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公开(公告)号：CN103487931A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310229267.3
申请日：2013-06-08
Applicant: VTT技术研究中心
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及微机械可调法布里-珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里-珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。
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公开(公告)号：CN101641580B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN200880000511.6
申请日：2008-06-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 柴山胜己
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/024 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/18
Abstract: 本发明涉及一种分光器，其在以封装件(3)的内壁面(27、29、28)限制本体部(4)朝背面(4b)的平行方向及垂直方向移动的状态下，以封装件(3)直接支撑分光模块，由此在谋求小型化的情形下，也可确实地支撑分光模块(2)，并充分确保封装件(3)的入射口(22a)、分光模块(2)的分光部(6)以及光检测元件(7)彼此的位置精度。另外，通过将导线(23)埋入封装件(3)中并以导线导出部(26)予以导出及支撑，在以引线接合法电连接导线(23)与光检测元件(7)时，可使封装件(3)的导线导出部(26)本身扮演基座的角色，并防止分光模块(2)的破损及移位等。
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公开(公告)号：CN103026191A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180035739.0
申请日：2011-07-14
Applicant: 第一太阳能有限公司
CPC classification number: H01L22/20 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0232 , G01J3/0286 , G01J3/28 , G01J3/44 , G01J3/4412 , G01J5/0846 , G01N21/65 , G01N2201/1211 , H01L31/0322 , H01L31/18
Abstract: 温度调整光谱仪包括光源、温度传感器和光谱分析器。光源被够造成朝着处理室内的基板位置将光沿着光路引导通过第一透镜；光谱分析器被够造成接收从处理室中的基板位置处的基板上的样品区域中的材料样品处散射的光；温度测量装置被构造成测量位于处理室中的基板位置处的基板上的材料样品的温度。另外，由校准模块通过测量的温度来校正光谱以提供温度经调整的光谱。
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公开(公告)号：CN102759401A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210127480.9
申请日：2012-04-27
Applicant: 赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司
Inventor： T.耶内克
CPC classification number: G01J3/10 , G01J3/0286 , G01J3/0291
Abstract: 一种用于光谱分析装置的已知灯模块包括灯座体，该灯座体具有空腔，用于容纳具有由合成石英玻璃制成的灯泡的氘灯。该空腔具有用光学透射元件封闭的光束输出开口。为了提供一种具有带臭氧滤波器的氘灯的灯模块，该灯模块呈现出长的使用寿命，可以经济地制造，并且确保了190nm和250nm之间的波长范围中的高强度，为这种已知的灯模块在光束输出开口中光学透射元件面对氘灯的一侧上提供VUV边缘滤波器。
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公开(公告)号：CN102265133A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152429.X
申请日：2009-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/15 , G01J1/04 , G01J3/02 , G01J3/0254 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01N21/0332 , G01N21/255 , G01N21/474 , G01N21/645 , G01N2021/158 , G01N2021/6419 , G01N2021/6471 , G01N2021/6484 , G01N2201/065 , G01N2201/0833
Abstract: 本发明提供的一种光谱测定装置，具备将测定对象的试料(S)配置在内部而观测从试料(S)产生的被测定光的积分球(20)，以及用于保持对试料(S)进行冷却的冷媒(R)，并且以至少一部分面对所述积分球(20)内的方式定位的杜瓦瓶(50)。通过起到气体导入通路作用的规定间隙(G1～G6)和在支撑台(61)形成的多个连通路(64)，将从冷媒(R)产生的气体导入到积分球(20)内。导入到积分球(20)内的气体吸收积分球(20)内的水分并降低积分球(20)内的温度，防止在杜瓦瓶(50)的第2容器部(50b)中的从积分球(20)内露出的部分出现结露。由此，即使在对冷却到所需温度的状态的试料(S)进行测定的情况下，也可以防止结露的出现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102027343A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980117552.8
申请日：2009-05-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0286 , G01J3/0297 , G01J2003/1213 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , G02B5/1861 , G02B7/025 , G02B27/4244
