公开(公告)号：WO2001011411A1

公开(公告)日：2001-02-15

申请号：PCT/US2000/040532

申请日：2000-08-01

Applicant: ADC TELECOMMUNICATIONS, INC.

Inventor： ZHANG, Nan

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2203/0136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: A MEMS-based optical switch (100) having improved characteristics and methods for manufacturing the same are provided. In accordance with one embodiment, an optical switch includes a single comb (122) drive actuator (104) having a deflecting beam structure (124) and a mirror (102) coupled to the actuator. The mirror is capable of being moved between an extended position interposed between waveguide channels (106) and a retracted position apart from the waveguide channels. The actuator applies a force capable of deflecting the beam structure and moving the mirror to one of the extended positions or the retracted position and the beam structure returns the mirror to the other of the extended position or the retracted position in the absence of the application of force.

Abstract translation: 提供了一种具有改进的特性的基于MEMS的光开关（100）及其制造方法。 根据一个实施例，光开关包括具有偏转梁结构（124）和耦合到致动器的反射镜（102）的单个梳状（122）驱动致动器（104）。 反射镜能够在介于波导通道（106）之间的延伸位置与远离波导通道的缩回位置之间移动。 致动器施加能够使梁结构偏转并且将反射镜移动到伸出位置或缩回位置中的一个的力，并且梁结构在没有施加以下情况下将反射镜返回到伸出位置或缩回位置中的另一个位置 力。

公开(公告)号：WO00021877A1

公开(公告)日：2000-04-20

申请号：PCT/JP1999/005655

申请日：1999-10-13

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/02 ,  G02B26/08 ,  H01L21/302

CPC classification number: B81C1/00182 ,  B81B2201/045 ,  B81C2201/034 ,  G02B26/02

Abstract: A micromachine and a method of manufacturing the same which are suitable as or for a micromachine having a first dynamic fine structural portion constituting a driving portion, and a second static fine structural portion performing a switching function or a function of an optical element, the method comprising forming the second static fine structural portion on the first dynamic fine structural portion, or superposing the second static fine structural portion thereon and die transferring the same thereto, whereby the method enables the second fine structure to be formed without using at least a complicated step, such as a silicon process in an intermediate stage of the method, and into a complicated shape easily with a high reproducibility, and contributes to the improvement of the productivity. Especially, when a plurality of elements are arranged in an arrayed state as in a spatial light modulator, the die transfer techniques enable the second fine structure to be reproduced stably as compared with the techniques using a silicon process for forming all parts of a micromachine, whereby the subject method reduces the probability of occurrence of defects to a remarkably low level and contributes to the improvement of the yield.

Abstract translation: 一种适用于具有构成驱动部分的第一动态精细结构部分的微机器的微机械及其制造方法，以及执行光学元件的切换功能或功能的第二静态精细结构部分 包括在第一动态细微结构部分上形成第二静态细微结构部分，或者将第二静态细微结构部分叠置在其上并将其传送到其上，由此该方法能够形成第二精细结构，而不至少使用复杂的步骤 ，例如该方法的中间阶段的硅工艺，并且以高再现性容易地形成复杂形状，并且有助于提高生产率。 特别是，如空间光调制器那样将多个元件排列成阵列状态，与使用用于形成微机械的所有部分的硅工艺相比，使用芯片传输技术能够稳定地再现第二精细结构， 由此本发明方法将缺陷发生的可能性降低至非常低的水平，并有助于提高产率。

公开(公告)号：WO2015153179A1

公开(公告)日：2015-10-08

申请号：PCT/US2015/022117

申请日：2015-03-24

Applicant: AGILTRON, INC.

Inventor： YIN, Luzhong ,  ZHAO, Jing ,  JIN, Guanghai

IPC: H02N2/04

CPC classification number: B81B3/0037 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/0384 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/023 ,  G02B26/04 ,  H02N2/043 ,  H02N10/00

Abstract: The present disclosure provides a displacement amplification structure and a method for controlling displacement. In one aspect, the displacement amplification structure of the present disclosure includes a first beam and a second beam substantially parallel to the first beam, an end of the first beam coupled to a fixture site, and an end of the second beam coupled to a motion actuator; and a motion shutter coupled to an opposing end of the first and second beams. In response to a displacement of the motion actuator along an axis direction of the second beam, the motion shutter displaces a distance along a transversal direction substantially perpendicular to the axis direction.

