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公开(公告)号：KR1020120058710A
公开(公告)日：2012-06-08
申请号：KR1020100120111
申请日：2010-11-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H02N2/18 , H01L41/113 , H01L41/257 , H02N2/22 , Y10S977/837
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method for a flexible nano generator and a flexible nano generator manufactured by the same are provided to manufacture a bio compatible nano generator having high efficiency by continuously producing power according to the movement of a human body. CONSTITUTION: A piezoelectric particle and a carbon nano-structure are mixed with a hardening material. The mixed hardening material is hardened. The mixed hardening material is coated on a substrate. A polydimethylsiloxane substrate is manufactured by the hardening. A carbon nano-structure is a carbon nanotube. The piezoelectricparticle is a BTO(BaTiO3) particle.
Abstract translation: 目的：提供一种由其制造的柔性纳米发生器和柔性纳米发生器的制造方法，以通过根据人体的运动连续产生电力来制造具有高效率的生物相容性纳米发生器。 构成：压电颗粒和碳纳米结构与硬化材料混合。 混合硬化材料硬化。 将混合硬化材料涂覆在基材上。 通过硬化制造聚二甲基硅氧烷基材。 碳纳米结构是碳纳米管。 压电颗粒是BTO（BaTiO3）颗粒。
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公开(公告)号：KR1020120050021A
公开(公告)日：2012-05-18
申请号：KR1020100111319
申请日：2010-11-10
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a plastic battery element is provided to effectively manufacture and transcribe without deformation of the device. CONSTITUTION: A manufacturing method of a plastic battery element comprises the following steps: manufacturing a battery layer on sacrifice substrate; removing the sacrificial substrate; and transcribing the battery layer into a plastic substrate by using a transfer layer. The transfer layer comprises polydimethylsiloxane. The plastic battery element comprises a plastic substrate(600), a joint layer on the plastic substrate, and a forest bed(300) laminated on the junction layer. In here, a silicon oxide layer(200) is included between the battery layer and the joint layer.
Abstract translation: 目的：提供塑料电池元件的制造方法，以有效地制造和转录，而不会使器件变形。 构成：塑料电池元件的制造方法包括以下步骤：在牺牲基板上制造电池层; 去除牺牲衬底; 并通过使用转印层将电池层转录成塑料基板。 转移层包含聚二甲基硅氧烷。 塑料电池元件包括塑料基板（600），塑料基板上的接合层和层压在接合层上的森林床（300）。 在这里，电池层和接合层之间包含氧化硅层（200）。
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公开(公告)号：KR1020120036579A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：KR1020100098331
申请日：2010-10-08
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L41/1138 , H01L41/083 , H01L41/1871 , H01L41/22 , Y10S977/837
Abstract: PURPOSE: A flexible nano generator and a manufacturing method thereof are provided to continuously produce electricity according to movement of a human body by forming the electricity according to the bending of a substrate. CONSTITUTION: A piezoelectric element layer including a piezoelectric material layer is laminated on a sacrificial substrate. The piezoelectric element layer is treated by heat in high temperature. Unit piezoelectric elements(210) are separated from the sacrificial substrate. The separated unit piezoelectric element is transferred on a flexible printed circuit board(200). A passivation layer(220) is laminated on the unit piezoelectric element. A lower electrode line(230a) and an upper electrode line(230b) are formed on the upper side of the passivation layer.
Abstract translation: 目的：提供一种柔性纳米发生器及其制造方法，其通过根据基板的弯曲而形成电力，根据人体的移动来连续发电。 构成：在牺牲基板上层压包括压电材料层的压电元件层。 压电元件层在高温下通过加热处理。 单元压电元件（210）与牺牲衬底分离。 分离单元压电元件在柔性印刷电路板（200）上传送。 在单元压电元件上层叠钝化层（220）。 在钝化层的上侧形成下电极线（230a）和上电极线（230b）。
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公开(公告)号：KR1020120029663A
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020100091599
申请日：2010-09-17
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C01B32/184 , B01J19/121 , H01B1/04
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing graphene using laser, graphene manufactured by the same, and an apparatus for manufacturing the same are provided to manufacture a large sized graphene mono layer by varying the irradiating region of laser beam. CONSTITUTION: Laser beam is irradiated to a silicon carbide substrate(101). Silicon on the silicon carbide substrate is sublimated based on the irradiated laser beam. Remaining carbon is grown as a graphene structure. According to the movement of the silicon carbide substrate, a laser beam-based graphene growing region is moved. According to the movement of the laser beam, the laser beam-based graphene growing region is moved. A temperature for growing the graphene is in a range between 900 and 2000 degrees Celsius.
