으로써, 제조 공정시 형성된 압전체 박막에 두께 차이가 발생하더라도 자기장 유도 코일로서 압전체 박막에 자기장을 인가하여 원하는 주파수의 신호에 공진되거나 원하는 주파수의 신호를 필터링 할 수 있도록 그 사용 주파수를 정밀하게 트리밍하여 사용한다.
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公开(公告)号：KR1020010105733A
公开(公告)日：2001-11-29
申请号：KR1020000026472
申请日：2000-05-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H03H9/54
Abstract: The disclosed ring clamp has two half-shells (10, 20), each having a first extremity with a bearing pad (12, 22) extending outwards, as well as a second extremity equipped with one of the elements (14, 22) of the means of connection used to connect the two second extremities of the half- shells removably. The section of said half-shells is substantially U- shaped, with the branches of the 'U' extending towards the interior and having the capacity to operate in conjunction with the protruding support surfaces on the extremities of the two tubes. The clamp comprises a tightening screw (30), the post (32) of which traverses the pierced holes of the bearing pads (12, 22). The length (L) of the post is at least substantially equal to the radius (R) of the ring clamp when closed, and said post is inserted loosely into the holes of the bearing pads. The elements (14, 24) of said means of connection are designed to unite in order to bring together the second half-shell extremities, or to separate in order to maintain said extremities apart while the post of the screw remains in place in the holes of the bearing pads.
Abstract translation: 所公开的环形夹具具有两个半壳（10,20），每个具有第一末端，其具有向外延伸的轴瓦（12,22），以及配备有元件（14,22）之一的第二末端 用于连接半壳的两个第二末端的连接装置可拆卸。 所述半壳的部分基本上为U形，其中U形分支向内部延伸，并具有与两根管的末端上的突出的支撑表面一起操作的能力。 所述夹具包括紧固螺钉（30），所述紧固螺钉（30）穿过所述轴承瓦块（12,22）的穿孔。 柱的长度（L）至少基本上等于闭合时环形夹具的半径（R），并且所述柱松动地插入轴承瓦的孔中。 所述连接装置的元件（14,24）被设计成联合在一起以将第二半壳末端组合在一起，或者为了保持所述末端分开而分离，同时螺钉的柱保持在孔中 的轴瓦。
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公开(公告)号：KR1020000061886A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：KR1019990011267
申请日：1999-03-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: PURPOSE: A cavity resonator is provided to reduce a phase noise of an electromagnetic wave radiated MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit) VCO(Voltage Controlled Oscillator) for accepting a silicone micromachined cavity in a pressure control oscillator of a reflection type. CONSTITUTION: A cavity resonator includes a cavity(500), a microstrip line(400) and a slot(210). The cavity(500) is made by a fine processing of a silicone and a micro electro mechanical system instead of a metal cavity and a lower thin film of the cavity with a rectangular parallelepiped type is made of a gold thin film and the thin film(200) of a ground plane covers the top of the lower thin film of the cavity. A film as the micro electro mechanical system is inserted between microstrip line(400) and the thin film(200) of top ground plane to maintain a direct way. And in an 1-slot cavity resonator, a signal from VCO is sent through the gold strip line(400) an electromagnetic wave mode in the cavity is made by an electromagnetic wave coupling of the strip line(400) and the cavity(500). In this coupling a slot(210) is used and the stable electromagnetic mode is sent to the strip line through the slot and is radiated through the antenna.
Abstract translation: 目的：提供一种空腔谐振器，以减少电磁波辐射MMIC（单片微波集成电路）VCO（压控振荡器）的相位噪声，用于接收反射型压力控制振荡器中的硅树脂微加工腔。 构成：空腔谐振器包括空腔（500），微带线（400）和狭槽（210）。 空腔（500）通过硅树脂和微机电系统的精细加工而不是金属空腔制成，并且具有长方体形状的空腔的下薄膜由金薄膜和薄膜（ 接地平面的200）覆盖空腔的下薄膜的顶部。 将微电子机械系统的薄膜插入到微带线（400）和顶部接地平面的薄膜（200）之间以保持直接的方式。 并且在1槽空腔谐振器中，来自VCO的信号通过金带线（400）发送，空腔中的电磁波模式由带状线（400）和空腔（500）的电磁波耦合构成， 。 在该耦合中，使用槽（210），并且通过该槽将稳定的电磁模式发送到带状线并通过天线辐射。
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公开(公告)号：KR1019990084330A
公开(公告)日：1999-12-06
申请号：KR1019980015989
申请日：1998-05-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 실리콘을 전기화학적으로 부식시켜 얻은 수십나노미터 크기의 기공 실리콘(porous silicon)을 응용하여 제조한 기공 실리콘을 이용한 단일전자 트랜지스터(single electron transistor) 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기공 실리콘을 이용한 단일전자 트랜지스터는 하부가 이산화 실리콘(SiO
2 )으로 구성된 실리콘 기판(SOI)에 직경 5 nm 이하의 기공 실리콘들을 HF-based 용액 내에서 전기화학적 부식에 의해 제조하여 단일전자 트랜지스터의 아일런드(island)로 활용하고, 금속 혹은 불순물이 주입 혹은 도핑된 실리콘으로 소스(source), 드레인(drain) 및 게이트(gate)를 형성함으로써, 아일런드 및 터넬장벽 형성이 보다 용이하여 대량 생산이 가능하며 또한 아일런드 크기를 산화로에서 조절할 수 있으므로 상온 작동이 가능한 단일전자 트랜지스터를 쉽게 제작할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019990069116A
公开(公告)日：1999-09-06
申请号：KR1019980003152
申请日：1998-02-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김정우
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 금속 단전자 소자의 패턴으로 사용되는 티타늄 박막의 패턴 형성후 감광막 제거에 관한 것이다. 본 발명에 따른 단일 전자 소자 제작을 위한 감광막 제거 방법은 티타늄의 물질 친화력으로 인하여 생기는 감광막 제거의 어려움을 해결하기 위해 산소 플라즈마 애슁(plasma ashing) 공정을 이용하여 감광막을 제거하고, 산소와 반응을 일으킨 산화 티타늄은 황산을 이용하여 제거함으로써 포토레지스트가 남지않은(photoresist-free) 티타늄 박막을 얻는다.
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公开(公告)号：KR101870892B1
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：KR1020120005841
申请日：2012-01-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/0412 , G06F2203/04103 , G06F2203/04104
Abstract: 터치스크린장치가개시된다. 개시된터치스크린장치는, 터치센싱부와, 터치센싱부로부터의센싱정보를저장하는메모리와, 메모리에저장된센싱정보를입력받아디스플레이하는디스플레이부를포함한다.
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