Abstract translation: 本公开提供了一种位移放大结构和一种用于控制位移的方法。 在一个方面，本公开的位移放大结构包括第一光束和基本上平行于第一光束的第二光束，第一光束的端部耦合到固定位置，第二光束的端部耦合到运动 执行器; 以及耦合到第一和第二光束的相对端的运动快门。 响应于运动致动器沿着第二光束的轴线方向的位移，运动快门沿着基本上垂直于轴线方向的横向移动一段距离。

公开(公告)号：WO2015103078A1

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：PCT/US2014/072367

申请日：2014-12-24

Applicant: PIXTRONIX, INC.

Inventor： DUNN, Tyler ,  ANDERSSON, Mark B.

IPC: G02B26/02 ,  H02N1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: G09F9/372 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  G02B26/04 ,  H02N1/002

Abstract: This disclosure provides systems, methods and apparatus for shutter-based EMS light modulators controlled by electrode actuators that include complementary sets of corrugations or teeth along the opposing beams of the actuators. The complementary sets of corrugations substantially engage one another when drawn together via an actuation voltage. By applying the actuation voltage across the opposing beams of such an actuator, the beams are drawn together both by the electromotive force resulting from the electric field acting between the portions of the beams that are substantially perpendicular to the direction of actuation of the actuator, and by fringing fields between the sides of the corrugations, which are substantially parallel to the direction of actuation. The additional fringing fields provide for increased electromotive force for a given input voltage.

Abstract translation: 本公开提供了由电极致动器控制的基于快门的EMS光调制器的系统，方法和装置，其包括沿着致动器的相对梁的互补的波纹或齿。 互补的波纹组在通过致动电压拉在一起时基本上彼此接合。 通过将致动电压施加在这种致动器的相对梁上，通过作用在基本上垂直于致动器的致动方向的梁的部分之间的电场产生的电动势将光束拉在一起，以及 通过在波纹的两侧之间划线，其基本上平行于致动方向。 额外的边缘场为给定输入电压提供增加的电动势。

公开(公告)号：WO2015047691A1

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：PCT/US2014/054268

申请日：2014-09-05

Applicant: PIXTRONIX, INC.

Inventor： DUNN, Tyler ,  ANDERSSON, Mark ,  SPARKS, Andrew William ,  WU, Joyce ,  NAKAGAWA, Hideki

IPC: G02B26/02 ,  G02B26/08 ,  B81C1/00 ,  G02F1/01 ,  H02N1/00 ,  G02B26/04 ,  B81B3/00 ,  H01H3/60 ,  B81B5/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/023 ,  G02B26/04 ,  G09G3/3208 ,  G09G3/36

Abstract: This disclosure provides systems, methods and apparatus utilizing flexures in a display. In some implementations, an electromechanical systems (EMS) device can include flexures that have low stiffness along the axis of motion of a light modulator, and high stiffness in other directions. The flexures may include one or more beams mechanically coupling a MEMS structure to an anchor. The beams may be coupled to a hinge portion, the hinge portion being configured to suppress out of plane motion by the MEMS structure and the flexures. The flexures also may suppress out-of-plane motion using a stiffened portion. The stiffened portion can be mechanically coupled to the hinge portion or at least one beam of the flexure. By varying the cross-section geometry of the stiffened portion, the stiffness of the stiffened portion may be controlled to increase the force required to move the flexure in an out-of-plane direction.

Abstract translation: 本公开提供了利用显示器中的弯曲的系统，方法和装置。 在一些实施方案中，机电系统（EMS）装置可以包括沿着光调制器的运动轴线具有低刚度并且在其它方向上具有高刚度的挠曲。 挠曲件可以包括将MEMS结构机械地耦合到锚固件的一个或多个梁。 梁可以联接到铰链部分，铰链部分构造成通过MEMS结构和挠曲来抑制平面外的运动。 弯曲部也可以使用加强部来抑制平面外运动。 加强部分可以机械地联接到铰链部分或至少一个弯曲梁。 通过改变加强部分的横截面几何形状，可以控制加强部分的刚度以增加在平面外方向上移动挠曲件所需的力。

公开(公告)号：WO2015026490A1

公开(公告)日：2015-02-26

申请号：PCT/US2014/048477

申请日：2014-07-28

Applicant: PIXTRONIX, INC.

Inventor： DUNN, Tyler A. ,  BROSNIHAN, Timothy J.

