Abstract:
PURPOSE: An apparatus for cleaning a wafer having a blow nozzle on its cover is provided to prevent a cover from being contaminated and to prevent secondary contamination by the contaminated cover, by installing the blow nozzle temporarily disposed on a lower surface of the cover which covers the wafer. CONSTITUTION: A wafer(110) is placed on a spinner(120). A lower body supports the spinner. A revolving motor(124) drives the spinner, installed inside the lower body. A cleaning tip(130) has cleaning nozzles(132,134) which blow deionized water, a rinse liquid and gas on the spinner. A cover(140) includes a transfer unit for absorbing and transferring the wafer, vertically moving on the spinner. A reciprocating cylinder(150) vertically drives the cover. A blow nozzle(160) for blowing gas is temporarily disposed along a lower surface of the cover.
Abstract:
본 발명은 복수의 단위 집적회로 칩이 형성된 웨이퍼를 스크라이빙(scribing)할 때 발생되는 웨이퍼 부스러기를 완벽하게 제거할 수 있는 웨이퍼 소잉 장치에 관한 것으로, 이 장치는 적어도 하나의 스트리트에 의해 구분되는 복수의 단위 집적회로 칩이 형성된 웨이퍼를 단위 집적회로 칩으로 분리하기 위하여 스크라이빙하는 웨이퍼 소잉 장치에 있어서, 스트리트를 따라 진행하며 회전하는 절단날, 회전하는 절단날의 진행방향 측방에서 세정액을 분사할 때 절단날과 웨이퍼 표면에 세정액 함께 분사되도록 하는 분사각을 갖는 사이드 노즐과 절단날의 진행방향 전방에서 세정액을 분사하는 센터 노즐을 갖는 분사 수단, 및 회전하는 절단날에 의해 발생되는 웨이퍼 부스러기를 흡입하는 흡입 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 히터블록의 구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 리드 프레임패드를 히터블록에 실장하게 될 때 리드 프레임 패드에 형성된 버어에 의해 불량이 발생하는 것을 방지하기 위한 다운셋 부가 형성된 히터블록에 관한 것이다. 본 발명은, 리드 프레임에 구비된 리드 프레임 패드가 안착되기 위한 안착부가 형성된 히터블록에 있어서, 상기 리드 프레임 패드에 형성된 버어가 접촉되지 않도록 다운셋 부가 형성된 것을 특징으로 하는 다운셋 부가 형성된 히터블록을 제공한다. 따라서, 상기 전술한 바에 의하면, 리드 프레임 패드의 안착효과를 높임으로써 접착성을 향상시킴과 동시에 제조원가를 낮추어 생산성과 수율을 향상시키고 경쟁력을 향상시킬 수 있는 이점(利點)이 있다
Abstract:
본 발명은 복수의 단위 집적회로 칩이 형성된 웨이퍼를 스크라이빙(scribing)할 때 발생되는 웨이퍼 부스러기를 완벽하게 제거할 수 있는 웨이퍼 소잉 장치에 관한 것으로, 이 장치는 적어도 하나의 스트리트에 의해 구분되는 복수의 단위 집적회로 칩이 형성된 웨이퍼를 단위 집적회로 칩으로 분리하기 위하여 스크라이빙하는 웨이퍼 소잉 장치에 있어서, 스트리트를 따라 진행하며 회전하는 절단날, 회전하는 절단날의 진행방향 측방에서 세정액을 분사할 때 절단날과 웨이퍼 표면에 세정액 함께 분사되도록 하는 분사각을 갖는 사이드 노즐과 절단날의 진행방향 전방에서 세정액을 분사하는 센터 노즐을 갖는 분사 수단, 및 회전하는 절단날에 의해 발생되는 웨이퍼 부스러기를 흡입하는 흡입 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 멀티 칩 패키지의 제조시 사용되는 다이 본딩 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 멀티 칩 패키지를 제조하기 위한 다이 본딩 장치에 있어서, 리드 프레임의 패드가 안착되고, 다수의 리드를 밀착 접촉시키기 위한 경사부가 형성되어 있는 히터 블록과; 상기 히터 블록의 상부에 안착되고, 리드 프레임에 형성된 다수의 리드를 눌러주기 위한 돌출 경사부가 형성되어 있는 윈도우 클램프를 포함하는 것을 특징으로하는 멀티 칩 패키지를 제조하기 위한 다이 본딩 장치를 제공한다. 상기와 같은 본 발명의 구조에 의하면, 와이어 본딩시 발생하는 와이어의 단락 및 단선을 방지할 수 있는 효과가 있고, 멀티 칩 패키지 제조시 단차를 극복함으로써 작업능률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.