基板处理方法和基板处理装置

    公开(公告)号:CN107871657A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201710873010.X

    申请日:2017-09-25

    Inventor: 金松泰范

    Abstract: 本发明涉及一种基板处理方法和基板处理装置,一边防止气泡卷入在基板的表面形成的图案的凹部,一边将填充剂良好地填充于凹部。基板处理方法包括:液膜形成工序,在基板中的形成有图案的图案形成面形成冲洗液的液膜;积液形成工序,在基板的旋转中心附近,向液膜供给有机溶剂来形成有机溶剂的积液;置换工序,一边使基板以与积液形成工序相比更大的转速旋转,一边向积液供给有机溶剂,从而将构成液膜的冲洗液置换为有机溶剂;涂敷工序,在被有机溶剂覆盖的图案形成面涂敷填充剂溶液;以及,填充工序,使在图案形成面涂敷的填充剂溶液所包含的填充剂,向图案的凹部下沉来进行填充。

    一种直灯管的喷涂工艺
    105.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107051850A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710240016.3

    申请日:2017-04-13

    Inventor: 吴定国

    CPC classification number: B05D7/225 B05D1/00 B05D1/002 B05D1/02 B05D3/0413

    Abstract: 本发明公开了一种直灯管的喷涂工艺,先在灯管内用硅胶涂覆一层硅胶层,并用40‑80℃烘烤10‑15min后,接着荧光粉喷涂液喷涂直灯管内部,其中荧光粉喷涂液:以重量计,荧光粉:聚氧乙烯:去离子水为3‑5:1‑2:10,荧光粉喷涂液喷涂直灯管时,直灯管的一端连接喷浆设备的喷浆口,另一端连接负压装置,喷涂过程中,直灯管以其轴线旋转,同时通入热风干燥10‑15min,涂覆硅胶层的方法和喷涂荧光粉喷涂液的方法一样。本发明能够将荧光粉均匀喷涂灯管内,防止荧光粉层直接和灯管接触,提高了荧光粉的附着均匀性,提高了LED出光质量。

    基板处理装置及方法

    公开(公告)号:CN105470123A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510642420.4

    申请日:2015-09-30

    CPC classification number: B05D1/002 H01L21/6708 H01L21/67075 H01L21/306

    Abstract: 在根据本发明构思的示例性实施例的装置和方法中,可使用两种或多种处理溶液处理基板。基板处理装置可包括:处理容器,所述处理容器提供有处理空间;基板支撑单元,所述基板支撑单元提供在所述处理容器中以支撑基板;和溶液供给单元,所述溶液供给单元将处理溶液提供至由所述基板支撑单元支撑的基板上。溶液供给单元可包括:刻蚀溶液供给喷嘴,所述刻蚀溶液供给喷嘴将刻蚀溶液提供至由所述基板支撑单元支撑的基板的边缘区域;和防刻蚀溶液(EPS)供给喷嘴,所述防刻蚀溶液供给喷嘴将防刻蚀溶液提供至由所述基板支撑单元支撑的基板的中央区域。因此,可以防止基板的中央区域变干。

Patent Agency Ranking