公开(公告)号：KR1020050031725A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020030067973

申请日：2003-09-30

Applicant: 전자부품연구원 ,  유일광통신 주식회사

Inventor： 박광범 ,  김선주

IPC: G02B26/08

Abstract: A multi channel optical switch and a method of manufacturing the same are provided to align a PLC device easily with a substrate where a MEMS device is formed, and to accord all optical axes of multi channels. Horizontal concave grooves and vertical concave grooves are formed on a substrate. A MEMS device(70) including a micro actuator and a micro mirror moving straightly by the operation of the micro actuator is formed in each space surrounded by the concave grooves. A silica substrate and a waveguide(55) of a PLC(Planar Lightwave Circuit) device projected from the silica substrate are inserted into the horizontal and vertical concave grooves of the MEMS device, and an outer line of the waveguide coincides with an outer line of the MEMS device. Edges of the substrate where the PLC device and the MEMS device are formed, are adhered.

Abstract translation: 提供了一种多通道光开关及其制造方法，用于将PLC器件与形成有MEMS器件的基板轻松对准，并使多通道的所有光轴均匀。 在基板上形成水平凹槽和垂直凹槽。 在由凹槽包围的每个空间中形成包括微​​致动器和通过微致动器的操作直线移动的微镜的MEMS装置（70）。 将二氧化硅基板和从二氧化硅基板突出的PLC（平面光波电路）装置的波导（55）插入MEMS装置的水平和垂直凹槽中，并且波导的外线与外部线 MEMS器件。 形成PLC装置和MEMS装置的基板的边缘被粘接。

公开(公告)号：KR100453975B1

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：KR1020020065568

申请日：2002-10-25

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕

IPC: G02B5/28

Abstract: PURPOSE: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter and an apparatus for analyzing a gas by using the same are provided to measure the components and concentration of the gas by detecting the wavelengths of the light subsequently. CONSTITUTION: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter includes a substrate(10), a first etching stop layer(11), a first mirror(21), a sacrificial layer(12), a second mirror(22), a second etching stop layer(13), a circular coil pattern, a first electrode terminal(31), a coil insulating layer(15), a second electrode terminal(32) and a permanent magnet. The substrate(10) is etched at a predetermined region. The first etching stop layer(11) is formed on the top of the substrate(10). The first mirror(21) is formed on top of the first etch stop layer(11) and the sacrificial layer(12) is formed on top of the first mirror(21) to expose the first mirror(21). The second mirror(22) encompasses the top and side of the sacrificial layer(12). The second etching stop layer(13) is formed on top of the second mirror(22). The circular coil pattern is formed on top of the second etch stop layer(13). The first electrode terminal(31) is connected to one side of the circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). The coil insulating layer(15) exposes portions of the first electrode terminal(31) and the circular coil pattern. The second electrode terminal(32) is connected to the exposed circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). And, the permanent magnet is aligned at the top side spaced apart from the circular coil pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种非常小型的磁力驱动的法布里 - 珀罗滤波器和一种用于通过使用该装置分析气体的装置，以通过随后检测光的波长来测量气体的成分和浓度。 （10），第一蚀刻停止层（11），第一反射镜（21），牺牲层（12），第二反射镜（22），第二反射镜 ，第二蚀刻停止层（13），圆形线圈图案，第一电极端子（31），线圈绝缘层（15），第二电极端子（32）和永磁体。 衬底（10）在预定区域被蚀刻。 第一蚀刻停止层（11）形成在衬底（10）的顶部上。 第一反射镜（21）形成在第一蚀刻停止层（11）的顶部，并且牺牲层（12）形成在第一反射镜（21）的顶部以暴露第一反射镜（21）。 第二反射镜（22）包围牺牲层（12）的顶部和侧面。 第二蚀刻停止层（13）形成在第二反射镜（22）的顶部上。 圆形线圈图案形成在第二蚀刻停止层（13）的顶部上。 第一电极端子（31）连接到圆形线圈图案的一侧并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 线圈绝缘层（15）露出第一电极端子（31）的一部分和圆形线圈图案。 第二电极端子（32）连接到暴露的圆形线圈图案并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 并且，永磁体在与圆形线圈图案间隔开的顶侧处对齐。

