-
公开(公告)号：EP1676124A1
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：EP04774958.5
申请日：2004-09-21
Applicant: Staalkat International B.V.
Inventor： VAN SOEST, Robert
CPC classification number: G01N33/025 , G01N21/8806 , G01N21/951 , G01N33/08 , G01N2201/06 , G01N2201/06126
Abstract: A device (1) for inspecting objects with a substantially spherical surface, such as for example eggs or fruit, comprises optical observation means (8) for observing the objects. The device has a supporting surface (10) for supporting the objects. There is a light source for illuminating the objects. The device also comprises a box (2) with reflective walls (3a, 4b and 4a shown) which is positioned above the supporting surface (11). The light source and the observation means (8) are accomadated in the box (2). A plurality of objects can be placed next to one another on the supporting surface (10) and can be illuminated equally well.
-
公开(公告)号：KR102238741B1
公开(公告)日：2021-04-12
申请号：KR1020150001090A
申请日：2015-01-06
Applicant: 삼성디스플레이 주식회사
CPC classification number: G01N21/88 , G01N21/84 , G01N2201/06
Abstract: 표시 패널의 발광 상태 측정 방법은, 카메라의 촬영 범위가 표시 패널의 하나의 분할 영역을 포함하도록 카메라의 위치를 설정하는 단계, 카메라가 하나의 분할 영역을 촬영하여 인식 패턴 촬영 결과를 생성하는 단계, 카메라가 하나의 분할 영역을 촬영하여 단색 촬영 결과를 생성하는 단계, 인식 패턴 촬영 결과에 기초하여 단색 촬영 결과를 수정하여 하나의 분할 영역에 상응하는 수정된 단색 촬영 결과를 생성하는 단계, 복수의 분할 영역들에 상응하는 복수의 수정된 단색 촬영 결과들을 모두 생성할 때까지 상기 단계들을 반복하는 단계 및 복수의 수정된 단색 촬영 결과들을 조합하여 표시 패널의 전체 단색 촬영 결과를 생성하는 단계를 포함한다.
-
公开(公告)号：JP6408259B2
公开(公告)日：2018-10-17
申请号：JP2014119136
申请日：2014-06-09
Applicant: 株式会社キーエンス
Inventor： 木戸 学
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/8803 , G01N21/8851 , G01N2201/06 , G01S3/7864 , G06T7/0004 , G06T7/586 , G06T2207/10152 , G06T2207/30164
-
公开(公告)号：JP6290720B2
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：JP2014119099
申请日：2014-06-09
Applicant: 株式会社キーエンス
Inventor： 眞弓 典正
CPC classification number: H04N13/207 , G01N21/88 , G01N21/8803 , G01N21/8806 , G01N2201/06 , G06K9/18 , G06T7/0004 , G06T7/586 , G06T2207/10016 , G06T2207/10152 , G06T2207/20016 , G06T2207/30164 , H04N5/2256
-
公开(公告)号：JP2017516075A
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：JP2016557933
申请日：2015-03-20
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション , ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： アムノン マナッセン , アムノン マナッセン , アンディ ヒル , アンディ ヒル , アヴィ アブラモフ , アヴィ アブラモフ