Abstract translation: 目的：提供使用激光制造石墨烯的方法，由其制造的石墨烯及其制造装置，通过改变激光束的照射区域来制造大尺寸的石墨烯单层。 构成：将激光束照射到碳化硅衬底（101）上。 基于照射的激光束，在碳化硅衬底上的硅升华。 剩余的碳生长为石墨烯结构。 根据碳化硅衬底的移动，移动基于激光束的石墨烯生长区域。 根据激光束的移动，基于激光束的石墨烯生长区域被移动。 用于生长石墨烯的温度在900和2000摄氏度之间。
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公开(公告)号：KR101113692B1
公开(公告)日：2012-02-27
申请号：KR1020090087818
申请日：2009-09-17
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L31/1856 , H01L31/0304 , H01L31/0392 , H01L31/03926 , H01L31/0725 , H01L31/1852 , Y02E10/544 , Y02P70/521
Abstract: GaN 태양전지 제조방법 및 이에 의하여 제조된 GaN 태양전지가 제공된다.
본 발명에 따른 GaN 태양전지 제조방법은 (a) 희생 기판상에 InGaN를 포함하는 태양전지 소자층을 적층하는 단계; (b) 상기 소자층을 식각하여 상기 희생 기판을 노출시킴으로써, 상기 태양전지 소자층을 포함하는 하나 이상의 태양전지 소자를 형성하는 단계; (c) 상기 노출된 희생 기판을 비등방식각하여, 소정 간격으로 이격된 상기 하나 이상의 태양전지 소자를 상기 희생 기판으로부터 분리하는 단계; (d) 상기 분리된 하나 이상의 태양전지 소자를 PDMS에 접촉시키는 단계; 및 (e) 상기 PDMS에 접촉된 태양전지 소자를 플렉서블 기판에 전사시키는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 태양전지 제조방법은 고온의 반도체 공정을 실리콘 기판에 진행한 후, 플렉서블 기판에 전사시키는 방식이므로, 플렉서블 태양전지의 제조가 가능하다. 더 나아가, 대면적에서 많은 수의 태양전지를 우수한 정렬도로 구현, 제조할 수 있으므로, 경제성이 우수하다.-
Patent Agency Ranking136.发明公开
公开(公告)号：KR1020110117281A
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：KR1020100036650
申请日：2010-04-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N33/50 , G01N27/26 , G01N33/552 , C07K19/00
Abstract: 실리카 결합물질을 이용한 플렉서블 바이오 센서 및 그 제조방법 및 이를 이용한 검출방법이 제공된다.
본 발명에 따른 플렉서블 바이오 센서는 플렉서블 하부 기판; 상기 플렉서블 하부 기판의 상부에 접촉하며, 소스 및 드레인 영역이 소정 간격으로 이격되어 형성된 실리콘 상부 기판; 상기 소스 및 드레인 영역 사이의 실리콘 기판을 지나는 미세유체 채널을 포함하며, 여기에서 상기 미세유체 채널로 생물학적 활성 물질을 흘리는 방식으로 표적 물질을 검출하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플렉서블 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 가지는 기판의 한계를 효과적으로 극복할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020110085317A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：KR1020100005035
申请日：2010-01-20
Applicant: 한국과학기술원 , 에스케이실트론 주식회사
CPC classification number: H01L31/0392 , H01L27/156 , H01L31/03046 , H01L31/03926 , H01L33/0079 , H01L33/32 , Y02E10/544 , Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a flexible device, the flexible device, a solar battery, and an LED are provided to manufacture a largely patterned LED device layer without respect to a size limit of a substrate, thereby increasing processing stability. CONSTITUTION: A device layer is laminated on a sacrificial substrate. A flexible substrate(900) is bonded with the top of the device layer. The sacrificial substrate is eliminated by dipping a silicon substrate in etchant. The sacrificial substrate is a silicon substrate. The flexible substrate comprises a bonding layer. The bonding layer is bonded with the device layer.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造柔性装置，柔性装置，太阳能电池和LED的方法，以制造基本上图案化的LED装置层，而不依赖于基板的尺寸限制，从而提高加工稳定性。 构成：将器件层层压在牺牲衬底上。 柔性基板（900）与装置层的顶部结合。 通过将硅衬底浸入蚀刻剂中来消除牺牲衬底。 牺牲衬底是硅衬底。 柔性基板包括粘合层。 结合层与器件层结合。
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138.发明公开플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자, 플렉서블 압전소자 및 커패시터 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 압전소자 및 커패시터 소자 有权柔性装置的制造方法，由其制造的柔性装置，柔性压电装置的制造方法，柔性电容器和柔性压电装置，由其制造的柔性电容器
公开(公告)号：KR1020110072033A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020090128795
申请日：2009-12-22
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/04
CPC classification number: H01L27/20 , H01L27/1218
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a flexible device, the flexible device manufactured by the same, a method for manufacturing a flexible piezoelectric device and a capacitor, and the flexible piezoelectric device and the capacitor device manufactured by the same are provided to prevent physical damages to a silicon substrate by separating a top device from the substrate with a method for etching an additional metal oxide layer on the silicon substrate. CONSTITUTION: A first metal oxide layer is laminated on a silicon oxide layer of a silicon substrate. A device to be transferred to a flexible substrate(500) is made on a first metal oxide layer. The device is separated from the silicon substrate by removing a first metal oxide layer. The separated device is transferred on the flexible substrate by using an additional transfer layer. The device includes a second metal in contact with a first metal oxide in the lower side thereof.