公开(公告)号：KR1020040036967A

公开(公告)日：2004-05-04

申请号：KR1020020065568

申请日：2002-10-25

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕

IPC: G02B5/28

Abstract: PURPOSE: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter and an apparatus for analyzing a gas by using the same are provided to measure the components and concentration of the gas by detecting the wavelengths of the light subsequently. CONSTITUTION: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter includes a substrate(10), a first etching stop layer(11), a first mirror(21), a sacrificial layer(12), a second mirror(22), a second etching stop layer(13), a circular coil pattern, a first electrode terminal(31), a coil insulating layer(15), a second electrode terminal(32) and a permanent magnet. The substrate(10) is etched at a predetermined region. The first etching stop layer(11) is formed on the top of the substrate(10). The first mirror(21) is formed on top of the first etch stop layer(11) and the sacrificial layer(12) is formed on top of the first mirror(21) to expose the first mirror(21). The second mirror(22) encompasses the top and side of the sacrificial layer(12). The second etching stop layer(13) is formed on top of the second mirror(22). The circular coil pattern is formed on top of the second etch stop layer(13). The first electrode terminal(31) is connected to one side of the circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). The coil insulating layer(15) exposes portions of the first electrode terminal(31) and the circular coil pattern. The second electrode terminal(32) is connected to the exposed circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). And, the permanent magnet is aligned at the top side spaced apart from the circular coil pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种非常小尺寸的磁力驱动的法布里 - 珀罗过滤器和用于通过使用它们分析气体的装置，以通过随后检测光的波长来测量气体的组分和浓度。 构成：非常小尺寸的磁力驱动法布里 - 珀罗滤波器包括基板（10），第一蚀刻停止层（11），第一反射镜（21），牺牲层（12），第二反射镜（22） ，第二蚀刻停止层（13），圆形线圈图案，第一电极端子（31），线圈绝缘层（15），第二电极端子（32）和永磁体。 衬底（10）在预定区域被蚀刻。 第一蚀刻停止层（11）形成在基板（10）的顶部上。 第一反射镜（21）形成在第一蚀刻停止层（11）的顶部，牺牲层（12）形成在第一反射镜（21）的顶部上以露出第一反射镜（21）。 第二反射镜（22）包围牺牲层（12）的顶部和侧面。 第二蚀刻停止层（13）形成在第二反射镜（22）的顶部。 圆形线圈图案形成在第二蚀刻停止层（13）的顶部。 第一电极端子（31）连接到圆形线圈图案的一侧并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 线圈绝缘层（15）露出第一电极端子（31）和圆形线圈图案的部分。 第二电极端子（32）连接到暴露的圆形线圈图案并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 并且，永磁体在与圆形线圈图案间隔开的顶侧处对准。

公开(公告)号：KR1020030083930A

公开(公告)日：2003-11-01

申请号：KR1020020022332

申请日：2002-04-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 김건년 ,  박광범 ,  박준식 ,  이경일 ,  박효덕

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/03 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00015 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00388 ,  B81C1/00555

Abstract: PURPOSE: A thermal micro actuator and a method for fabricating the same are provided to amplify displacement of the thermal micro actuator by installing an arch bar at end portions of two arch bars. CONSTITUTION: A thermal micro actuator includes a substrate(50). A first electrode(51), a ground electrode(52) and a second electrode(53) are fixed to the substrate(50) in such a manner that they are parallel spaced by a predetermined distance. A first arch bar(54) extends from the first electrode(51) and the ground electrode(52). A second arch bar(55) extends from the second electrode(53) and the ground electrode(52). A third arch bar(56) extends from end portions of the first and second arch bars(54,55). A front section(58) extends from a center(57) of the third arch bar(56).

Abstract translation: 目的：提供一种热微致动器及其制造方法，用于通过在两个拱杆的端部安装拱杆来放大热微致动器的位移。 构成：热微致动器包括衬底（50）。 第一电极（51），接地电极（52）和第二电极（53）以平行间隔预定距离的方式固定到基板（50）。 第一拱杆（54）从第一电极（51）和接地电极（52）延伸。 第二拱杆（55）从第二电极（53）和接地电极（52）延伸。 第三拱杆（56）从第一和第二拱杆（54,55）的端部延伸。 前部（58）从第三拱杆（56）的中心（57）延伸。

