METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS
    102.
    发明申请
    METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS 审中-公开
    方法生产微型成分的

    公开(公告)号:WO00073056A1

    公开(公告)日:2000-12-07

    申请号:PCT/DE2000/001676

    申请日:2000-05-23

    Abstract: The invention relates to a method for producing microcomponents with at least one individual layer, which has functional layers (3) on the walls of inner structures such as flow channels. The aim of the invention is to produce microcomponents that are suitable for a variety of different applications in chemical reaction engineering, for heat-exchange applications, for mixing substances or for evaporating liquids. In particular, the inventive microcomponents should not present any problems in terms of the tightness of the flow channels. To this end, the inventive method comprises the following steps: A) producing the at least one individual layer by a) producing a first metal layer or metal film (1), b) forming the inner structures in and/or on said first metal layer or metal film (1) using suitable etching techniques and/or metal application techniques, and c) forming the functional layers (3) on the walls of the inner structures only, and then B) stacking and joining the one individual layer to a segment that closes the inner structures or joining several individual layers together and to the closing segment.

    Abstract translation: 所述工艺微通道的部件与至少一个层中产生后,内部结构的墙壁上的功能层(3)中,例如流动通道具有。 微组分以适合于各种各样的在化学反应技术不同的应用中,热交换,用于混合物质或用于蒸发液体。 特别是,微型不应有在流动通道的密封性方面的任何问题。 该方法包括以下方法步骤:a)通过一个准备所述至少一个单独的层)制备的第一金属层或金属箔(1),b)通过合适的蚀刻方法形成和/或在所述第一金属层或金属箔(1)的内部结构 和/或金属蒸镀法,和c)在所述功能层(3)仅在内部结构的)叠加,并用内部结构最终段或几个单独的层加入一个单独层一起的壁,并且此后B和到最后的段。

    流路の検査装置および方法
    104.
    发明专利
    流路の検査装置および方法 审中-公开
    信道检测设备和方法

    公开(公告)号:JP2015077656A

    公开(公告)日:2015-04-23

    申请号:JP2013216059

    申请日:2013-10-17

    Inventor: 井形 英資

    Abstract: 【課題】複数のプレートを接合層を介して接合し、中空のマイクロ流路を作製するときの接合層の硬化度を確認する。 【解決手段】少なくとも1つの基板に微細な溝を有する基板と他の基板を、光を照射して硬化度に応じた接触角を有する接着層を介して接合した中空の流路を有するデバイスにおいて、前記光の照射後に液体が存在しない状態の前記流路内を、毛管力により溶液が流れる速度を計測する工程、を有することを特徴とする流体デバイスの検査方法。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:通过用于制造中空微通道的接合层接合多个板时,确认接合层的硬度。解决方案:该装置包括通过将基板和其它基板接合而形成的中空通道,以及至少一个 通过经由具有根据固化度的接触角的粘合剂层照射光,基板具有细槽。 流体装置的检查方法包括在装置中在光辐射后不存在液体的状态下通过通道中的毛细管力测量溶液流动速度的步骤。

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