Abstract: 本发明所涉及的分光模块(1)具备使从前表面(2a)入射的光(L1)透过的基板(2)、使入射到基板(2)的光(L1)透过的透镜部(3)、对入射到透镜部(3)的光(L1)进行分光并且反射的分光部(4)、以及检测由分光部(4)进行反射的光(L2)的光检测元件(5)。在基板(2)上设置有相对于成为用于定位光检测元件(5)的基准部的对准定位标记(12a、12b)等而具有规定的位置关系的凹部(19)，透镜部(3)被嵌合于凹部(19)。根据分光模块(1)，仅通过将透镜部(3)嵌合于凹部(19)，从而能够实现分光部(4)与光检测元件(5)的被动对准定位。
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公开(公告)号：CN101617219A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200880005951.0
申请日：2008-02-22
Applicant: 塞莫尼根分析技术有限责任公司
CPC classification number: G01J3/12 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/0264 , G01J3/0272 , G01J3/0283 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/0297 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/443 , G01N21/33 , G01N21/67 , G01N21/718 , G01N2201/0221
Abstract: 用于分析样本的成分的手持、自容式、电池供电的测试仪器包括用于激发样本的至少一部分的激发器、用于接收来自样本被激发部分的光信号的交叉色散光谱仪和用于处理关于来自光谱仪的光信号的光谱数据的处理器。激发器可包括火花发生器和反电极、激光或其他用于从样本的一部分生成光信号的设备。光谱仪具有足够宽的波长范围以使测试仪器能够探测并确定碳、磷、硫、锰、硅、铁和其他识别常见合金所必要的元素的相对含量。光谱仪包括由重量轻的材料制成的结构件，这种材料具有小的热膨胀系数(CTE)。光谱仪在期望的环境温度范围内结构稳定，不需要控制光谱仪的温度。
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公开(公告)号：CN101583857A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200780049736.6
申请日：2007-12-07
Applicant: SAS光子学有限责任公司
CPC classification number: G01J3/4535 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0286
Abstract: 一种傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪(1)包括固定组件(40)，其包括相互固定定位的外壳(41)，分束器(4)，以及镜子(9)。活动组件(22)包括相互固定定位的外壳(21)，镜子(8)，以及电动机线圈(25)。第一板簧(27a)具有用于为经过其中的射线提供无障碍光学路径的开口。第一板簧的第一端固定到固定组件，并且第一板簧的第二端固定到活动组件，用于经由第一板簧为活动组件提供相对于固定组件的运动。固定组件的分束器、镜子和活动组件的镜子之间的光学关系被保持成独立于活动组件和固定组件之间的距离。
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公开(公告)号：CN100354699C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN02818387.8
申请日：2002-08-02
Applicant: 伊吉斯半导体公司
CPC classification number: G02B6/4246 , G01J3/0286 , G01J3/26 , G01N21/251 , G02B6/29311 , G02B6/29358 , G02B6/29361 , G02B6/29367 , G02B6/29395 , G02B6/29398 , G02B6/4204 , G02B6/4206 , G02B6/4214 , G02B6/4215 , G02B6/4224 , G02B6/4225 , G02B6/4249 , G02B6/4251 , G02B6/4263 , G02B6/4266 , G02B6/4286 , G02F1/0121 , G02F1/0147 , G02F1/218 , G02F2001/213 , G02F2202/103 , G02F2202/104 , G02F2203/055
Abstract: 一种光学仪器，可以包括一个可调谐自由空间滤波器作为波长选择器。该可调谐自由空间滤波器可以是一个可调谐薄膜滤波器(TTFF)。该TTFF可以是热-光可调谐的。该可调谐滤波器可以是一种多层膜结构，其间插有薄膜半导体材料。TTFF的温度，因而其波长可以用各种加热和冷却结构来控制。也可以有各种TTFF结构。TTFF结构可以有一种单腔法布里-珀罗结构或可以有一种多腔结构。也能包括校准附件，如象一个或多个已知波长信号的外部源，或一个或多个已知波长信号的内部源。该仪器还可以包括一个被动干涉测量波长参照，一个测量热-光可调谐TTFF温度的装置以确定波长，以及一个光检测器。
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公开(公告)号：CN1996075A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200610082605.5
申请日：2006-05-18
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B6/2706 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G02B6/2766 , G02B6/29311 , G02B6/29313 , G02B6/2938 , G02B6/3512 , G02B6/3548 , G02B6/356 , G02B6/3582 , G02B6/4215
Abstract: 波长选择装置。装配有框体(20)，用于从侧面支承波长选择装置的平台，所述波长选择装置包括：输入/输出端口(10)、准直仪(11)、扩展光学系统(12)、分光元件、汇聚光学系统(14)以及微机电系统(MEMS)反射镜阵列(15)。因为上述提及的光学元件是仅从侧面支承的，所以热膨胀的影响被限制到该光学元件的高度方向和光学轴方向上。通过这些方面，热膨胀的影响可从三维被限制到二维，由此能够设计出对抗热膨胀的影响的措施。另外，从侧面支承不会产生阴影区，从而使得该波长选择装置紧凑。
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