KONTINUIERLICHES SOL-GEL-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICATHALTIGEN GLÄSERN ODER GLASKERAMIKEN
    124.
    发明公开
    KONTINUIERLICHES SOL-GEL-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICATHALTIGEN GLÄSERN ODER GLASKERAMIKEN 无效
    用于制造含硅酸盐玻璃或玻璃陶瓷的连续溶胶凝胶法

    公开(公告)号:EP3281920A1

    公开(公告)日:2018-02-14

    申请号:EP16184064.0

    申请日:2016-08-12

    Abstract: Vorgeschlagen wird ein kontinuierliches Sol-Gel-Verfahren zur Herstellung von silicathaltigen Gläsern und Glaskeramiken, umfassend die folgenden Schritte:
    (a) kontinuierliches Eindosieren eines Siliciumtetraalkoxids, eines Siliciumalkoxids mit wenigstens einer nicht alkoholischen funktionellen Gruppe und eines Alkohols in einen ersten Reaktor (R1) sowie wenigstens anteilige Hydrolyse durch Zugabe einer Mineralsäure unter Erhalt eines ersten Produktstroms (A);
    (b) kontinuierliche Bereitstellung eines zweiten Produktstroms (B), in einem zweiten Reaktor (R2), durch Eindosieren einer Metallalkoxidkomponente oder kontinuierliches Vermischen eines Alkohols und einer Metallalkoxidkomponente;
    (c) kontinuierliches Vermischen der Produktströme (A) und (B) in einem dritten Reaktor (R3) zur Erzeugung eines Präsols unter Erhalt eines dritten Produktstroms (C);
    (d) kontinuierliche Zugabe von Wasser oder einer verdünnten Säure zum Produktstrom (C) unter Erhalt eines Sols (Gelierung);
    (e) kontinuierliches Abfüllen des austretenden Sols in Formen unter Erhalt eines Aquagels;
    (f) Trocknen der Aquagele unter Erhalt von Xerogelen;
    (g) Sinterung der Xerogele unter Erhalt von silicathaltigen Gläsern oder silicathaltigen Glaskeramiken.

    Abstract translation: 公开的是用于含硅酸盐玻璃和玻璃陶瓷的制备连续的溶胶 - 凝胶方法,包括以下步骤:(a)连续计量一个Siliciumtetraalkoxids,硅醇盐具有至少一种非酒精性官能团和在第一反应器(R1)的醇与 通过加入无机酸至少部分水解以得到第一产物流(A); (b)通过计量金属醇盐组分或连续混合醇和金属醇盐组分,在第二反应器(R2)中连续提供第二产物料流(B); (c)在第三反应器(R3)中连续混合产物流(A)和(B)以产生脯氨酸以产生第三产物流(C); (d)向产物流(C)中连续加入水或稀酸以得到溶胶(胶凝); (e)将新出现的溶胶连续填充到模具中以获得水凝胶; (f)干燥水凝胶以得到干凝胶; (g)烧结干凝胶以获得含硅酸盐玻璃或含硅酸盐玻璃陶瓷。

    Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
    126.
    发明公开
    Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung 审中-公开
    坯件制成掺钛二氧化硅玻璃的用于其制备在EUV光刻中使用的镜基板,以及方法

    公开(公告)号:EP2960219A1

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:EP14174699.0

    申请日:2014-06-27

    Abstract: Bei Rohlingen aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie ist üblicherweise eine optisch genutzte Fläche CA definiert. Innerhalb von CA zeigt der thermische Ausdehnungskoeffizient CTE ein über die Rohling-Dicke gemitteltes, zweidimensionales dCTE-Verteilungsprofil, bei dem die maximale Inhomogenität dCTE max , definiert als Differenz zwischen einem Inhomogenitäts-Maximalwert und einem Inhomogenitäts-Minimalwert, weniger als 5 ppb/K beträgt. Es ist bekannt, hohe CTE-Inhomogenitätswerte durch individuell angepasste, ortsabhängige Einstellung der Titandioxid-Konzentration zu vermeiden. Vergleichsweise hohe absolute CTE-Inhomogenitätswerte sind nur akzeptabel, sofern die im Einsatz auftretenden Bestrahlungsprofile Kreissymmetrie haben. Um hiervon ausgehend einen Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas bereitzustellen, der auch ohne individuell angepasste, ortsabhängige Einstellung der Titandioxid-Konzentration für den Einsatz mit nicht-kreisrundem Bestrahlungsprofil ausgelegt und geeignet ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass dCTE max mindestens 0,5 ppb/K beträgt, und dass CA eine nicht-kreisrunde Fläche mit einem Flächenschwerpunkt bildet, wobei das dCTE-Verteilungsprofil nicht rotationssymmetrisch und über CA derart definiert ist, dass gerade und auf eine Einheitslänge normierte Profilschnitte durch den Flächenschwerpunkt eine dCTE-Kurvenschar ergeben, die ein Kurvenband mit einer Bandbreite von weniger als 0,5 x dCTE max bilden.

    Abstract translation: 在掺杂钛的石英玻璃用于在EUV光刻中使用的镜基板的坯料,其光学使用区域CA通常定义。 内的热膨胀CA系数CTE是在坯料的厚度平均,二维DCTE分布,其中的最大不均匀性DCTE max时,定义为不均匀性最大值和不均匀性最小值小于5ppb的之间的差/ K是轮廓 , 已知的是通过将二氧化钛浓度的定制的,依赖于位置的设置,避免高CTEInhomogenitätswerte。 相对高的绝对CTEInhomogenitätswerte仅可以接受的是,在利用辐射轮廓发生具有圆形对称。 向该基础提供由掺杂钛的石英玻璃,其也被设计成没有二氧化钛的浓度为具有非圆形照射轮廓和合适的使用的定制的,依赖于位置的设置的空白,它是根据本发明提出,DCTE最大值至少为0.5 ppb的/ K是,且该CA形成具有质心,其中所述DCTE分布轮廓定义为不旋转对称的和CA以便得到DCTE曲线直的,并且在通过重力的区域中心,弯曲带,一个单元长度归一化的轮廓截面的非圆形表面 具有小于0.5×DCTE最大的带宽形成。

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