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公开(公告)号：KR1019950018631A
公开(公告)日：1995-07-22
申请号：KR1019930026584
申请日：1993-12-06
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C16/00
Abstract: 본 발명은 절삭공구의 표면에 다이아몬드 박막을 코팅하는 방법에 관한 것으로, 모재와 다이아몬드막간의 접착강도를 향상시키기 위한 다이아몬드 박막 코팅방법에 관한 것이다. 본 발명은 다이아몬드막과 모재와의 접착강도를 향상시키기 위한 방편으로, 먼저 모재에 요철을 형성하고 중간층으로서 다이아몬드-탄화물의 혼합분말층, 초경탄화물층 또는 다이아몬드-초경탄화물 경사복합층을 형성한 후 그 위에 다이아몬드 박막을 코팅하는 과정으로 이루어진다. 본 발명은 다이아몬드막과 모재간의 접착강도가 높을 뿐만 아니라, 경도, 내마모도, 잔류응력등 막의 기계적 특성까지도 자유롭게 조절할 수 있는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR1019950017734A
公开(公告)日：1995-07-20
申请号：KR1019930030636
申请日：1993-12-29
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B31/06
Abstract: 본 발명은 고밀도 직류 글로우 방전에 의한 다이아몬드막 중착방법에 관한 것이다. 본 발명은 U자형 필라멘트를 복수개 일열로 평행하게 배열하여 구성된 음극을 사용하고, 이 U자형 필라멘트의 온도를 2100∼2300℃ 이상으로 하여 기판상에 다이아몬드막의 증착이 이루어지도록 한 것이다. 본 발명은 합성중 전극간 아크발생이 방지되어 기판위로 안정한 플라즈마가 형성됨으로 인해 두께 수백μ 내지 1mm, 직경 5cm이상의 대면적, 고품위 다이아몬드 증착이 가능하다.
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公开(公告)号：KR1019950013982A
公开(公告)日：1995-06-15
申请号：KR1019930023549
申请日：1993-11-06
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01B31/06
Abstract: 본 발명은 직류방전 플라즈마 화학증착 다이아몬드 합성방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법은 가느다란 음극현수봉에 의해 음극으로부터 음극현수장치로의 열전달을 차단하여 음극 전체의 온도가 균일하게 2000℃이상으로 유지되게 하는 한편 음극의 형상을 변형시켜 자체 발열이 증가되도록 하여 플라즈마의 형성을 안정화시킨 가운데 다이아몬드의 합성을 수행하도록 구성되어 있다. 본 발명은 음극 전 체의 온도를 고상탄소의 형성온도 이상으로 균일하게 유지시킴에 의해 플라즈마의 안정화를 기할 수있고, 음극의 탄화에 의한 음극표면층의 벗겨짐(spalling)현상을 방지할 수 있어 음극의 수명을 증가시 킬 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR101740964B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020160075788
申请日：2016-06-17
Applicant: 한국과학기술연구원 , 프리시젼다이아몬드 주식회사
Abstract: 본발명은샹크부와, 상기샹크부의하부에접합되는선단부를포함하는본딩툴로서, 상기선단부는기판과, 상기기판의하면에증착되는증착막을포함하고, 상기샹크부의하부와상기선단부사이에는금속층이개재되며, 상기샹크부의하부면과상기금속층의일면이부분적으로접합되도록하고, 상기금속층의타면과상기선단부의일면이부분적으로접합되도록, 상기금속층의양면에는각각복수의부분접합부가형성되어있는본딩툴에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是，接合工具包括接合到下部的柄部和所述柄部的前端部之间的金属层，所述远端部分包括：基板;和包括根据所述基片上沉积一个气相沉积膜，所述柄部分底部和所述远端 插入，并且，所述柄部的下表面和金属层的，并且使得一个表面部分接合，所述金属层的前端表面的表面被部分地结合到，双方，具有多个局部结的接合在金属层的形成 它涉及到的工具。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101575103B1
公开(公告)日：2015-12-08
申请号：KR1020140162457
申请日：2014-11-20
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B32/956 , B82B1/00 , C23C14/34
Abstract: 나노크기의주상입자조직을갖는초경도탄화규소박막은, 나노미터(nm)의폭을갖는장방형모양의입자들이기판의수직방향으로배열된결정질탄화규소와비정질탄화규소의복합구조를구성함으로써초경도값을갖는다. 이에따라, 탄화규소박막이초경도물성을갖게되어고온에서사용가능한절삭공구의코팅재료로사용가능하다.
