公开(公告)号：EP2194030A4

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：EP08791510

申请日：2008-07-24

Applicant: SHINETSU QUARTZ PROD ,  HERAEUS QUARZGLAS

Inventor： SATO TATSUHIRO ,  INAKI KYOICHI

IPC: C03C3/06 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C03B19/01 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/36 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68757 ,  Y02P40/57

Abstract: Provided is a doped quartz glass member for plasma etching, which is used in a plasma etching process and is free from any problematic fluoride accumulation during use. The quartz glass member for plasma etching is used as a jig for semiconductor production in a plasma etching process, and includes at least two or more kinds of metal elements in a total amount of 0.01 wt% or more to less than 0.1 wt%, in which the metal elements are formed of at least one kind of a first metal element selected from metal elements belonging to Group 3B of the periodic table and at least one kind of a second metal element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids.

Abstract translation: 提供了用于等离子体蚀刻的掺杂石英玻璃构件，其用于等离子体蚀刻工艺中，并且在使用期间没有任何有问题的氟化物积聚。 用于等离子体蚀刻的石英玻璃构件用作等离子体蚀刻工艺中的半导体制造的夹具，并且包括总量为0.01重量％以上至小于0.1重量％的至少两种以上的金属元素， 金属元素由选自属于周期表第3B族的金属元素中的至少一种第一金属元素和选自Mg，Ca，Sr等的至少一种第二金属元素形成， Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素。

公开(公告)号：EP2338845A1

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：EP10190541.2

申请日：2010-11-09

Applicant: Draka Comteq B.V.

Inventor： Boivin, David ,  Pastouret, Alain ,  Burov, Ekaterina ,  Gonnet, Cédric

IPC: C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C14/00 ,  C03C13/04 ,  H01S3/067 ,  H01S3/17

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C13/046 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/40 ,  H01S3/06729

Abstract: The invention relates to an amplifying optical fiber comprising a central core adapted to convey and amplify an optical signal, and an cladding surrounding the central core and adapted to confine the conveyed optical signal in the central core. The central core is formed of a core matrix containing nanoparticles, the nanoparticles comprising a nanoparticle matrix and rare-earth-dopant elements. The core matrix also includes an additional dopant. Furthermore, the concentration by weight of rare-earth-dopant elements in the central core lies in the range 200 ppm to 1000 ppm, the concentration by weight of the nanoparticle matrix in the central core lies in the range 0.5 wt% to 5 wt%, preferably in the range 1.5 wt% to 4 wt%, and the concentration by weight of the additional dopant in the central core lies in the range 1 wt% to 10 wt%.

Abstract translation: 本发明涉及在放大光纤，其包括中心纤芯angepasst到传输和放大光学信号，以及围绕所述中央纤芯和angepasst以限制在中央纤芯传送的光信号包层。 该中央核心中形成的芯基质含纳米颗粒的，所述纳米颗粒包含纳米颗粒基质和稀土掺杂物的元件。 因此，该芯基质包括掺杂剂以附加。 进一步，按重量计在该中央核心稀土掺杂剂元素的浓度在所述范围为200ppm至1000ppm，按重量计在该中央核心的纳米颗粒基质的浓度位于范围为0.5重量％〜5重量％ ，优选在1.5重量％至4重量％的范围内，和按重量计在该中央核心的附加掺杂剂的浓度处于范围1重量％〜10重量％。

公开(公告)号：EP2091115B1

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：EP09001888.8

申请日：2009-02-11

Applicant: Draka Comteq B.V.

Inventor： Burov, Ekaterina ,  Pastouret, Alain ,  Gasca, Laurent ,  Collet, Christine

IPC: H01S3/067

CPC classification number: H01S3/06754 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/58 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C13/045 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/40 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06716 ,  Y02P40/57

公开(公告)号：EP1207597A4

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：EP01941153

申请日：2001-06-21

Applicant: FURUKAWA ELECTRIC CO LTD

Inventor： AISO KEIICHI ,  TASHIRO YOSHIO ,  YAGI TAKESHI

IPC: G02B6/00 ,  H01S3/067 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036 ,  H01S3/06 ,  H01S3/10

CPC classification number: G02B6/03644 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  H01S3/0672 ,  H01S3/06729

Abstract: A light amplifying optical fiber capable of restricting a reduction in amplifying efficiency and non-linearity caused by the concentration quenching of erbium ions. At least one of rare earth elements, having an ion radius at least 70% and up to 130% of that of erbium and excluding erbium, for example, Yb, is added to the core portion of an erbium-ion-added light amplifying optical fiber.