IPC: G02B26/02 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0086 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/056 ,  B81C1/00634 ,  B81C2201/0161 ,  G02B26/023 ,  G02B26/0841

Abstract: This disclosure provides systems, methods, and apparatus for a MEMS display incorporating extended height actuators. A light modulating component can be positioned between a substrate and an opposing surface coupled to the substrate. A suspended electrode can be coupled to the light modulating component and suspended between the substrate and the opposing surface. An extended-height electrode can be positioned immediately adjacent to the suspended electrode, and can extend from the substrate up to a height beyond the height of the suspended electrode. The suspended electrode and the extended-height electrode can be configured to move the light modulating component laterally with respect to the substrate.

Abstract translation: 本公开提供了用于包括扩展高度致动器的MEMS显示器的系统，方法和装置。 光调制组件可以位于衬底和耦合到衬底的相对表面之间。 悬挂的电极可以耦合到光调制部件并悬挂在基板和相对的表面之间。 延伸高度的电极可以紧邻悬挂的电极定位，并且可以从衬底延伸到高于悬挂电极的高度的高度。 悬置电极和延伸高度电极可以被配置为相对于衬底横向移动光调制组件。

公开(公告)号：WO2009127273A3

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：PCT/EP2008066715

申请日：2008-12-03

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  BENZEL HUBERT ,  WEBER HERIBERT ,  KRUEGER MICHAEL ,  SATTLER ROBERT ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  SCHELLING CHRISTOPH ,  FRIESE CHRISTOPH

Inventor： PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  BENZEL HUBERT ,  WEBER HERIBERT ,  KRUEGER MICHAEL ,  SATTLER ROBERT ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  SCHELLING CHRISTOPH ,  FRIESE CHRISTOPH

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: B81C1/00007 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/019 ,  B81C1/00142 ,  B81C2201/017

Abstract: The invention relates to a method for producing a micromechanical component (10), encompassing the following steps: a first electrode unit (14) is formed in a first position relative to a bottom substrate (16); a supporting element (22) is formed which comprises a first subunit (23, 28, 30) having a first internal stress and a second subunit (23, 28, 30) having a second internal stress that differs from the first internal stress, said supporting element (22) being fastened to the first electrode unit (14) at a first end while being fastened to the bottom substrate (16) at a second end; and the supporting element (22) is bent as a result of the difference between the first internal stress and the second internal stress, the bending action causing the first electrode unit (14) to be moved from the first position relative to the bottom substrate (16) into a second position relative to the bottom substrate (16). The invention further relates to a micromechanical component (10).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于微机械部件（10）的制造方法，包括以下步骤：在一个第一位置到一个基底（16）形成第一电极单元（14）; 形成具有具有与方向上从所述第一内部应力第二残余应力偏离，第一本征电压和第二子单元（23,28,30）的第一子单元（23,28,30）的支撑部件（22），其中在所述支撑构件（22） 第一端连接到所述第一电极部（14）和在第二端处与基底基板（16）被安装; 和支撑部件（22）弯曲，由于第一内部应力和第二特征电压之间的差，由于从所述第一位置到所述基底（16），所述支撑构件（22），所述第一电极单元（14）的相对于所述的第二位置的弯曲 基底基板（16）被调整。 此外，本发明提供了一种微机械部件（10）涉及。

公开(公告)号：WO2009064679A1

公开(公告)日：2009-05-22

申请号：PCT/US2008/082894

申请日：2008-11-07

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. ,  FELNHOFER, Daniel ,  GOUSEV, Evgeni

Inventor： FELNHOFER, Daniel ,  GOUSEV, Evgeni

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B2201/045 ,  G02B26/001 ,  G11C23/00

Abstract: A capacitive MEMS device is formed having a material (722) between electrodes (712, 714) that traps and retains charges. The material can be realized in several configurations. It can be a multilayer dielectric stack with regions of different band gap energies or band energy levels. The dielectric materials can be trappy itself, i.e. when defects or trap sites are pre-fabricated in the material. Another configuration involves a thin layer of a conductive material with the energy level in the forbidden gap of the dielectric layer. The device may be programmed (i.e. offset and threshold voltages pre-set) by a method making advantageous use of charge storage in the material (722), wherein the interferometric modulator (12a, 12b) is pre-charged in such a way that the hysteresis curve shifts, and the actuation voltage threshold of the modulator is significantly lowered. During programming phase, charge transfer between the electrodes (712, 714) and the materials (722) can be performed by applying voltage to the electrodes (712, 714) (i.e. applying electrical field across the material) or by UV-illumination and injection of electrical charges over the energy barrier. The interferometric modulator (12a, 12b) may then be retained in an actuated state with a significantly lower actuation voltage, thereby saving power.