Abstract translation: 具有纳米尺寸的柱状晶粒结构的超硬碳化硅薄膜通过形成晶体碳化硅和非晶质碳化硅的复合结构而具有超硬度值，其中具有纳米级（nm）宽度的矩形颗粒沿着 基质。 因此，具有超硬性的碳化硅薄膜可以用作可在高温下使用的切削工具的涂层材料。
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公开(公告)号：KR1020150097177A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：KR1020140018402
申请日：2014-02-18
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C28/04
Abstract: 본 발명은 초경모재 상에 코팅되는 다이아몬드박막을 제 1 박막층과 제 2 박막층의 이중층으로 구성하고, 제 1 박막층과 제 2 박막층의 압축잔류응력을 제어함으로써 다이아몬드박막과 초경모재 사이의 기계적 결합력을 향상시킴과 함께 다이아몬드박막의 박리 현상을 억제하여 다이아몬드 코팅공구 상에 코팅되는 다이아몬드박막의 두께를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 코팅공구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 코팅공구 제조방법은 초경모재 상에 제 1 박막층과 제 2 박막층을 순차적으로 증착하며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층은 제 2 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 압축잔류응력을 갖도록 증착되고, 상기 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 작은 압축잔류응력을 갖도록 증착되는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及金刚石涂层工具和制造方法，其能够通过将涂覆在碳化物基材上的金刚石膜形成第一和第二薄膜并控制金刚石薄膜和碳化物基材之间的机械结合力 通过抑制金刚石膜的分离现象，第一和第二薄膜的压缩残余应力和涂覆在涂层工具上的金刚石膜的厚度增加。 根据本发明，在制造方法中，第一和第二薄膜依次沉积在碳化物基材上，第一和第二薄膜是晶相金刚石薄膜，第一薄膜比第二薄膜具有比第二薄膜更大的压缩残余应力 薄膜，第二薄膜比第一薄膜具有更小的压缩残余应力。
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公开(公告)号：KR101284047B1
公开(公告)日：2013-07-09
申请号：KR1020110136213
申请日：2011-12-16
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/304
Abstract: CMP 패드 컨디셔너의 제조방법은 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성하는 단계, 매트릭스 형태의 개구부를 갖는 마스크를 다이아몬드 박막 상에 위치시키는 단계, 마스크 상에 다이아몬드를 증착하여 다이아몬드 박막 상에 개구부에 대응하는 돌출부들을 형성하는 단계, 및 마스크를 제거하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 종래 CMP 패드 컨디셔너가 가진 컨디셔너의 부식과 다이아몬드의 탈착에 의한 문제점을 해결한 우수한 CMP 패드 컨디셔너를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101252669B1
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120071532
申请日：2012-07-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A method for rapidly growing diamond and an apparatus thereof are provided to secure a large-area thin film by using an HFCVD(Hot Filament Chemical Vapor Deposition). CONSTITUTION: The flow rate of precursor gas is controlled to control the concentration of atomic hydrogen. The precursor gas includes hydrogen and hydrocarbon. The chamber of an HFCVD apparatus includes a solid carbon source. The solid carbon source includes a structure of black lead. The structure of black lead has an opening part which is a space for moving gas. [Reference numerals] (AA) Mixed gas(hydrogen-hydrocarbon); (BB) Filament; (CC) Black lead structure; (DD) Substrate;
Abstract translation: 目的：提供快速生长金刚石的方法及其装置，以通过使用HFCVD（热丝化学气相沉积）固定大面积薄膜。 构成：控制前体气体的流量以控制原子氢的浓度。 前体气体包括氢和烃。 HFCVD装置的室包括固体碳源。 固体碳源包括黑色铅的结构。 黑色铅笔的结构具有作为气体移动空间的开口部分。 （标号）（AA）混合气体（氢 - 烃）; （BB）灯丝; （CC）黑铅结构; （DD）基材;
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公开(公告)号：KR101072444B1
公开(公告)日：2011-10-11
申请号：KR1020080121776
申请日：2008-12-03
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은 (1) 세라믹입자및 기지상을포함하는혼합조성물을세라믹몸체에도포하여표면층을형성시키는단계; (2) 상기표면층에포함된기지상을제거하여불규칙한요철모양의표면층을형성시키는단계; 및 (3) 상기기지상이제거된표면층에다이아몬드막을증착시키는단계를포함하는다이아몬드막이코팅된세라믹몸체의제조방법에관한것이다.
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