公开(公告)号：KR1020030042941A

公开(公告)日：2003-06-02

申请号：KR1020010073828

申请日：2001-11-26

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 김혜경 ,  최성호 ,  박광범 ,  문현찬

IPC: G02B27/01

Abstract: PURPOSE: A micro display using pressure is provided to improve an adhesive characteristic by using a pressure chamber for forming the pressure and a pressure release button for releasing the pressure. CONSTITUTION: An optical system(15) is used for magnifying a real image formed on a panel(13). A micro display unit(3) is used for forming the magnified image on a user's retina. A pressure chamber(5) is used for applying a pressure on a surface of a mounting position of a transparent body(9) when the micro display unit is mounted on the surface of the transparent body located at a front side of the user's eyeballs. In addition, the pressure chamber is used for applying the atmospheric pressure on the surface of the mounting position of the transparent body when the micro display unit is separated from the surface of the transparent body. An absorbing plate(7) is installed at one side of the pressure chamber. A pressure release button(11) is installed at one side of the pressure chamber in order to release the pressure.

Abstract translation: 目的：提供使用压力的微显示器，以通过使用用于形成压力的压力室和用于释放压力的压力释放按钮来改善粘合剂特性。 构成：光学系统（15）用于放大在面板（13）上形成的真实图像。 微型显示单元（3）用于在用户的视网膜上形成放大图像。 当微型显示单元安装在位于使用者的眼球的前侧的透明体的表面上时，压力室（5）用于在透明体（9）的安装位置的表面上施加压力。 此外，当微型显示单元与透明体的表面分离时，压力室用于在透明体的安装位置的表面上施加大气压力。 吸收板（7）安装在压力室的一侧。 压力释放按钮（11）安装在压力室的一侧以释放压力。

公开(公告)号：KR100382162B1

公开(公告)日：2003-05-09

申请号：KR1020010021424

申请日：2001-04-20

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕

IPC: G02B26/00

Abstract: PURPOSE: A 1xN optical switch is provided to supply selectively an optical signal transmitted through one optical fiber to one of optical fibers of N number by changing a rotating angle of a refractive plate to control an optical path. CONSTITUTION: A 1xN optical switch is formed with one input port, output ports of N number, and an optical refractive plate. The input port is formed with an input optical fiber(4) for receiving light and a parallel light lens(6) for forming incident ray(1) of the input optical fiber(4) as parallel light. The output port is formed with a focusing lens(7) for condensing the light(3) penetrating the optical refractive plate to one focus of an optical fiber core and an output optical fiber(5) for transmitting the light(3) to the outside of the 1xN optical switch. The input optical fiber(4) and the output optical fiber(5) are optical fibers of a sing mode or a multi mode. The optical refractive plate is formed with a transparent medium plate(2) and an anti-reflective layer(8). The transparent medium plate(2) has a refractive index of N.

Abstract translation: 目的：提供一个1×N光开关，通过改变折射板的旋转角度来选择性地提供通过一根光纤传输的光信号到N个光纤中的一根光纤以控制光路。 组成：一个1xN光开关由一个输入端口，N个输出端口和一个光学折射板组成。 输入端口形成有用于接收光的输入光纤（4）和用于将输入光纤（4）的入射光线（1）形成为平行光的平行光透镜（6）。 输出端口形成有用于将穿过光学折射板的光（3）会聚成光纤芯的一个焦点的聚焦透镜（7）和用于将光（3）透射到外部的输出光纤（5） 的1xN光开关。 输入光纤（4）和输出光纤（5）是单模或多模光纤。 光学折射板由透明介质板（2）和抗反射层（8）形成。 透明介质板（2）具有N的折射率。