Abstract translation: 电容MEMS器件形成为具有陷阱并保持电荷的电极（712,714）之间的材料（722）。 该材料可以在几种配置中实现。 它可以是具有不同带隙能量或带能级的区域的多层电介质叠层。 电介质材料本身可以是歪斜的，即当在材料中预先制造缺陷或捕获位置时。 另一种结构涉及导电材料的薄层，其中电介质层的禁止间隙具有能级。 可以通过有利地使用材料（722）中的电荷存储的方法来对器件进行编程（即，预置的偏移和阈值电压），其中干涉式调制器（12a，12b）以如下方式预充电： 滞后曲线偏移，并且调制器的致动电压阈值显着降低。 在编程阶段期间，电极（712,714）和材料（722）之间的电荷转移可以通过向电极（712,714）施加电压（即，跨过材料施加电场）或通过UV照射和注入 的能量屏障上的电荷。 然后可以将干涉式调制器（12a，12b）保持在具有显着较低的致动电压的致动状态，从而节省功率。

公开(公告)号：WO2005015287A1

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：PCT/JP2004/008976

申请日：2004-06-25

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  田村昌弥 ,  小林真司

Inventor： 田村昌弥 ,  小林真司

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0833 ,  H02N1/008

Abstract: 　支持梁の連結部位を回転支持部として構成することにより、可動体を各切換位置に安定的に保持できる構成とし、信頼性を高めるようにする。 　可動体４を、基板２、各固定部６、回転支持部８、支持梁７によりＹ軸方向に変位可能に支持し、可動体４を第１，第２の切換位置の間で変位させる。また、回転支持部８は、放射状に配置した腕部９，１０，１１により支持梁７を回転可能に支持し、可動体４が変位するときには、端部７Ａが大きく屈曲しなくても、支持梁７が回転できるようにする。これにより、第１，第２の切換位置の間で可動体４の位置エネルギの障壁ΔＥを大きく設定でき、電極１２～１５への給電を停止した状態でも、可動体４を各切換位置に安定的に保持することができる。また、可動体４がＸ軸方向に位置ずれするのを腕部１０により防止することができる。

Abstract translation: 一种翘曲型致动器，其通过将支撑梁的连接部分形成为旋转支撑部，从而能够将切换位置的移动体稳定地保持在可靠性上。 可移动体（4）由基板（2），固定部分（6），旋转支撑部分（8）和支撑梁（7）在Y轴方向上可移动地支撑，以使可移动体（4）在 第一和第二切换位置。 此外，旋转支撑部件（8）通过径向设置的臂部（9），（10）和（11）可旋转地支撑支撑梁（7），使得当移动体（4）移位时，支撑臂 即使端部（7A）没有大的弯曲也能够旋转（7）。 因此，能够在第一和第二切换位置之间大幅度地设定可动体（4）的势能的势垒DeltaE，即使当停止向电极（12）〜（15）供电时，移动体 ）可以稳定地保持在切换位置。 此外，臂部（10）能够防止移动体（X）沿X轴方向移位。

公开(公告)号：WO2003021298A2

公开(公告)日：2003-03-13

申请号：PCT/US2002/026500

申请日：2002-08-22

Applicant: ANALOG DEVICES, INC.

Inventor： LEMKIN, Mark, Alan

IPC: G02B

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/053

Abstract: A comb-finger microstructure is disclosed for use in optical switching arrays, beam steering, optical displays, disk drive head actuators and the like. The microstructure is capable of producing linear or nonlinear actuation forces, perpendicular to the surface of a chip in which the microactuator is formed, as a function of applied voltages. The microstructure further provides the ability to detect the position of a movable structure with respect to a stationary or anchored structure.

Abstract translation: 公开了一种用于光开关阵列，光束控制，光学显示器，磁盘驱动头致动器等的梳状指状微结构。 根据施加的电压，微结构能够产生垂直于其中形成有微致动器的芯片表面的线性或非线性致动力。 微结构进一步提供了检测可移动结构相对于静止或锚定结构的位置的能力。