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/8806 , G01J3/02 , G01N21/47 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95623 , G01N2021/8848 , G01N2201/06 , G03F7/70633
Abstract: スペクトル範囲および/または偏光に対して計測目標の照明をパターン形成し、パターン形成された照明によって計測目標を照明し、収集パターンを瞳面の画素へ適用することによって瞳面において選択された瞳面の画素をそれぞれの単一の検出器90へ向けることによって目標から散乱された放射を測定する方法およびシステムが提供される。単一の検出器90の測定(圧縮センシング)は、照明をパターン形成するために利用される光感度を増加させ、さらに所定の計測パラメータに関して検出された散乱された放射の情報の内容を強化した。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2007509341A
公开(公告)日：2007-04-12
申请号：JP2006536465
申请日：2004-09-21
Applicant: スタールカット インターナショナル ベスローテン フェンノートシャップ
Inventor： スースト，ロベルト ファン
CPC classification number: G01N33/025 , G01N21/8806 , G01N21/951 , G01N33/08 , G01N2201/06 , G01N2201/06126
Abstract: 例えば、卵または果物のような実質的な球面を有する物体を検査するためのデバイス（１）であり、物体を観察するための光学的観察手段（８）を備える。 デバイスは、物体を支持するための支持面（１０）を有する。 物体を照明するための光源が設置されている。 デバイスは、また、支持面（１１）上に位置する反射壁部（３ａ，４ｂ，４ａ）を含むボックス（２）を備える。 光源および観察手段（８）はボックス（２）内に収容されている。 複数の物体を支持面（１０）上に相互に隣接して置くことができ、うまく均一に照明することができる。
【選択図】図１-
公开(公告)号：TW201802432A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109934
申请日：2017-03-24
Applicant: 統一半導體公司 , UNITY SEMICONDUCTOR
Inventor： 費瑞絲括特 吉里斯 , FRESQUET, GILLES , 寇提維黎 艾倫 , COURTEVILLE, ALAIN , 格斯塔多 飛利浦 , GASTALDO, PHILIPPE
CPC classification number: G01N21/8806 , G01B11/24 , G01B2210/50 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/06 , G02B21/0032 , G02B21/0064 , H01L22/12
Abstract: 本發明係有關於一種用於檢測一例如是晶圓的物件(10)的表面之共焦彩色裝置，其係包括複數個具有採集孔徑(14)的光學量測通道，該些採集孔徑(14)係被配置以用於透過一色差透鏡(13)來採集在複數個量測點(15)被該物件(10)所反射的光、以及一放大透鏡(31)，其係被配置以用於在該些採集孔徑(14)以及該些量測點(15)的空間的再區分之間引入一可變或是可改變的縮放因數。 本發明亦有關於一種用於檢測一例如是包括三維的結構(11)的晶圓的物件(10)的表面之方法。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于一种用于检测一例如是晶圆的对象(10)的表面之共焦彩色设备，其系包括复数个具有采集孔径(14)的光学量测信道，该些采集孔径(14)系被配置以用于透过一色差透镜(13)来采集在复数个量测点(15)被该对象(10)所反射的光、以及一放大透镜(31)，其系被配置以用于在该些采集孔径(14)以及该些量测点(15)的空间的再区分之间引入一可变或是可改变的缩放因子。 本发明亦有关于一种用于检测一例如是包括三维的结构(11)的晶圆的对象(10)的表面之方法。
-
公开(公告)号：KR20180029034A
公开(公告)日：2018-03-19
申请号：KR20187001010
申请日：2015-09-01
CPC classification number: G01N21/274 , G01N1/24 , G01N1/38 , G01N21/766 , G01N33/0013 , G01N2001/247 , G01N2201/06
Abstract: 오존에의한화학발광법을이용하여시료중의질소를정량분석하는방법이며, 한층고정밀도로질소농도를측정할수 있는질소의분석방법, 및당해분석방법을실시하기위한질소분석장치를제공한다. 또한, 연료관련시료중의질소를분석할때도, 인체에대한영향이없고, 환경부하도한층저감시킬수 있는질소의분석방법및 질소분석장치를제공한다. 질소화합물을함유하는시료를연소시키고, 얻어진시료가스와오존을반응시켜그 화학발광강도를측정하고, 화학발광강도와질소중량과의관계를나타내는미리작성된검량선에기초하여시료중의질소농도를정량하는질소의분석방법에있어서, 검량선으로서, 질소농도 5 내지 100ppm의표준시료로부터미리작성된검량선을사용하고, 시료로서, 용매로질소농도 5 내지 100ppm으로희석된희석시료를사용한다.