公开(公告)号：EP1894896A1

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：EP07114836.5

申请日：2007-08-23

Applicant: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

Inventor： Sato, Tatsuhiro

IPC: C03B19/01 ,  C03B19/09 ,  C03C3/06 ,  C03C3/112 ,  C03C4/20 ,  C03C6/04 ,  C03C6/06

CPC classification number: C03C1/00 ,  C03B19/063 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/36 ,  C03C3/06 ,  C03C3/112 ,  C03C4/20 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/36

Abstract: In order to provide quartz glass which has excellent plasma corrosion resistance and can be used for semiconductor production, it is suggested to use a mixed quartz powder which is suitable for the production of the quartz glass. Furthermore, a production process for quartz glass using the quartz powder is provided. The mixed quartz glass powder containing from 0.1 to 20 mass % in total of two or more of dope elements, in which the dope element contains one or more of first elements selected from the group consisting of N, C and F and one or more of second elements selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids.

Abstract translation: 为了提供一种具有优异的等离子体的耐腐蚀性和可用于半导体生产的石英玻璃，建议使用混合石英粉所有这些是适合于生产的石英玻璃制成。 进一步，提供了用于使用所述石英粉的石英玻璃的制造方法。 混合石英玻璃粉末在总的两个或更多个，其中所述浓液元件包含一个或多个选自N，C和F以及一个或更多个的选择的第一元素的掺杂元素的含有0.1〜20质量％ 选自镁，钙，锶，钡，钪，Y，钛，锆，铪，镧系和锕的选择的第二元素。

公开(公告)号：EP1681276A1

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：EP05748813.2

申请日：2005-06-09

Applicant: SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

Inventor： SATO, T., SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD ,  YOSHIDA, N., SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD ,  ENDO, M., c/o SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  C03C3/095 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: As a jig material to use under plasma reaction for producing semiconductors, the present invention provides a quartz glass having resistance against plasma corrosion, particularly corrosion resistance against fluorine-based plasma gases, and which is usable without causing anomalies to silicon wafers; the present invention furthermore provides a quartz glass jig, and a method for producing the same. A quartz glass containing 0.1 to 20 wt% in total of two or more types of metallic elements, said metallic elements comprising at least one type of metallic element selected from Group 3B of the periodic table as a first metallic element and at least one type of metallic element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids as a second metallic element, provided that the maximum concentration of each of the second metallic elements is 1.0 wt% or less.

Abstract translation: 作为制造半导体的等离子体反应中使用的夹具材料，本发明提供一种具有耐等离子体腐蚀性，特别是耐氟基等离子体气体的耐腐蚀性的石英玻璃，可以在不产生硅晶片异常的情况下使用; 本发明还提供一种石英玻璃夹具及其制造方法。 含有0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，所述金属元素包含选自元素周期表第3B族的至少一种金属元素作为第一金属元素和至少一种 金属元素选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素作为第二金属元素，条件是每个第二金属元素的最大浓度为1.0 wt％以下。

公开(公告)号：EP1404624A1

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：EP02734413.4

申请日：2002-05-14

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： ANDERSON, Mark, T. ,  SCHARDT, Craig, R. ,  ONSTOTT, James, R. ,  DONALDS, Lawrence, J. ,  CHIARELI, Alessandra, O., P.

IPC: C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C23/00 ,  C03C25/60 ,  G02B6/22 ,  H01S5/00 ,  C03B37/018

CPC classification number: G02B6/03694 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01853 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/36 ,  C03C13/046 ,  C03C23/0095 ,  C03C25/608 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/52 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03655 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/173

Abstract: A method for manufacturing an optical article including the steps of providing a substrate tube; forming one or more cladding layers inside the substrate tube, the one or more cladding layers including an innermost cladding layer; forming a concentric fluorine reservoir adjacent to the innermost cladding layer; and forming a core adjacent to the fluorine reservoir and concentric with the one or more outer cladding layers. The fluorine concentration in the fluorine reservoir is higher than the fluorine concentration in either the core or the innermost cladding layer.