Abstract translation: 目的：制造柔性装置的方法，由其制造的柔性装置，柔性压电装置和电容器的制造方法以及由其制造的柔性压电装置和电容器装置，以防止对 通过在硅衬底上蚀刻另外的金属氧化物层的方法将顶部器件与衬底分离来形成硅衬底。 构成：将第一金属氧化物层层叠在硅衬底的氧化硅层上。 将被转移到柔性基板（500）的装置制成在第一金属氧化物层上。 通过去除第一金属氧化物层将器件与硅衬底分离。 通过使用附加的转移层将分离的装置转移到柔性基板上。 该装置包括在其下侧与第一金属氧化物接触的第二金属。
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公开(公告)号：KR101042241B1
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090095406
申请日：2009-10-08
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 플렉서블 이차전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플렉서블 이차전지가 제공된다.
본 발명에 따른 플렉서블 이차전지 제조방법은 희생 기판상에 전극물질을 포함하는 이차전지 소자를 적층하는 단계; 상기 소자를 고온 처리하여 상기 전극물질을 결정화하는 단계; 상기 이차전지 소자 하부의 희생기판을 식각하여, 상기 이차전지 소자를 상기 희생기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 이차전지 소자를 전사층을 이용하여 플렉서블 기판으로 전사시키는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 이차전지 제조방법은 실리콘 기판과 같은 딱딱한 희생기판 상에 이차전지를 제조한 후, 이를 고온처리함으로써 이차전지의 특성을 향상시킬 수 있고, 또한 플렉서블 기판에 따른 공정상의 제약을 피할 수 있다. 더 나아가, 대면적인 경우, 이차전지의 복수 지점으로부터 동시에 비등방 식각을 진행한 후, 하부 희생기판을 제거하는 방식에 의하여 대면적 플렉서블 이차전지의 구현이 가능하다.-
公开(公告)号：KR1020110038210A
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：KR1020090095404
申请日：2009-10-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/02
CPC classification number: H01L41/0815 , C04B35/491 , H01L41/1876 , H01L41/1878 , H01L41/311 , H01L41/39
Abstract: PURPOSE: A flexible piezoelectric device and a manufacturing method thereof are provided to stably rectify a current property by electrically connecting a plurality of unit piezoelectric devices and a capacitor to the same flexible substrate. CONSTITUTION: A piezoelectric device layer is laminated on a sacrificial substrate. The piezoelectric device layer is processed on the sacrificial substrate at a high temperature. A piezoelectric device(551) is formed by patterning the piezoelectric device layer. The piezoelectric device is separated from the sacrificial substrate by etching the sacrificial substrate. After the piezoelectric device is connected to a transfer layer, the piezoelectric device is transferred to the flexible substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种柔性压电器件及其制造方法，以通过将多个单元压电器件和电容器电连接到相同的柔性衬底来稳定地校正电流特性。 构成：在牺牲基板上层压压电器件层。 压电器件层在高温下在牺牲基片上进行处理。 通过图案化压电元件层形成压电元件（551）。 通过蚀刻牺牲衬底将压电器件与牺牲衬底分离。 在将压电元件连接到转印层之后，将压电元件转印到柔性基板上。
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