Abstract translation: 通过使用臭氧的化学发光法定量分析样品中的氮的方法和能够以更高精度测量氮浓度的氮分析方法和用于执行分析方法的氮分析装置。 另外，在分析燃料相关试样中的氮时，提供了对人体没有影响的氮分析方法和氮分析装置，并且可以进一步降低环境负荷。 燃烧含有氮化合物的样品，并通过将得到的样品气体和臭氧测量化学发光强度进行反应，并且基于示出了用于氮浓度的样品中的化学发光测定强度和氮的重量之间的关系的现成的校准曲线上 在氮的分析方法中，作为校准曲线，使用从5的氮浓度至100ppm的的标准样品预先准备的校正曲线，和，作为样品，并使用稀释的样品为5的氮浓度，以作为溶剂为100ppm稀释。
-
公开(公告)号：KR1020160135769A
公开(公告)日：2016-11-28
申请号：KR1020167028947
申请日：2015-03-20
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
CPC classification number: G01N21/8806 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/2823 , G01N21/47 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95623 , G01N2021/8848 , G01N2201/06 , G03F7/70633
Abstract: 계측타겟의조명을스펙트럼범위및/또는편광과관련하여패터닝하고, 패터닝된조명으로계측타겟을조명하며, 그리고수집패턴을동공평면픽셀에적용함으로써, 동공평면에서, 선택된동공평면픽셀을각각의단일검출기(들)로지향시키는것에의해서타겟으로부터산란된복사선을측정하는방법및 시스템이제공된다. 단일검출기측정(압축감지)이광 감도를증가시켰고, 그러한광 감도는조명을패터닝하기위해서그리고미리규정된계측매개변수와관련하여검출된산란복사선의정보콘텐츠를추가적으로향상시키기위해서이용된다.
Abstract translation: 提供了方法和系统，其针对光谱范围和/或偏振来对计量目标进行照明，通过图案化照明照亮度量目标，并且通过在瞳孔平面指导所选择的瞳孔来测量从目标散射的辐射 通过将收集图案应用于瞳孔平面像素，从一个或多个单个检测器的平面像素。 单个检测器测量（压缩感测）具有增加的光敏度，其用于对照明进行图案化，并且相对于预定义的度量参数进一步增强检测到的散射辐射的信息内容。
-
公开(公告)号：KR1020160084726A
公开(公告)日：2016-07-14
申请号：KR1020150001334
申请日：2015-01-06
Applicant: 한화테크윈 주식회사
Inventor： 강민수
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/55 , G01N21/95 , G01N2021/8809 , G01N2021/8845 , G01N2021/8887 , G01N2201/06
Abstract: 불량검출장치가제공된다. 본발명의일 실시예에따른불량검출장치는, 제1 파장의광을시료의상면에제공하고제2 파장의광을상기시료의하면에제공하는조명부; 상기제1 및제2 파장의광을상기시료로반사시키고, 상기시료에서재반사된제1 및제2 파장의광을투과시키는스플리터; 상기스플리터를투과한제1 파장의광과제2 파장의광을결상위치로결상시키는결상렌즈; 및상기결상된제1 및제2 파장의광을인가받아상기시료의영상을획득하는카메라를포함한다.
Abstract translation: 提供了能够使用一个照相机获得样品的上表面和底面的缺陷检查装置。 根据本发明的实施例，缺陷检查装置包括：照明单元，用于向样品的顶表面提供具有第一波长的光，并将具有第二波长的光提供到样品的底表面; 用于以第一波长反射光的分光器和具有第二波长的光，透射具有第一波长的光和再次由样品反射的具有第二波长的光; 成像透镜，用于将具有第一波长的光成像，并且将具有第二波长的光透射通过分离器到成像位置; 以及照相机，通过接收具有第一波长的成像光和具有第二波长的成像光来获得样品的图像。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
138
records
(took 0.027 seconds)