公开(公告)号：KR100316844B1

公开(公告)日：2001-12-24

申请号：KR1019990047526

申请日：1999-10-29

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 문현찬 ,  박광범 ,  김인회 ,  최성호

IPC: G09G3/20

Abstract: 본발명은선형디스플레이시스템(SLA : Scanned Linear Array)에있어서그레이스케일(gray scale)을화면에표시할수 있도록한 선형디스플레이시스템의그레이레벨장치에관한것이다. 이를위한본 발명은, 발광다이오드를통해발생하는라인이미지를일정한움직임에의하여좌, 우스캔동작하여화면에디스플레이하는미러를구동시키는액추에이터의진동주파수에대응하여다수개의필드로형성하여저장하는저장수단; 필드선택신호에따라저장수단에서제공되는다수개의필드신호를선택하여출력하는필드신호선택수단; 액추에이터를구동시키기위한동기신호를발생하는액츄에이터구동수단; 액추에이터구동수단에서발생하는동기신호로부터미러의좌, 우방향으로회전하기위한지연시간데이터를발생하는라이트및 레프트스캔지연수단; 라이트스캔지연수단및 레프트스캔지연수단에서발생하는지연시간데이터에의하여상기저장수단에저장되어있는필드신호를출력시키기위한제어신호및 필드선택신호를제공하고, 액추에이터구동수단에서발생하는동기신호와필드신호선택수단에의해선택된필드각각에대하여발광시간조절을위한듀티조절신호를제공하는제어수단; 제어수단을통해제공되는동기신호에따라액추에이터와발광다이오드어레이간을동기시키고, 지연시간데이터에의하여필드신호선택수단에서제공되는각각의필드데이터를합성시키고, 듀티조절신호에대응하여발광다이오드어레이를구동시키는발광다이오드구동수단을포함하도록구성된다. 따라서, 본발명은발광다이오드구동드라이버의회로변경없이그레이레벨을화면에표시할수 있게되는효과를갖는다.

公开(公告)号：KR100248195B1

公开(公告)日：2000-04-01

申请号：KR1019970044392

申请日：1997-08-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 황학인 ,  박광범 ,  이대성 ,  정석원

IPC: G01B11/00

Abstract: 본 발명은 광원과, 상기 광원의 하부에 상기 광원으로부터 나온 광이 입사하는 제1 회절격자와, 상기 제1 회절격자를 통과한 광은 브래그 조건에 맞는 일정한 회절각을 갖는 ±m차 회절광으로 변경되며 상기 ±m차 회절광이 입사하도록 상기 제1 회절격자의 하부에 상기 제1 회절격자에 수직하게 위치하는 두 개의 거울과, 상기 거울의 하부에 상기 거울에 반사된 ±m차 회절광이 상기 회절각과 동일한 각도로 입사되고 상기 제1 회절격자와 간격이 같은 제2 회절격자와, 상기 제2 회절격자를 통과한 ±m차 회절광은 상기 제2 회절격자에 수직하게 회절되어 ±m'차 회절광으로 변경되며 상기 제2 회절격자의 하부에 상기 ±m'차 회절광의 위상차이로 인한 간섭광의 발생 및 세기 변화를 측정하는 광전센서를 포함하여 이루어진다. 본 발명의 변위측정장치는 광학계의 구성요소가 간편하며, 광축 정렬이 용이하다. 또한, 본 발명의 변위측정장치는 2개의 회절격자를 이용하여 변위를 측정하기 때문에 가공 및 측정기기의 측정 분해능 및 정밀도를 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990020915A

公开(公告)日：1999-03-25

申请号：KR1019970044392

申请日：1997-08-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 황학인 ,  박광범 ,  이대성 ,  정석원

IPC: G01B11/00

Abstract: 본 발명은 광원과, 상기 광원의 하부에 상기 광원으로부터 나온 광이 입사하는 제1 회절격자와, 상기 제1 회절격자를 통과한 광은 브래그 조건에 맞는 일정한 회절각을 갖는 ±m차 회절광으로 변경되며 상기 ±m차 회절광이 입사하도록 상기 제1 회절격자의 하부에 상기 제1 회절격자에 수직하게 위치하는 두 개의 거울과, 상기 거울의 하부에 상기 거울에 반사된 ±m차 회절광이 상기 회절각과 동일한 각도로 입사되고 상기 제1 회절격자와 간격이 같은 제2 회절격자와, 상기 제2 회절격자를 통과한 ±m차 회절광은 상기 제2 회절격자에 수직하게 회절되어 ±m'차 회절광으로 변경되며 상기 제2 회절격자의 하부에 상기 ±m'차 회절광의 위상차이로 인한 간섭광의 발생 및 세기 변화를 측정하는 광전센서를 포함하여 이루어진다. 본 발명의 변위측정장치는 광학계의 구성요소가 간편하며, 광축 정렬이 용이하다. 또한, 본 발명의 변위측정장치는 2개의 회절격자를 이용하여 변위를 측정하기 때문에 가공 및 측정기기의 측정 분해능 및 정밀도를 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR102064618B1

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：KR1020140188714

申请日：2014-12-24

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 김건년 ,  곽연화 ,  김원효 ,  박광범

IPC: G06F3/01 ,  G06F1/16