公开(公告)号：EP0588284B1

公开(公告)日：1998-12-02

申请号：EP93114685.6

申请日：1993-09-13

Applicant: Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH

Inventor： Langer, Alfred ,  Genz, Andreas, Dr. ,  Deisenhofer, Manfred ,  Kiele, Walter ,  Lewandowski, Bernd

IPC: C03C3/06 ,  C03C1/00 ,  H01J61/40

CPC classification number: H01J61/40 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/3423 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/10 ,  H01J61/302 ,  H01J61/34 ,  H01J61/827 ,  Y10S65/09

公开(公告)号：WO2014147062A1

公开(公告)日：2014-09-25

申请号：PCT/EP2014/055400

申请日：2014-03-18

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

Inventor： LANGNER, Andreas ,  SCHÖTZ, Gerhard ,  SUCH, Mario ,  SCHWERIN, Malte ,  TROMMER, Martin ,  GRIMM, Stephan ,  KALIDE, André ,  LEICH, Martin ,  JUST, Florian

IPC: C03B19/12 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G02B1/00

CPC classification number: C03C4/0071 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/54 ,  G02B6/00 ,  G02B6/02

Abstract: Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglas, das zusätzlich zu einer Dotierung mit Seltenen Erden und/oder Übergangsmetallen die Fluorierung des Quarzglases umfasst. Durch das beschriebene Verfahren lässt sich ein Ausdiffundieren er Dotanden während der Fluorierung verhindern. Weiterhin betrifft die Erfindung das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhältliche Quarzglas sowie dessen Verwendung als laseraktives Quarzglas, zur Erzeugung von lichtführenden Strukturen und für den Einsatz in optischen Anwendungen.

Abstract translation: 本发明描述了用于生产的石英玻璃，其包含，在除了与稀土和/或过渡金属，石英玻璃的氟化掺杂的方法。 所描述的方法，漫射它可以防止氟化过程中的掺杂剂。 此外，根据本发明的方法，熔融二氧化硅以及其作为激光活性石英玻璃的使用，用于制造导光结构和用于在光学应用获得的本发明有关。

公开(公告)号：WO2012037003A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：PCT/US2011/051158

申请日：2011-09-12

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  GRAY, Stuart ,  LI, Shenping ,  WANG, Ji

Inventor： GRAY, Stuart ,  LI, Shenping ,  WANG, Ji

IPC: C03C13/04 ,  C03C4/00 ,  C03B37/014 ,  H01S3/067

CPC classification number: C03B37/014 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/23 ,  C03C4/0071 ,  C03C13/047 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06733 ,  Y02P40/57

Abstract: Photodarkening resistant optical fiber lasing media and fiber lasers incorporating the same are disclosed. In one embodiment, an optical fiber lasing medium includes a core portion formed from silica-based glass comprising a rare-earth dopant and deuterium, the core portion having an index of refraction n c , a numerical aperture NA c . A concentration of defect color centers in the core portion is less than 1x10 16 /cm 3 . Deuterium is combined with the defect color centers to form reacted defect color centers that do not absorb ultraviolet and visible wavelengths of light. A first cladding portion is formed from silica-based glass, the first cladding portion surrounding and directly contacting the core portion and having an index of refraction n 1 , wherein the index of refraction n 1 of the first cladding portion is less than the index of refraction n c of the core portion. Methods of forming the photodarkening resistant optical fiber lasing media are also disclosed.

Abstract translation: 公开了防光纤光纤激光介质和结合光纤激光器的光纤激光器。 在一个实施例中，光纤激光介质包括由包含稀土掺杂剂和氘的二氧化硅基玻璃形成的芯部分，芯部分具有折射率nc，数值孔径NAc。 核心部分中缺陷颜色中心的浓度小于1×1016 / cm3。 氘与缺陷色中心结合，形成不吸收紫外和可见波长光的反应缺陷色中心。 第一包层部分由二氧化硅基玻璃形成，第一包层部分围绕并直接接触芯部并具有折射率n1，其中第一包层部分的折射率n1小于折射率nc 的核心部分。 还公开了形成光抗剥离光纤激光介质的方法。